公开(公告)号：DE102016114607A1

公开(公告)日：2018-02-08

申请号：DE102016114607

申请日：2016-08-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： PILCH KARL ,  ILLEMANN CHRISTIAN ,  PRIESS HERBERT

IPC: G01F11/00 ,  B05B1/00

Abstract: Ein Flüssigkeitsabgabesystem umfasst zumindest eine Düse, die ausgebildet ist, um eine Flüssigkeit abzugeben. Das Flüssigkeitsabgabesystem umfasst zumindest ein Sensormodul, das ausgebildet ist, um ein Sensorsignal bereitzustellen, das Information bezogen darauf umfasst, ob Flüssigkeit durch die zumindest eine Düse abgegeben wird. Zumindest ein Teil des zumindest einen Sensormoduls ist in der Nähe der Düse angeordnet.

公开(公告)号：DE102021115349A1

公开(公告)日：2022-01-20

申请号：DE102021115349

申请日：2021-06-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KÜNLE MATTHIAS ,  FIEDLER OLAF ,  HUBER THOMAS ,  ILLEMANN CHRISTIAN ,  MALE MATHIAS

IPC: C23C16/455

Abstract: Eine Prozesskammer zur Prozessierung eines Substrats umfasst einen Kammerkörper, der einen inneren Substratprozessierungsbereich definiert. Die Prozesskammer umfasst ferner einen Substratträger zum Halten eines Substrats und einen Vorwärmring mit einer zentralen Öffnung, die so bemessen ist, dass sie um das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat herum angeordnet ist. Ein Prozessgaseinlass ist so konfiguriert, dass er Prozessgas in einer seitlichen Richtung leitet, um über den Vorwärmring und über das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat zu strömen. Ein Prozessgasauslass ist gegenüber dem Prozessgaseinlass angeordnet. Ein Prozessgasströmungsablenker umfasst einen radial äußeren Befestigungsabschnitt und einen radial inneren, sich in radialer Richtung erstreckenden, blattförmigen Prozessgasablenkungsabschnitt, wobei der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt als Ringsegment ausgebildet ist. Der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt ist oberhalb des Prozessgaseinlasses angeordnet und so dimensioniert, dass er mit dem Vorwärmring überlappt, wobei der Grad der Überlappung zwischen dem Vorwärmring und dem Prozessgasströmungsablenker in radialer Richtung mindestens 1/2 der radialen Abmessung des Vorwärmrings beträgt.

公开(公告)号：DE102018122109A1

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：DE102018122109

申请日：2018-09-11

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KUENLE MATTHIAS ,  BAUMGARTL JOHANNES ,  ENGELHARDT MANFRED ,  ILLEMANN CHRISTIAN ,  SANTOS RODRIGUEZ FRANCISCO JAVIER ,  STORBECK OLAF

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/455

Abstract: Ein CDV-Reaktor (100), einschließlich einer Abscheidungskammer (110), die einen ersten Suszeptor (121a) und einen zweiten Suszeptor (121b) aufnimmt, wobei der erste Suszeptor (121a) eine Kavität zur Aufnahme eines ersten Substrats (101a) aufweist, das erste Substrat (101a) eine Vorderfläche (102a) und eine Rückfläche (103a) aufweist, der zweite Suszeptor (121b) eine Kavität zur Aufnahme eines zweiten Substrats (101b) aufweist, das zweite Substrat (101b) eine Vorderfläche (102b) und eine Rückfläche (103b) aufweist und der erste Suszeptor (121a) und der zweite Suszeptor (121b) angeordnet sind, so dass die Vorderfläche (102a) des ersten Substrats (101a) gegenüberliegend von der Vorderfläche (102b) des zweiten Substrats (101b) ist, wodurch ein Abschnitt eines Gasstromkanals ausgebildet wird.

公开(公告)号：DE102016114607B4

公开(公告)日：2025-03-20

申请号：DE102016114607

申请日：2016-08-05

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： PILCH KARL ,  ILLEMANN CHRISTIAN ,  PRIESS HERBERT

IPC: G01F11/00 ,  B05B12/00

Abstract: Ein Flüssigkeitsabgabesystem (100, 200, 300), umfassend:zumindest eine Düse (110), die ausgebildet ist, um eine Flüssigkeit abzugeben;zumindest ein Sensormodul (120), das ausgebildet ist, um ein Sensorsignal bereitzustellen, das Information bezogen darauf umfasst, ob Flüssigkeit durch die zumindest eine Düse (110) abgegeben wird; undzumindest ein elektromagnetisches Emittermodul (122), das ausgebildet ist, um elektromagnetische Strahlung in Richtung eines Pfades des Fallens von Flüssigkeit zu emittieren, die durch die zumindest eine Düse (110) abgegeben wird,wobei zumindest ein Teil des zumindest einen Sensormoduls (120) in der Nähe der Düse (110) angeordnet ist,wobei das zumindest eine Sensormodul (120) ausgebildet ist, um das Sensorsignal basierend auf einem Einfluss der abgegebenen Flüssigkeit auf die elektromagnetische Strahlung bereitzustellen,wobei das zumindest eine Sensormodul (120) ausgebildet ist, um das Sensorsignal basierend auf einer Brechung der emittierten elektromagnetischen Strahlung zu bestimmen, die durch die abgegebene Flüssigkeit verursacht wird,wobei ein Teil der elektromagnetischen Strahlung, die durch das zumindest eine elektromagnetische Emittermodul (122) emittiert wird und durch das zumindest eine Sensormodul (120) empfangen wird, während Flüssigkeit durch die zumindest eine Düse (110) abgegeben wird, zumindest 10% höher ist als ein Teil der elektromagnetischen Strahlung, die durch das zumindest eine elektromagnetische Emittermodul (122) emittiert und durch das zumindest eine Sensormodul (120) empfangen wird, während keine Flüssigkeit durch die zumindest eine Düse (110) abgegeben wird.