公开(公告)号：DE102018209024B4

公开(公告)日：2021-08-19

申请号：DE102018209024

申请日：2018-06-07

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MAKARAM PRASHANTH ,  TRAVAN CATERINA ,  ZOEPFL ALEXANDER ,  COOPER JOHN ,  PINDL STEPHAN ,  ORTNER JÖRG

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01N27/04

Abstract: Vorrichtung mit:einem halbleiterbasierten Substrat (12) mit einer in oder an dem halbleiterbasierten Substrat (12) ausgebildeten Funktionsstruktur;einer Rahmenstruktur (16), die die Funktionsstruktur (14) umgibt;einer Beschichtung (22), die die Funktionsstruktur (14) bedeckt und von der Rahmenstruktur (16) begrenzt ist;wobei die Beschichtung (22) ein Nanomaterial, insbesondere ein Kohlenstoff-Nanomaterial, umfasst;wobei die Funktionsschicht (14) eine elektrisch leitfähige Funktion und/oder eine Schutzfunktion vor mechanischen und/oder chemischen Einflüssen bereitstellt;wobei die Vorrichtung als eines aus einem Chemosensor und einem Transistor gebildet ist.

公开(公告)号：DE102017108810A1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：DE102017108810

申请日：2017-04-25

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： COOPER JOHN ,  ORTNER JÖRG

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L27/118

Abstract: Ein Verfahren umfasst Bereitstellen einer strukturierten Schicht auf einem Wafer, selektives Bereitstellen einer Substanz auf einem ausgewählten Teil des Wafers. Ein Die umfasst eine Halbleitervorrichtung auf einem Substrat. Die Halbleitervorrichtung beinhaltet eine Substanz. Die Substanz weist eine Seitenwand auf, die hinsichtlich einer Basisoberfläche und/oder einer Oberseitenoberfläche des Substrats senkrecht ist.

公开(公告)号：DE102009006340A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：DE102009006340

申请日：2009-01-27

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： CAMPIDELL JOSEF ,  COOPER JOHN ,  KITTNER HORST ,  WISTRELA ROBERT

IPC: H01L21/68

Abstract: A system and method for prealigning a substrate. One embodiment provides a rotor configured to rotate a carrier around a rotation axis in response to a rotation signal. The carrier includes a main surface substantially perpendicular to the rotation axis. The substrate is disposable on the carrier. The substrate includes a main surface and a mark such that an orientation of the substrate with respect to the rotation axis is detectable. An electromagnetic radiation source is configured to illuminate the main surface of the substrate with electromagnetic radiation. An optical/electrical converter is responsive to the electromagnetic radiation reflected back from the main surface, detecting the mark of the substrate and providing a sensing signal. A controller is configured to receive the sensing signal and providing the rotation signal.

公开(公告)号：DE102018209024A1

公开(公告)日：2019-12-12

申请号：DE102018209024

申请日：2018-06-07

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MAKARAM PRASHANTH ,  TRAVAN CATERINA ,  ZOEPFL ALEXANDER ,  COOPER JOHN ,  PINDL STEPHAN ,  ORTNER JÖRG

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01N27/04

Abstract: Eine Vorrichtung umfasst ein halbleiterbasiertes Substrat mit einer in oder an dem halbleiterbasierten Substrat ausgebildeten Funktionsstruktur. Die Vorrichtung umfasst eine Rahmenstruktur, die die Funktionsstruktur umgibt und umfasst eine Beschichtung, die die Funktionsstruktur bedeckt und der Rahmenstruktur begrenzt ist.

公开(公告)号：DE102009006340B4

公开(公告)日：2016-12-08

申请号：DE102009006340

申请日：2009-01-27

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： CAMPIDELL JOSEF ,  COOPER JOHN ,  KITTNER HORST ,  WISTRELA ROBERT

IPC: H01L21/68

Abstract: System zum Herstellen einer integrierten Schaltung, das einen Vorausrichter (100) zum Ausrichten eines Substrats (170) umfasst, mit folgenden Merkmalen: einem Rotor (110), der einen Träger (120) ansprechend auf ein Rotationssignal um eine Rotationsachse (130) dreht; wobei der Träger (120) eine Hauptoberfläche (160) aufweist, die senkrecht zu der Rotationsachse (130) ist; wobei das Substrat (170) an dem Träger (120) angeordnet ist; und wobei das Substrat (170) eine Hauptoberfläche (190) und eine Markierung aufweist, derart, dass eine Orientierung des Substrats (170) mit Bezug auf die Rotationsachse (130) erfasst wird; eine Quelle (200) für elektromagnetische Strahlung, die die Hauptoberfläche (190) des Substrats (170) mit elektromagnetischer Strahlung beleuchtet; einem optisch/elektrischen Wandler (210), der auf die von der Hauptoberfläche (190) des Substrats (170) reflektierte elektromagnetische Strahlung anspricht, die Markierung des Substrats (170) erfasst und ein Erfassungssignal liefert; und einer Steuerung (150), die das Erfassungssignal empfängt, und das Rotationssignal liefert; wobei der Träger (120) ein unterschiedliches Reflexionsvermögen als das Substrat (170) aufweist; und wobei das Substrat (170) an dem Träger (120) durch einen Klebstoff angeordnet ist und der Klebstoff ein unterschiedliches Reflexionsvermögen als das Substrat (170) aufweist.