公开(公告)号：NL2002964A1

公开(公告)日：2009-12-17

申请号：NL2002964

申请日：2009-06-04

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LEXMOND AXEL ,  DONDERS SJOERD ,  JACOBS JOHANNES ,  GEERS LEONARD

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/66

公开(公告)号：NL2002907A1

公开(公告)日：2009-12-11

申请号：NL2002907

申请日：2009-05-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITZ ROGER ,  NIEUWKOOP EVERT ,  POTTS BILL ,  LEMMEN MARTIN ,  GRAAF RIK VAN DER ,  KROON MACHTELD DE ,  VELTHUIS HAN ,  EMPEL TJARKO VAN ,  MUITJENS MARCEL ,  CHENG LUN ,  JANSSEN FRANK ,  HELDEN WILLIAM VAN ,  VERSLUIS RICHARD ,  SCHAAREMAN PAUL ,  LEXMOND AXEL

IPC: G03F7/20