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    System und Verfahren zum elektrodenlosen Zünden von Plasma in einer lasergestützten Plasmalichtquelle
    2.
    发明专利
    System und Verfahren zum elektrodenlosen Zünden von Plasma in einer lasergestützten Plasmalichtquelle 未知

    公开(公告)号：DE112016004526T5

    公开(公告)日：2018-06-14

    申请号：DE112016004526

    申请日：2016-09-30

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  BRUNNER RUDOLF ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  BEZEL ILYA V ,  KIM ERIK ,  PATIL RAJEEV

    IPC: H01J65/04

    Abstract: Eine Beleuchtungsquelle zum Zünden und Aufrechterhalten eines Plasmas in einer Plasmalampe einer lasergestützten Plasma-Breitbandquelle (LSP) umfasst einen oder mehrere Laser zum Zünden, die zum Zünden des Plasmas innerhalb eines in der Plasmalampe enthaltenen Gases konfiguriert sind. Die Beleuchtungsquelle umfasst auch einen oder mehrere Laser zum Aufrechterhalten, die dazu konfiguriert sind, das Plasma aufrechtzuerhalten. Die Beleuchtungsquelle umfasst eine optische Bereitstellungsfaser, ein oder mehrere optische Elemente, die konfiguriert sind, um selektiv einen Output des einen oder der mehreren Laser zum Zünden und einen Output des einen oder der mehreren Laser zum Aufrechterhalten mit der optischen Bereitstellungsfaser optisch zu koppeln.

    PLASMA CELL FOR LASER SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE
    3.
    发明申请
    PLASMA CELL FOR LASER SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE 审中-公开
    用于激光等离子体光源的等离子体电池

    公开(公告)号：WO2013066576A3

    公开(公告)日：2013-07-18

    申请号：PCT/US2012059448

    申请日：2012-10-10

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  BEZEL ILYA ,  PATIL RAJEEV

    IPC: H01J63/08 ,  H01J61/12

    CPC classification number: H01J61/526 ,  H01J61/28 ,  H01J65/04

    Abstract: A refillable plasma cell for use in a laser-sustained plasma light source includes a plasma bulb, the bulb being formed from a glass material substantially transparent to a selected wavelength of radiation, and a gas port assembly, the gas port assembly being operably connected to the bulb and disposed at a first portion of the gas bulb, wherein the bulb is configured to selectively receive a gas from a gas source via the gas port assembly.

    Abstract translation: 用于激光维持等离子体光源的可再填充等离子体单元包括等离子体球，该等离子体球由对选择的辐射波长基本上透明的玻璃材料形成，以及气体端口组件，气体端口组件可操作地连接到 所述灯泡设置在所述气泡的第一部分处，其中所述灯泡配置为选择性地经由所述气体端口组件从气体源接收气体。

    METHOD AND APPARATUS TO REDUCE THERMAL STRESS BY REGULATION AND CONTROL OF LAMP OPERATING TEMPERATURES
    4.
    发明公开
    METHOD AND APPARATUS TO REDUCE THERMAL STRESS BY REGULATION AND CONTROL OF LAMP OPERATING TEMPERATURES 有权
    方法和装置以降低火电根据规定和LAMP温度控制

    公开(公告)号：EP2890930A4

    公开(公告)日：2016-03-09

    申请号：EP13832549

    申请日：2013-08-28

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： WANG JINCHENG ,  CHIMMALGI ANANT ,  PATIL RAJEEV ,  KIM ERIK ,  BRUNNER RUDOLF ,  GIANG QUANG ,  WILSON LAUREN ,  GROSS KENNETH P ,  BEZEL ILYA ,  LASFARGUES CEDRIC ,  SCOTT DANIEL ,  VORA YOUNUS ,  DERSTINE MATTHEW

    IPC: F21V29/503 ,  F21V19/00 ,  F21V29/60

    CPC classification number: F28C3/04 ,  F21V19/00 ,  F21V29/02 ,  F21V29/503 ,  F21V29/60

    Abstract: A fluid input manifold distributes injected fluid around the body of a bulb to cool the bulb below a threshold. The injected fluid also distributes heat more evenly along the surface of the bulb to reduce thermal stress. The fluid input manifold may comprise one or more airfoils to direct a substantially laminar fluid flow along the surface of the bulb or it may comprise a plurality of fluid injection nozzles oriented to produce a substantially laminar fluid flow. An output portion may be configured to facilitate fluid flow along the surface of the bulb by allowing injected fluid to easily escape after absorbing heat from the bulb or by applying negative pressure to actively draw injected fluid along the surface of the bulb and away.

    Abstract translation: 一种流体输入歧管喷射配给流体围绕灯泡的主体冷却到低于阈值的灯泡。 注入的流体因此沿所述灯泡的表面更均匀地分布热量，以减少热应力。 所述流体输入歧管可以包括一个或多个翼型件以沿着灯泡的表面的基本层流流动，或者它可包括定向成产生基本上层流流动的流体喷射喷嘴的复数。 的输出部分可以被配置成通过允许注入的流体，以吸收来自灯泡热后容易逃脱或通过施加负压，以积极绘制注入的流体沿着灯泡和远离的表面以便沿着灯泡的表面的流体流动。

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