公开(公告)号：DE112015001498T5

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：DE112015001498

申请日：2015-03-27

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： DELGADO GILDARDO ,  WILSON LAUREN ,  CHIMMALGI ANANT ,  BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  DERSTINE MATTHEW W

IPC: H01J65/04

Abstract: Eine offene Plasmalampe enthält einen Hohlraumabschnitt. Ein Gaseinlass und Gasauslass des Hohlraumabschnitts sind angeordnet, um Gas durch den Hohlraumabschnitt fließen zu lassen. Die Plasmalampe weist auch eine Gasversorgungsanordnung auf, die fluide mit dem Gaseinlass des Hohlraumabschnitts gekoppelt und konfiguriert ist, Gas zu einem inneren Volumen des Hohlraumabschnitts zu liefern. Die Plasmalampe umfasst auch eine Düsenanordnung, die fluide mit dem Gasauslass des Hohlraumabschnitts gekoppelt ist. Die Düsenanordnung und Hohlraumabschnitt sind derart angeordnet, dass ein Volumen des Gases von einer Pumpquelle eine Beleuchtung zum Pumpen empfängt, wobei das mittels Licht aufrechterhaltene Plasma eine Breitbandstrahlung emittiert. Die Düsenanordnung ist konfiguriert, um eine konvektive Gasströmung aus dem Inneren des Hohlraumabschnitts zu einem Bereich außerhalb der Hohlraumabschnitt bereitzustellen, so dass ein Teil des aufrechterhaltenen Plasmas aus dem Hohlraumabschnitt durch den Gasstrom entfernt wird.

公开(公告)号：DE112015001355T5

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：DE112015001355

申请日：2015-03-19

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  YADAV RAHUL ,  BEZEL ILYA ,  OH SEBAEK ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: H01J37/32

Abstract: Eine mittels Laser ausfrechterhaltene Plasmalichtquelle umfasst eine Plasmazelle zum Speichern eines Gasvolumens. Die Plasmazelle wobei die Plasmazelle dazu konfiguriert ist, Beleuchtung von einem Pumplaser zu empfangen, um ein Plasma innerhalb des Gasvolumes zu erzeugen. Das Plasma emittiert breitbandige Strahlung. Die Plasmazelle umfasst einen oder mehrere transparente Abschnitte, die zumindest teilweise transparent für mindestens einen Abschnitt der Beleuchtung vom Pumplaser und mindestens einen Abschnitt der durch das Plasma emittierten breitbandigen Strahlung sind. Die Plasmazelle umfasst zudem eine oder mehrere nanostrukturierte Schichten, die auf einer oder mehreren Oberflächen des einen oder der mehreren transparente Abschnitte der Plasmazelle angeordnet sind. Die eine oder mehreren nanostrukturierten Schichten bilden einen Brechungsindex-Steuerungsbereich über einem Grenzbereich zwischen dem einen oder den mehreren transparenten Abschnitten der Plasmazelle und einer Atmosphäre aus.

公开(公告)号：DE112015001623T5

公开(公告)日：2017-02-09

申请号：DE112015001623

申请日：2015-04-01

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SHCHEMELININ ANATOLY ,  SOLARZ RICHARD ,  BEZEL ILYA ,  OH SEBAEK ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: H01J63/08 ,  H01J61/28

Abstract: Eine lasergestützte Plasmalichtquelle zum transversalen Plasmapumpen beinhaltet eine Pumpquelle, die dazu ausgebildet ist, Pumpbeleuchtung zu erzeugen, eines oder mehrere optische Elemente zur Beleuchtung und eine Gaseinschlussstruktur, welche dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen. Das eine oder die mehreren optischen Elemente zur Beleuchtung sind dazu ausgebildet, ein Plasma innerhalb des Gasvolumens der Gaseinschlussstruktur aufrechtzuerhalten, indem sie Pumpbeleuchtung entlang eines Pumpstrahlengangs zu einem oder mehreren Brennflecken innerhalb des Gasvolumens richten. Das eine oder die mehreren optischen Sammelelemente sind dazu ausgebildet, vom Plasma emittierte Breitbandstrahlung entlang eines Sammelstrahlengangs zu sammeln. Ferner sind die optischen Elemente zur Beleuchtung dazu ausgebildet, den Pumpstrahlengang derart festzulegen, dass Pumpbeleuchtung entlang einer Richtung transversal zu einer Fortpflanzungsrichtung des emittierten Breitbandlichts des Sammelstrahlengangs auf das Plasma trifft, so dass die Pumpbeleuchtung im Wesentlichen von der emittierten Breitbandstrahlung entkoppelt ist.

