公开(公告)号：NL2011237A

公开(公告)日：2014-02-04

申请号：NL2011237

申请日：2013-07-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BANINE VADIM ,  MINNAERT ARTHUR ,  MUITJENS MARCEL ,  YAKUNIN ANDREI ,  SCACCABAROZZI LUIGI ,  MALLMANN HANS ,  BAL KURSAT ,  LUIJTEN CARLO ,  NIENHUYS HAN-KWANG ,  HUIJBERTS ALEXANDER ,  GASSELING PAULUS ,  RIZO DIAGO PEDRO ,  KAMPEN MAARTEN ,  AERLE NICK

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010950A

公开(公告)日：2013-12-31

申请号：NL2010950

申请日：2013-06-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KLEEMANS NIEK ,  ASTEN NICOLAAS ,  KOLESNYCHENKO ALEKSEY ,  BEIJSENS ROLF ,  EURLINGS MARKUS ,  AERLE NICK ,  BAAS GERARDUS

IPC: G03F7/20