公开(公告)号：NL2011237A

公开(公告)日：2014-02-04

申请号：NL2011237

申请日：2013-07-30

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BANINE VADIM ,  MINNAERT ARTHUR ,  MUITJENS MARCEL ,  YAKUNIN ANDREI ,  SCACCABAROZZI LUIGI ,  MALLMANN HANS ,  BAL KURSAT ,  LUIJTEN CARLO ,  NIENHUYS HAN-KWANG ,  HUIJBERTS ALEXANDER ,  GASSELING PAULUS ,  RIZO DIAGO PEDRO ,  KAMPEN MAARTEN ,  AERLE NICK

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2002907A1

公开(公告)日：2009-12-11

申请号：NL2002907

申请日：2009-05-20

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCHMITZ ROGER ,  NIEUWKOOP EVERT ,  POTTS BILL ,  LEMMEN MARTIN ,  GRAAF RIK VAN DER ,  KROON MACHTELD DE ,  VELTHUIS HAN ,  EMPEL TJARKO VAN ,  MUITJENS MARCEL ,  CHENG LUN ,  JANSSEN FRANK ,  HELDEN WILLIAM VAN ,  VERSLUIS RICHARD ,  SCHAAREMAN PAUL ,  LEXMOND AXEL

IPC: G03F7/20