公开(公告)号：WO2013160026A3

公开(公告)日：2014-07-24

申请号：PCT/EP2013055662

申请日：2013-03-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WILKLOW RONALD ,  SCHMITZ ROGER ,  NOTENBOOM ARNOUD ,  WILL MANON ELISE

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70708 ,  G03F7/70875 ,  H01L21/6831

Abstract: An electrostatic clamp (21) configured to hold an object, the electrostatic clamp comprising an electrode (24), a resistive portion (23) formed from a resistive material located on the electrode, and a dielectric portion (22) formed from a dielectric material located on the resistive portion.

Abstract translation: 一种构造成保持物体的静电夹具（21），所述静电夹具包括电极（24），由位于所述电极上的电阻材料形成的电阻部分（23）和由电介质材料形成的电介质部分 位于电阻部分上。

公开(公告)号：NL2008845A

公开(公告)日：2012-11-27

申请号：NL2008845

申请日：2012-05-21

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： NIENHUYS HAN-KWANG ,  JANSSEN FRANCISCUS ,  PEKELDER SVEN ,  HUIJBERTS ALEXANDER MARINUS ARNOLDUS ,  GASSELING PAULUS ALBERTUS MARIA ,  SCHMITZ ROGER

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2012452A

公开(公告)日：2014-10-13

申请号：NL2012452

申请日：2014-03-17

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITZ ROGER ,  LEVASIER LEON ,  DERKS SANDER

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

公开(公告)号：NL2008250A

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：NL2008250

申请日：2012-02-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： NIENHUYS HAN-KWANG ,  CUIJPERS MARTINUS ,  LEVASIER LEON ,  SCHOOT JAN ,  VIJVER YURI ,  VOZNYI OLEG ,  JANSSEN FRANCISCUS ,  PHILIPS DANNY ,  MIRANDA MARCIO ,  GALAKTIONOV OLEKSIY ,  BAL KURSAT ,  SCHMITZ ROGER ,  LEROUX ALAIN ,  RANJAN MANISH ,  RIJPMA ALBERT

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2002907A1

公开(公告)日：2009-12-11

申请号：NL2002907

申请日：2009-05-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITZ ROGER ,  NIEUWKOOP EVERT ,  POTTS BILL ,  LEMMEN MARTIN ,  GRAAF RIK VAN DER ,  KROON MACHTELD DE ,  VELTHUIS HAN ,  EMPEL TJARKO VAN ,  MUITJENS MARCEL ,  CHENG LUN ,  JANSSEN FRANK ,  HELDEN WILLIAM VAN ,  VERSLUIS RICHARD ,  SCHAAREMAN PAUL ,  LEXMOND AXEL

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010481A

公开(公告)日：2013-10-28

申请号：NL2010481

申请日：2013-03-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WILK RONALD ,  SCHMITZ ROGER ,  NOTENBOOM ARNOUD ,  WILL MANON ELISE

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/687