公开(公告)号：NL2010176A

公开(公告)日：2013-08-26

申请号：NL2010176

申请日：2013-01-24

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KOEK WOUTER ,  BLEEKER ARNO ,  LOOPSTRA ERIK ,  MULDER HEINE ,  ZWET ERWIN ,  SMEETS DRIES ,  EBELING ROBERT

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2012718A

公开(公告)日：2014-06-23

申请号：NL2012718

申请日：2014-04-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： STRUYCKEN ALEXANDER ,  EURLINGS MARKUS ,  KOEK WOUTER ,  ZWET ERWIN

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00