公开(公告)号：DE112014001493T5

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：DE112014001493

申请日：2014-05-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  DERSTINE MATTHEW W

IPC: H01J61/30

Abstract: Eine Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion beinhaltet ein Transmissionselement, welches dazu ausgebildet ist, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um ein Plasma innerhalb eines Plasmaerzeugungsgebiets des Gasvolumens zu erzeugen. Die Plasmazelle beinhaltet auch ein oberes Strömungssteuerelement, welches oberhalb der Plasmaerzeugung angeordnet ist und einen inneren Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, eine Fahne des Plasmas nach oben zu leiten, und ein unteres Strömungssteuerelement, welches unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets angeordnet ist und einen Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, Gas nach oben zu dem Plasmaerzeugungsgebiet zu leiten. Das obere Strömungssteuerelement und das untere Strömungssteuerelement sind so innerhalb des Transmissionselements angeordnet, dass sie einen oder mehrere Gasrückführkanäle bilden, um Gas von einem Bereich oberhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu einem Bereich unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu leiten.

公开(公告)号：DE112014001493B4

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：DE112014001493

申请日：2014-05-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  DERSTINE MATTHEW W

IPC: H01J65/04 ,  H01J61/30 ,  H01J65/00

Abstract: Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion, umfassend:ein Transmissionselement, das eine oder mehrere Öffnungen aufweist,einen oder mehrere Flansche, die an der einen oder den mehreren Öffnungen des Transmissionselements angebracht und dazu ausgebildet sind, das Innenvolumen des Transmissionselements einzuschließen, um ein Gasvolumen innerhalb des Transmissionselements einzuschließen, wobei das Transmissionselement dazu ausgebildet ist, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um ein Plasma innerhalb eines Plasmaerzeugungsgebietes des Gasvolumens zu erzeugen, wobei das Plasma Breitbandstrahlung emittiert, wobei das Transmissionselement der Plasmazelle zumindest teilweise transparent für zumindest einen Teil der von der Beleuchtungsquelle erzeugten Beleuchtung und zumindest einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung ist;ein oberes Strömungssteuerelement, welches oberhalb des Plasmaerzeugungsgebietes und innerhalb des Transmissionselements angeordnet ist, wobei das obere Strömungssteuerelement einen oder mehrere innere Kanäle beinhaltet, die dazu ausgelegt sind, zumindest einen Teil einer Fahne des Plasmas nach oben zu leiten;ein unteres Strömungssteuerelement, welches unterhalb des Plasmaerzeugungsgebietes und innerhalb des Transmissionselements angeordnet ist, wobei das untere Strömungssteuerelement einen oder mehrere innere Kanäle beinhaltet, die dazu ausgelegt sind, Gas nach oben zu dem Plasmaerzeugungsgebiet zu leiten; undwobei das obere Strömungssteuerelement und das untere Strömungssteuerelement so innerhalb des Transmissionselements angeordnet sind, dass sie einen oder mehrere Gasrückführkanäle bilden, um Gas von einem Bereich oberhalb des Plasmaerzeugungsgebietes zu einem Bereich unterhalb des Plasmaerzeugungsgebietes zu transferieren, wobei sich die Ausdrücke „oben“, „oberhalb“, „unterhalb“, „obere“ und „untere“ auf eine Richtung der natürlichen Konvektion beziehen, welche aufwärts gerichtet ist.

公开(公告)号：DE112010000850B4

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：DE112010000850

申请日：2010-02-12

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANOTOLY ,  DERSTINE MATTHEW ,  SHIFRIN EUGENE

IPC: H05G2/00 ,  H05H1/24

Abstract: Verfahren zur Aufrechterhaltung eines Plasmas, wobei das Verfahren die Schritte umfasst: • dass eine erste Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in ein Gas innerhalb eines Volumens fokussiert wird, wobei die erste Wellenlänge durch eine erste Gasart absorbiert wird und die Energie in einem ersten Bereich des Plasmas mit einer ersten Größe und einer ersten Temperatur abgegeben wird und • dass eine zweite Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in den ersten Bereich des Plasmas fokussiert wird, wobei die zweite Wellenlänge sich von der ersten Wellenlänge unterscheidet und durch eine zweite Gasart, aber nicht durch die erste Gasart, absorbiert wird und dabei Energie in einen zweiten Bereich des Plasmas innerhalb des ersten Bereichs des Plasmas abgibt, und wobei der zweite Bereich des Plasmas eine zweite Größe besitzt, die kleiner ist als die erste Größe und eine zweite Temperatur besitzt, die größer ist als die erste Temperatur.

