公开(公告)号：NL1035816A1

公开(公告)日：2009-03-16

申请号：NL1035816

申请日：2008-08-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BERKVENS PAUL PETRUS JOANNES ,  GRAAF ROELOF FREDERIK DE ,  LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA ,  HAM RONALD VAN DER ,  SIMONS WILHELMUS FRANCISCUS JOHANNES ,  DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA ,  JANSSEN FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  SCHOLTES PAUL WILLIAM ,  BRANDS GERT-JAN GERARDUS JOHANNES THOMAS ,  STEFFENS KOEN ,  LEMPENS HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  LIEROP MATHIEUS ANNA KAREL VAN ,  METSENAERE CHRISTOPHE DE ,  MIRANDA MARCIO ALEXANDRE CANO ,  SPRUYTENBURG PATRICK JOHANNES WILHELMUS ,  VERSTRAETE JORIS JOHAN ANNE-MARIE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036253A1

公开(公告)日：2009-06-11

申请号：NL1036253

申请日：2008-11-28

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： STEFFENS KOEN ,  LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA ,  HAM RONALD VAN DER ,  DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA ,  BRANDS GERT-JAN GERARDUS JOHAN

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

公开(公告)号：NL1036631A1

公开(公告)日：2009-09-25

申请号：NL1036631

申请日：2009-02-25

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA ,  KEMPER NICOLAAS RUDOLF ,  LIEBREGTS PAULUS MARTINUS MARIA ,  HAM RONALD VAN DER ,  SIMONS WILHELMUS FRANCISCUS JO ,  PHILIPS DANNY MARIA HUBERTUS ,  BRANDS GERT-JAN GERARDUS JOHANNES ,  STEFFENS KOEN ,  LEMPENS HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  ZANDEN MARCUS JOHANNES VAN DER ,  MULDER PIETER

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1036211A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：NL1036211

申请日：2008-11-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  KATE NICOLAAS TEN ,  STEVENS LUCAS HENRICUS JOHANNES ,  HAM RONALD VAN DER ,  RIEPEN MICHEL

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036187A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：NL1036187

申请日：2008-11-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KATE NICOLAAS TEN ,  VENEMA WILLEM JURRIANUS ,  HAM RONALD VAN DER

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：NL1036186A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：NL1036186

申请日：2008-11-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KROONEN ROGER JOHANNES MARIA HUBERTUS ,  CORNELISSEN SEBASTIAAN MARIA JOHANNES ,  DONDERS SJOERD NICOLAAS LAMBER ,  KATE NICOLAAS TEN ,  HAM RONALD VAN DER ,  ROSET NIEK JACOBUS JOHANNES ,  JACOBS FRANCISCUS MATHIJS ,  RIEPEN MICHEL ,  JANSSEN GERARDUS ARNOLDUS HENDRICUS FRANCISCUS ,  ROOS REINDER WIETSE ,  HOGELAND MATTIJS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027