2.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10140757B4

    公开(公告)日:2004-11-04

    申请号:DE10140757

    申请日:2001-08-20

    Abstract: Signal transit times on printed circuit boards which are equipped with all the passive components but without any active components can be determined using automatic standard test equipment composed of a standard test unit and a performance board with fittings attached thereto. In that first, using a standard routine of the test unit, a transit time is measured on the performance board from the CIF connector as far as the fitting, then a printed circuit board is plugged into the fitting location determined for it and then the sum transit time of the CIF connector is measured as far as the landing pad on the printed circuit board. By forming differences between the two measured values, the transit times on a printed circuit board can be measured with a high degree of precision with the automatic standard test equipment used in standard module testing technology.

    SUBSTRAT-PROZESSKAMMER UND PROZESSGASSTRÖMUNGSABLENKER ZUR VERWENDUNG IN DER PROZESSKAMMER

    公开(公告)号:DE102021115349A1

    公开(公告)日:2022-01-20

    申请号:DE102021115349

    申请日:2021-06-14

    Abstract: Eine Prozesskammer zur Prozessierung eines Substrats umfasst einen Kammerkörper, der einen inneren Substratprozessierungsbereich definiert. Die Prozesskammer umfasst ferner einen Substratträger zum Halten eines Substrats und einen Vorwärmring mit einer zentralen Öffnung, die so bemessen ist, dass sie um das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat herum angeordnet ist. Ein Prozessgaseinlass ist so konfiguriert, dass er Prozessgas in einer seitlichen Richtung leitet, um über den Vorwärmring und über das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat zu strömen. Ein Prozessgasauslass ist gegenüber dem Prozessgaseinlass angeordnet. Ein Prozessgasströmungsablenker umfasst einen radial äußeren Befestigungsabschnitt und einen radial inneren, sich in radialer Richtung erstreckenden, blattförmigen Prozessgasablenkungsabschnitt, wobei der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt als Ringsegment ausgebildet ist. Der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt ist oberhalb des Prozessgaseinlasses angeordnet und so dimensioniert, dass er mit dem Vorwärmring überlappt, wobei der Grad der Überlappung zwischen dem Vorwärmring und dem Prozessgasströmungsablenker in radialer Richtung mindestens 1/2 der radialen Abmessung des Vorwärmrings beträgt.

    10.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10208737A1

    公开(公告)日:2003-09-18

    申请号:DE10208737

    申请日:2002-02-28

    Abstract: An adapter apparatus for receiving memory modules, each of which has a plurality of data terminals and a plurality of control terminals, comprises first data terminals, first control terminals, a first socket for receiving a first memory module with second data terminals and second control terminals, wherein the second data terminals are associated to the data terminals of the first memory module, wherein the second control terminals are associated to the control terminals of the first memory module, a second socket for receiving a second memory module with third data terminals and third control terminals, wherein the third data terminals are associated to the data terminals of the second memory module, wherein the third control terminals are associated to the control terminals of the second memory module, a signal transformation circuit with an input and an output, wherein the input is connected to the first control terminals, and wherein the output is connected to the second control terminals and to the third control terminals, and wherein a second group of first data terminals is connected to the third data terminals.

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