公开(公告)号：NL2003623A

公开(公告)日：2010-05-10

申请号：NL2003623

申请日：2009-10-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOXMEER JOHAN ,  ASTEN NICOLAAS ,  SINKE ARNOLD ,  TAS MARNIX ALDERT ,  TIMMERMANS JOHN ,  POMMEREN PLACE

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20

公开(公告)号：NL2005691A

公开(公告)日：2011-01-06

申请号：NL2005691

申请日：2010-11-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUURMAN ERIK ,  ASTEN NICOLAAS ,  KREUWEL HERMANUS

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2010950A

公开(公告)日：2013-12-31

申请号：NL2010950

申请日：2013-06-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLEEMANS NIEK ,  ASTEN NICOLAAS ,  KOLESNYCHENKO ALEKSEY ,  BEIJSENS ROLF ,  EURLINGS MARKUS ,  AERLE NICK ,  BAAS GERARDUS

IPC: G03F7/20