公开(公告)号：DE102018120580A1

公开(公告)日：2020-02-27

申请号：DE102018120580

申请日：2018-08-23

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FIEDLER OLAF ,  SIMON DANIEL KAI ,  HANNEMANN ULLRICH ,  ZEHNER SIGURD VOLKER ,  HORN ANDRE

IPC: C23C16/455

Abstract: Ein Verfahren zum Abscheiden einer Schicht umfasst ein Messen einer physikalischen Eigenschaft, die mit einem Luftdruck in einer Reaktorkammer (450) einer Abscheidungsvorrichtung (400) zusammenhängt. Ein Haupt-Gasgemisch (100), das ein Quellengas (110) und ein Hilfsgas (120) aufweist, wird bei Atmosphärendruck in die Reaktorkammer (450) eingeführt, wobei das Quellengas (110) ein Precursor-Material (112) und ein Trägergas (114) enthält. Ein Gasstrom von zumindest einem des Quellengases (110) und des Hilfsgases (120) in die Reaktorkammer (450) wird als Antwort auf eine Änderung des Luftdrucks in der Reaktorkammer (450) gesteuert.

公开(公告)号：DE102021115349A1

公开(公告)日：2022-01-20

申请号：DE102021115349

申请日：2021-06-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KÜNLE MATTHIAS ,  FIEDLER OLAF ,  HUBER THOMAS ,  ILLEMANN CHRISTIAN ,  MALE MATHIAS

IPC: C23C16/455

Abstract: Eine Prozesskammer zur Prozessierung eines Substrats umfasst einen Kammerkörper, der einen inneren Substratprozessierungsbereich definiert. Die Prozesskammer umfasst ferner einen Substratträger zum Halten eines Substrats und einen Vorwärmring mit einer zentralen Öffnung, die so bemessen ist, dass sie um das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat herum angeordnet ist. Ein Prozessgaseinlass ist so konfiguriert, dass er Prozessgas in einer seitlichen Richtung leitet, um über den Vorwärmring und über das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat zu strömen. Ein Prozessgasauslass ist gegenüber dem Prozessgaseinlass angeordnet. Ein Prozessgasströmungsablenker umfasst einen radial äußeren Befestigungsabschnitt und einen radial inneren, sich in radialer Richtung erstreckenden, blattförmigen Prozessgasablenkungsabschnitt, wobei der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt als Ringsegment ausgebildet ist. Der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt ist oberhalb des Prozessgaseinlasses angeordnet und so dimensioniert, dass er mit dem Vorwärmring überlappt, wobei der Grad der Überlappung zwischen dem Vorwärmring und dem Prozessgasströmungsablenker in radialer Richtung mindestens 1/2 der radialen Abmessung des Vorwärmrings beträgt.

公开(公告)号：DE102018103168B4

公开(公告)日：2019-08-29

申请号：DE102018103168

申请日：2018-02-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FIEDLER OLAF ,  SIMON DANIEL KAI

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C30B25/14 ,  H01L21/205

Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterschicht umfasst ein Einbringen eines Quellengases (110), das ein Vorläufermaterial (112) und ein Trägergas (114) enthält, in einen Reaktor (400), wobei ein Gasfluss des Quellengases (110) abhängig von einer Änderung einer Konzentration des Vorläufermaterials (112) in dem Quellengas (110) gesteuert ist. Ein Hilfsgas (120) wird in den Reaktor (400) eingebracht, wobei ein Gasfluss des Hilfsgases (120) derart gesteuert ist, dass ein gesamter Gasfluss des Quellengases (110) und des Hilfsgases (120) in den Reaktor (400) konstant gehalten wird, wenn der Gasfluss des Quellengases (110) sich verändert.

公开(公告)号：DE102018103168A1

公开(公告)日：2019-08-14

申请号：DE102018103168

申请日：2018-02-13

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： FIEDLER OLAF ,  SIMON DANIEL KAI

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C30B25/14 ,  H01L21/205

Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterschicht umfasst ein Einbringen eines Quellengases (110), das ein Vorläufermaterial (112) und ein Trägergas (114) enthält, in einen Reaktor (400), wobei ein Gasfluss des Quellengases (110) abhängig von einer Änderung einer Konzentration des Vorläufermaterials (112) in dem Quellengas (110) gesteuert ist. Ein Hilfsgas (120) wird in den Reaktor (400) eingebracht, wobei ein Gasfluss des Hilfsgases (120) derart gesteuert ist, dass ein gesamter Gasfluss des Quellengases (110) und des Hilfsgases (120) in den Reaktor (400) konstant gehalten wird, wenn der Gasfluss des Quellengases (110) sich verändert.