公开(公告)号：DE102017114216A1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：DE102017114216

申请日：2017-06-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV ,  ZEISS CARL SMT GMBH

Inventor： KALLER JULIAN ,  ANANTHARAMAN VINOD ,  SCHAAREMAN PAUL ,  VAN DEN HEUVEL LEONIE ,  WERNAART TWAN ,  SOSNIAK LUKASZ ,  SCHOENMAKERS PETER ,  KOLLER PAUL

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2002907A1

公开(公告)日：2009-12-11

申请号：NL2002907

申请日：2009-05-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITZ ROGER ,  NIEUWKOOP EVERT ,  POTTS BILL ,  LEMMEN MARTIN ,  GRAAF RIK VAN DER ,  KROON MACHTELD DE ,  VELTHUIS HAN ,  EMPEL TJARKO VAN ,  MUITJENS MARCEL ,  CHENG LUN ,  JANSSEN FRANK ,  HELDEN WILLIAM VAN ,  VERSLUIS RICHARD ,  SCHAAREMAN PAUL ,  LEXMOND AXEL

IPC: G03F7/20