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公开(公告)号:DE102024119424A1
公开(公告)日:2025-03-27
申请号:DE102024119424
申请日:2024-07-09
Applicant: INTEL CORP
Inventor: FRISH HAREL , MAHALINGAM HARI , FATHOLOLOUMI SAEED , YERKES SHANE , HECK JOHN , QIAN WEI
Abstract: Vorrichtung, die ein Siliziumsubstrat und einen Wellenleiter auf dem Siliziumsubstrat umfasst. Im Substrat befindet sich eine Nut, wobei die Nut eine geneigte Rückwand neben dem Wellenleiter aufweist. Im Substrat befindet sich ein Graben, der Graben entlang einer zweiten Richtung in der Regel orthogonal zur ersten Richtung quer über die geneigte Rückwand, wobei der Graben eine vertikale Wand an einer Schnittlinie mit der geneigten Rückwand aufweist. Eine optische Faser in der Nut, wobei ein Ende der optischen Faser an der vertikalen Wand anliegt.
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公开(公告)号:DE102024123943A1
公开(公告)日:2025-04-03
申请号:DE102024123943
申请日:2024-08-21
Applicant: INTEL CORP
Inventor: DOYLEND JONATHAN , MIZRAHI AMIT , MONIFI FARAZ , FATHOLOLOUMI SAEED
Abstract: Ein Multiwellenlängensender, der zur Verwendung in LiDAR-Anwendungen geeignet ist, bei dem ein Array von Ausgangsstrahlen, die eine Mehrzahl von Wellenlängen umfassen, räumlich mit niedrigen Verstärkungsanforderungen moduliert wird. Der optische Sender umfasst eine oder mehrere Lichtquellen, wie etwa eine Mehrzahl von Laseremittern, die bei unterschiedlichen Wellenlängen betreibbar sind. Die Lichtquelle(n) ist (sind) zum Beispiel über einen oder mehrere planare Wellenleiter mit einem optischen Schalternetzwerk gekoppelt, das einen oder mehrere Schalter umfasst. Das Schalternetzwerk soll auf eine zeitgeteilte Weise Quellstrahlen zu einzelnen einer Mehrzahl von Schalterausgangsports leiten, wodurch die Wellenlänge eines Strahls, der aus jedem der Ausgangsports austritt, moduliert wird. eine Mehrzahl von Ausgangskopplern, die zum Beispiel randgekoppelte Punktgrößenkonverter umfassen, sind mit separaten der Schalterausgangsports gekoppelt, zum Beispiel über einen oder mehrere planare Wellenleiter und/oder einen oder mehrere Strahlteiler.
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公开(公告)号:DE102022105986A1
公开(公告)日:2022-12-29
申请号:DE102022105986
申请日:2022-03-15
Applicant: INTEL CORP
Inventor: SAKIB MEER NAZMUS , FATHOLOLOUMI SAEED , FRISH HAREL , HECK JOHN , BONONCINI EDDIE , DEFREES REECE A , DOBEK STANLEY J , EFTEKHAR ALIASGHAR , GARAY WALTER , LIU LINGTAO , QIAN WEI
Abstract: Ein Verfahren kann Folgendes beinhalten: Ausbilden einer Basisschicht auf einem Substrat; Ausbilden einer Wellenleiterbaugruppe auf der Basisschicht, wobei die Wellenleiterbaugruppe von einer Mantelschicht umgeben ist; Ausbilden einer Grabenöffnung durch die Mantelschicht und die Basisschicht; Ausbilden einer Unterhöhlung durch Ätzen des Substrats durch die Grabenöffnung, wobei sich die Unterhöhlung unter der Wellenleiterbaugruppe und der Basisschicht erstreckt; und Füllen der Grabenöffnung mit einem Füllstoff, um die Unterhöhlung abzudichten. Weitere Ausführungsformen sind beschrieben und beansprucht.
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