公开(公告)号：NL2008954A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：NL2008954

申请日：2012-06-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOXTEL FRANK ,  GOSEN JEROEN ,  KUIJPER ANTHONIE ,  MARTENS ARJAN ,  DAMME JEAN-PHILIPPE ,  SCHOENMAKERS PETER ,  EVERS FRANCISCUS ,  EMPEL JAAP ,  COUMANS LEON ,  GERRITZEN JUSTIN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2011687A

公开(公告)日：2014-06-17

申请号：NL2011687

申请日：2013-10-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITT-WEAVER EMIL ,  BOON EDUARDUS ,  HENKE WOLFGANG ,  KEA MARC ,  LUEHRMANN PAUL ,  SLOTBOOM DAAN ,  DAMME JEAN-PHILIPPE ,  YPMA ALEXANDER

IPC: G03F7/20