公开(公告)号：DE112015002079T5

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：DE112015002079

申请日：2015-04-30

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  WILSON LAUREN ,  PANZER MATTHEW ,  BEZEL ILYA V

IPC: H01J61/02

Abstract: Eine lasergestützte Plasmalichtquelle beinhaltet eine Plasmalampe, die dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen und Beleuchtung von einem Pumplaser zu empfangen, um ein Plasma zu erzeugen. Die Plasmalampe beinhaltet einen oder mehrere transparente Bereiche, welche für Beleuchtung von dem Pumplaser und zumindest einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung transparent sind. Der eine oder die mehreren transparenten Bereiche sind aus einem transparenten Material gebildet, welches einen erhöhten Hydroxidgehalt über 700 ppm hat.

公开(公告)号：DE112013000595T5

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：DE112013000595

申请日：2013-01-17

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  PANZER MATTHEW ,  DERSTINE MATTHEW W ,  PATIL RAJEEV ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  SHIFRIN EUGENE ,  WANG JINCHENG ,  CHIMMALGI ANANT ,  BRUNNER RUDOLF

IPC: H01J65/04

Abstract: Eine Plasmazelle (100) zur Verwendung in einer mittels Laser aufrechterhaltenen Plasmalichtquelle umfasst einen Plasmakolben (102), der derart konfiguriert ist, dass er ein zur Erzeugung eines Plasmas (106) geeignetes Gas enthält. Der Plasmakolben (102) ist im Wesentlichen für Licht von einem Pumplaser transparent, um das Plasma (106) innerhalb des Plasmakolbens (102) aufrecht zu erhalten. Der Plasmakolben (102) ist im Wesentlichen transparent für mindestens einen Abschnitt eines sammelbaren spektralen Bereichs der Beleuchtung, die durch das Plasma (106) emittiert wird. Eine Filterschicht (104) ist auf einer inneren Oberfläche des Plasmakolbens (102) angeordnet, wobei die Filterschicht (104) so konfiguriert ist, dass sie einen ausgewählten Spektralbereich der vom Plasma (106) emittierten Beleuchtung blockiert.