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公开(公告)号：CN103456588B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103456588A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310211268.5
申请日：2013-05-31
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/026 , H01J37/10 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/0492 , H01J2237/08 , H01J2237/18 , H01J2237/188 , H01J2237/31713 , H01J2237/31749
Abstract: 申请人已发现，使用等离子体源的离子束系统中由高能离子与中性气体分子之间的电荷交换性相互作用产生的活跃中性粒子到达样本。这些活跃中性粒子产生了离开束冲击点的二次电子。解决这个问题的方法包括在该等离子源下方的多个差分泵送室以减少使这些离子与气体相互作用的机会。
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公开(公告)号：CN103107055A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210396411.8
申请日：2012-10-18
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/32651 , H01J37/08 , H01J37/321 , H01J37/32504 , H01J2237/0206 , H01J2237/026 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明涉及用于聚焦射束系统的电感耦合等离子体离子源。一种用于聚焦带电粒子束系统的电感耦合等离子体源包括等离子体室内的导电屏蔽以便减少到等离子体的电容耦合。内部导电屏蔽被偏置电极或被等离子体被保持在与等离子体源基本上相同的电位。内部屏蔽允许等离子体室的外部上的更多种冷却方法。
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公开(公告)号：CN103367087A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310104256.2
申请日：2013-03-28
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/305 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/08 , H01J37/045 , H01J37/243 , H01J37/302 , H01J2237/043 , H01J2237/0805 , H01J2237/0817 , H01J2237/30472 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于关闭和恢复离子束系统中的离子束的改进的方法和设备。优选实施例提供了一种用于改善对聚焦离子束源的功率控制的系统，其利用自动检测带电粒子射束系统何时空闲（即射束本身未在使用中），并且之后使射束电流自动降低至在离子柱中的任何孔径面处发生很少或不发生离子铣削的程度。优选实施例包括控制器，其可操作成在检测到带电粒子射束系统的离子源的空闲状态时修改施加到提取器电极的电压和/或降低施加到源电极的电压。
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