公开(公告)号：NL1036194A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：NL1036194

申请日：2008-11-13

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KROONEN ROGER JOHANNES MARIA HUBERTUS ,  CORNELISSEN SEBASTIAAN MARIA JOHANNES ,  DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBER ,  KATE NICOLAAS TEN ,  ROSET NIEK JACOBUS JOHANNES ,  JACOBS FRANSISCUS MATHIJS ,  JANSSEN GERARDUS ARNOLDUS HENDRICUS ,  ROOS REINDER WIETSE ,  HOGELAND MATTIJS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1036186A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：NL1036186

申请日：2008-11-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KROONEN ROGER JOHANNES MARIA HUBERTUS ,  CORNELISSEN SEBASTIAAN MARIA JOHANNES ,  DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBER ,  KATE NICOLAAS TEN ,  HAM RONALD VAN DER ,  ROSET NIEK JACOBUS JOHANNES ,  JACOBS FRANCISCUS MATHIJS ,  RIEPEN MICHEL ,  JANSSEN GERARDUS ARNOLDUS HENDRICUS FRANCISCUS ,  ROOS REINDER WIETSE ,  HOGELAND MATTIJS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027