公开(公告)号：SG11201804637UA

公开(公告)日：2018-07-30

申请号：SG11201804637U

申请日：2016-12-20

Applicant: BASF SE

Inventor： DÄSCHLEIN CHRISTIAN ,  SIEBERT MAX ,  LAUTER MICHAEL ,  PRZYBYLSKI PETER ,  PROELSS JULIAN ,  KLIPP ANDREAS ,  GUEVENC HACI OSMAN ,  LEUNISSEN LEONARDUS ,  BAUMANN ROELF-PETER ,  WEI TE YU

IPC: C11D3/37 ,  C11D11/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/321

Abstract: Described is a post chemical-mechanical-polishing (post-CMP) cleaning composition comprising or consisting of: (A) polyethylene glycol (PEG) with a mass average molar mass (Mw) in the range of from 400 to 8,000 g/mol, (B) an anionic polymer selected from the group consisting of poly(acrylic acid) (PAA), acrylic acid-maleic acid copolymers, polyaspartic acid (PASA), polyglutamic acid (PGA), polyvinylphosphonic acid, polyvinylsulfonic acid, poly(styrenesulfonic acid), polycarboxylate ethers (PCE), PEG-phosphorous acids, and copolymers of said polymers, and (C) water, wherein the pH of the composition is in the range of from 7.0 to 10.5.

公开(公告)号：EA038493B1

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：EA201792233

申请日：2016-04-12

Applicant: BASF SE

Inventor： KONRADI RUPERT ,  CEPRAGA CHRISTINA ,  STAUDT CLAUDIA ,  VON VACANO BERNHARD ,  KELLERMEIER MATTHIAS ,  STENGEL PETER ,  BAUMANN ROELF-PETER ,  MARTY LAURENT ,  KUHN JELAN ,  SCHAUKSDAT SARAH-JANE ,  WEGMANN LUDGER ,  BOHRER ERIK

Abstract: Данноеизобретениеотноситсяк способууменьшениязагрязненияповерхностиО, включающемуполучениеводногораствора S, какминимум, одногополимераР, образованногоизстиролаи сложногоэфираметакриловойкислотыи полиэтиленгликоля, имеющегосреднююмолярнуюмассу Mn от 550 до 2000 г/моль, путемполимеризациив растворев воде, этаноле, 1-пропаноле, 2-пропанолеилиихкомбинации, причемуказанныйводныйрастворсодержит, какминимум, 50 вес.% воды, инанесениеуказанноговодногораствора S науказаннуюповерхностьО, игдереакциюполимеризацииосуществляютпримолярномсоотношениистиролак сложномуэфируметакриловойкислотыи полиэтиленгликоляот 1:1 до 4:1. Такженастоящееизобретениеотноситсяк применениюуказнногоспособа, кполимерамдляуменьшениябиозагрязнениямембраныи кмембране.

公开(公告)号：SG11201804636YA

公开(公告)日：2018-07-30

申请号：SG11201804636Y

申请日：2016-12-20

Applicant: BASF SE

Inventor： DÄSCHLEIN CHRISTIAN ,  SIEBERT MAX ,  LAUTER MICHAEL ,  PRZYBYLSKI PETER ,  PROELSS JULIAN ,  KLIPP ANDREAS ,  GUEVENC HACI OSMAN ,  LEUNISSEN LEONARDUS ,  BAUMANN ROELF-PETER ,  WEI TE YU

IPC: H01L21/321 ,  C11D3/00 ,  C11D3/37 ,  C11D11/00

Abstract: Described is a post chemical-mechanical-polishing (post-CMP) cleaning composition comprising or consisting of: (A) one or more nonionic polymers selected from the group consisting of poly- acrylamides, polyhydroxyethyl(meth)acrylates (PHE(M)A), polyvinylpyrrolidone (PVP), polyvinyl alcohol (PVA), polymers of formula (I), and mixtures thereof, wherein R1 is hydrogen, methyl, ethyl, n-propyl, /so-propyl, n-butyl, iso-butyl, or sec-butyl, R2 is hydrogen or methyl, and n is an integer, (B) poly(acrylic acid) (PAA) or acrylic acid-maleic acid copolymer with a mass average molar mass (Mw) of up to 10,000 g/mol, and (C) water, wherein the pH of the composition is in the range of from 7.0 to 10.5.