公开(公告)号：DE112018000173B4

公开(公告)日：2022-12-15

申请号：DE112018000173

申请日：2018-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HARUTYUNYAN DAVIT ,  JIA FEI ,  STAALS FRANK ,  WANG FUMING ,  LOOIJESTIJN HUGO THOMAS ,  RIJNIERSE CORNELIS JOHANNES ,  PISARENCO MAXIM ,  WERKMAN ROY ,  THEEUWES THOMAS ,  HEMERT TOM VAN ,  BASTANI VAHID ,  WILDENBERG JOCHEM SEBASTIAAN ,  MOS EVERHARDUS CORNELIS ,  WALLERBOS ERIK JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20 ,  G05B13/04 ,  G05B19/418 ,  H01L21/66

Abstract: Ein Verfahren zum Bestimmen eines charakteristischen Beitrags einer Vorrichtung aus einer Vielzahl von Vorrichtungen zu einem Fingerabdruck eines Parameters, wobei der Parameter mit der Verarbeitung eines Substrats assoziiert ist, wobei das Verfahren Folgendes beinhaltet:Erhalten von Parameterdaten und Verwendungsdaten, wobei die Parameterdaten auf Messungen für mehrere Substrate, die von der Vielzahl von Vorrichtungen verarbeitet worden sind, basieren und die Verwendungsdaten angeben, welche der Vorrichtungen aus der Vielzahl von Vorrichtungen bei der Verarbeitung jedes Substrats verwendet wurden;Bestimmen des Beitrags unter Verwendung der Verwendungsdaten und Parameterdaten; undAnalysieren der Variation der Parameterdaten unter Verwendung der Verwendungsdaten, wobei das Bestimmen des Beitrags zu dem Parameter für eine Vorrichtung das Gruppieren der Daten unter Verwendung der analysierten Variation beinhaltet.

公开(公告)号：DE112018000173T5

公开(公告)日：2019-08-22

申请号：DE112018000173

申请日：2018-05-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HARUTYUNYAN DAVIT ,  JIA FEI ,  STAALS FRANK ,  WANG FUMING ,  LOOIJESTIJN HUGO THOMAS ,  RIJNIERSE CORNELIS JOHANNES ,  PISARENCO MAXIM ,  WERKMAN ROY ,  THEEUWES THOMAS ,  HEMERT TOM VAN ,  BASTANI VAHID ,  WILDENBERG JOCHEM SEBASTIAAN ,  MOS EVERHARDUS CORNELIS ,  WALLERBOS ERIK JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20 ,  G05B13/04 ,  G05B19/418 ,  H01L21/66

Abstract: Ein Verfahren, System und Programm zum Bestimmen des Beitrags eines Fingerabdrucks eines Parameters. Das Verfahren umfasst das Bestimmen eines Beitrags von einer Vorrichtung aus einer Vielzahl von Vorrichtungen zu einem Fingerabdruck eines Parameters. Das Verfahren beinhaltet Folgendes:Erhalten von Parameterdaten und Verwendungsdaten, wobei die Parameterdaten auf Messungen für mehrere Substrate, die von der Vielzahl von Vorrichtungen verarbeitet worden sind, basieren und die Verwendungsdaten angeben, welche der Vorrichtungen aus der Vielzahl der Vorrichtungen bei der Verarbeitung jedes Substrats verwendet wurden; undBestimmen des Beitrags unter Verwendung der Verwendungsdaten und Parameterdaten.