公开(公告)号：NL2006603A

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：NL2006603

申请日：2011-04-14

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： ALBERT BENSELY ,  COMPEN RENE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

公开(公告)号：NL2004153A

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：NL2004153

申请日：2010-01-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： CADEE THEODORUS ,  GILISSEN NOUD ,  COMPEN RENE ,  KENNON JAMES

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2003577A

公开(公告)日：2010-05-04

申请号：NL2003577

申请日：2009-09-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： COMPEN RENE ,  NUNEN GERARDUS ,  HOUBEN MARTIJN ,  HEUVEL MARCO

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2003470A

公开(公告)日：2010-04-08

申请号：NL2003470

申请日：2009-09-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： COMPEN RENE ,  LEENAARS RENE WILHELMUS ANTONIUS HUBERTUS ,  VERMEULEN MARCUS MARTINUS PETRUS ADRIANUS ,  JEUNINK ANDRE ,  LOOPSTRA ERIK ,  OTTENS JOOST ,  SMITS PETER ,  ABEELEN HENDRIKUS ,  MEULENDIJKS ANTONIUS ,  HOUBEN MARTIJN

IPC: G03F7/20