公开(公告)号：DE112010000850T5

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：DE112010000850

申请日：2010-02-12

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANOTOLY ,  DERSTINE MATTHEW ,  SHIFRIN EUGENE

IPC: H05G2/00 ,  H05H1/24

Abstract: Ein Verfahren zum Aufrechterhalten eines Plasmas ist offenbart, wobei eine erste Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung in ein Gas innerhalb eines Volumens fokussiert wird. Die erste Wellenlänge wird im Wesentlichen durch eine erste Gasart absorbiert und liefert somit Energie in einen ersten Bereich des Plasmas, der eine erste Größe und eine erste Temperatur besitzt. Eine zweite Wellenlänge einer elektromagnetischen Strahlung wird in den ersten Bereich des Plasmas fokussiert, wobei die zweite Wellenlänge sich von der ersten Wellenlänge unterscheidet und im Wesentlichen von einer zweiten Gasart absorbiert wird und Energie in einem zweiten Bereich des Plasmas innerhalb des ersten Bereichs des Plasmas liefert. Der zweite Bereich des Plasmas besitzt eine zweite Größe, die kleiner ist als die erste Größe und eine zweite Temperatur, die größer ist als die erste Temperatur.

公开(公告)号：WO2013066576A3

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：PCT/US2012059448

申请日：2012-10-10

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： CHIMMALGI ANANT ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  BEZEL ILYA ,  PATIL RAJEEV

IPC: H01J63/08 ,  H01J61/12

CPC classification number: H01J61/526 ,  H01J61/28 ,  H01J65/04

Abstract: A refillable plasma cell for use in a laser-sustained plasma light source includes a plasma bulb, the bulb being formed from a glass material substantially transparent to a selected wavelength of radiation, and a gas port assembly, the gas port assembly being operably connected to the bulb and disposed at a first portion of the gas bulb, wherein the bulb is configured to selectively receive a gas from a gas source via the gas port assembly.

Abstract translation: 用于激光维持等离子体光源的可再填充等离子体单元包括等离子体球，该等离子体球由对选择的辐射波长基本上透明的玻璃材料形成，以及气体端口组件，气体端口组件可操作地连接到 所述灯泡设置在所述气泡的第一部分处，其中所述灯泡配置为选择性地经由所述气体端口组件从气体源接收气体。

公开(公告)号：EP2883244A4

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：EP13828155

申请日：2013-05-20

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  PANZER MATTHEW ALAN

IPC: H01L21/66 ,  H01J61/12 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J61/30 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04

CPC classification number: H01J61/02 ,  H01J61/12 ,  H01J61/125 ,  H01J61/14 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J61/302 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04 ,  H01J65/042

公开(公告)号：EP2890930A4

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：EP13832549

申请日：2013-08-28

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： WANG JINCHENG ,  CHIMMALGI ANANT ,  PATIL RAJEEV ,  KIM ERIK ,  BRUNNER RUDOLF ,  GIANG QUANG ,  WILSON LAUREN ,  GROSS KENNETH P ,  BEZEL ILYA ,  LASFARGUES CEDRIC ,  SCOTT DANIEL ,  VORA YOUNUS ,  DERSTINE MATTHEW

IPC: F21V29/503 ,  F21V19/00 ,  F21V29/60

CPC classification number: F28C3/04 ,  F21V19/00 ,  F21V29/02 ,  F21V29/503 ,  F21V29/60

Abstract: A fluid input manifold distributes injected fluid around the body of a bulb to cool the bulb below a threshold. The injected fluid also distributes heat more evenly along the surface of the bulb to reduce thermal stress. The fluid input manifold may comprise one or more airfoils to direct a substantially laminar fluid flow along the surface of the bulb or it may comprise a plurality of fluid injection nozzles oriented to produce a substantially laminar fluid flow. An output portion may be configured to facilitate fluid flow along the surface of the bulb by allowing injected fluid to easily escape after absorbing heat from the bulb or by applying negative pressure to actively draw injected fluid along the surface of the bulb and away.

Abstract translation: 一种流体输入歧管喷射配给流体围绕灯泡的主体冷却到低于阈值的灯泡。 注入的流体因此沿所述灯泡的表面更均匀地分布热量，以减少热应力。 所述流体输入歧管可以包括一个或多个翼型件以沿着灯泡的表面的基本层流流动，或者它可包括定向成产生基本上层流流动的流体喷射喷嘴的复数。 的输出部分可以被配置成通过允许注入的流体，以吸收来自灯泡热后容易逃脱或通过施加负压，以积极绘制注入的流体沿着灯泡和远离的表面以便沿着灯泡的表面的流体流动。