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    リング状照射を備える暗視野検査システム
    2.
    发明专利
    リング状照射を備える暗視野検査システム 有权
    具有环形照明的暗场检测系统

    公开(公告)号：JP2014222239A

    公开(公告)日：2014-11-27

    申请号：JP2014140065

    申请日：2014-07-07

    Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation ,  Kla-Tencor Corp ,  ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

    Inventor： ZHAO GUOHENG ,  MEHDI VAEZ-IRAVANI ,  SCOTT YOUNG ,  BHASKAR KRIS

    IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8822

    Abstract: 【課題】スペックルノイズの影響を低減した暗視野ウエハ検査システムを提供する。【解決手段】サンプル表面の粗度によるスペックルノイズを最小限に抑える暗視野検査システムは、ウェハ104上に合成集束照射線を生成するための、複数のビーム成形経路101を含み得る。各ビーム成形経路101は、傾斜角でウェハ104を照射することができる。複数のビーム成形経路101は、リング状照射を形成することができる。このリング状照射は、スペックルの影響を低減することにより、SNRを改善することができる。対物レンズは、ウェハ104からの散乱光を捕捉することができ、画像センサーは、対物レンズの出力を受け取ることができる。ウェハ104の照射が傾斜角で実施されるため、対物レンズは高いNAを有し得、このことによって、画像センサーの光学解像度、および結果的に得られる信号レベルが改善される。【選択図】図1A

    Abstract translation: 要解决的问题：提供减少斑点噪声影响的暗视场晶片检查系统。解决方案：使由于样品表面粗糙度引起的散斑噪声最小化的暗场检查系统可以包括多个光束整形路径101，用于产生 复合聚焦照明线路。每个光束整形路径101可以以倾斜角度照射晶片104。 多个光束整形路径101可以形成环形照明。 这种环形照明可以减少斑点效应，从而提高SNR。 物镜可以捕获来自晶片104的散射光，成像传感器可以接收物镜的输出。 由于晶片104的照射以倾斜角发生，所以物镜可以具有高NA，从而提高成像传感器的光学分辨率和所得到的信号电平。

    ウエハーを検査するための方法
    3.
    发明专利
    ウエハーを検査するための方法 有权
    检查波浪的方法

    公开(公告)号：JP2014240838A

    公开(公告)日：2014-12-25

    申请号：JP2014164393

    申请日：2014-08-12

    Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation ,  Kla-Tencor Corp ,  ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

    Inventor： BHASKAR KRIS ,  MARK MCCORD ,  SANTOSH BHATTACHARYYA ,  ARDIS LIANG ,  RICHARD WALLINGFORD ,  HUBERT ALTENDORFER ,  KAIS MAAYAH

    IPC: G01N21/956

    CPC classification number: G03F7/7065 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95607 ,  G03F1/84 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148

    Abstract: 【課題】標準参照ダイ比較検査に用いるための標準参照ダイを生成する方法と、ウエハーを検査するための方法を提供する。【解決手段】標準参照ダイ比較検査に用いるための標準参照ダイを生成するためのコンピューター実施の一つの方法は、ウエハー上の中央に位置するダイ14と、ウエハー上に位置する一つ以上のダイ12,16について検査システムの出力を得ることを含む。その方法は、また、その出力におけるダイの中の位置に基づいて、中央に位置するダイ14と一つ以上のダイについての出力を組み合わせる工程を含む。さらに、その方法は、その組み合わせる工程の結果に基づいて標準参照ダイを生成する工程を含む。【選択図】図3

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于生成用于标准参考模具比较检查的标准参考模具的方法和用于检查晶片的方法。解决方案：一种用于生成标准参考模具的方法，用于生成用于 标准参考管芯比较检查包括获取位于晶片中心的管芯14以及围绕位于晶片上的一个或多个管芯12,16的检查系统的输出。 该方法包括基于输出中的管芯中的位置组合位于中心的管芯14的输出和一个或多个管芯的步骤。 此外，该方法包括基于组合步骤的结果来生成标准参考管芯的步骤。

    Systems and methods for creating persistent data for wafer and for using persistent data for inspection-related functions
    4.
    发明专利
    Systems and methods for creating persistent data for wafer and for using persistent data for inspection-related functions 有权
    用于创建用于波形的持续数据和使用用于检查相关功能的持续数据的系统和方法

    公开(公告)号：JP2014195090A

    公开(公告)日：2014-10-09

    申请号：JP2014094395

    申请日：2014-05-01

    Applicant: Kla-Tencor Corp ,  ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation

    Inventor： BHASKAR KRIS ,  CHETANA BHASKAR ,  ASHOK KULKARNI ,  ROSENGAUS ELIEZER ,  CECILIA CAMPOCHIARO ,  MAHER CHRIS ,  BRIAN DUFFY ,  ANEESH KHULLAR ,  ALPA KOHLI ,  LALITA BALASUBRAMANIAN ,  SANTOSH BHATTACHARYYA ,  MAHADEVAN MOHAN

    IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

    CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T1/20 ,  G06T2207/30148

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide various systems and methods for creating persistent data for a wafer and using persistent data for inspection-related functions.SOLUTION: One system includes a set of processor nodes 20 coupled to a detector 10 of an inspection system. Each of the processor nodes 20 is configured to receive a portion of image data generated by the detector 10 during scanning of a wafer 12. The system also includes an array 22 of storage media separately coupled to each of the processor nodes 20. The processor nodes 20 are configured to send all of the image data or a selected portion of the image data received by the processor nodes 20 to the arrays 22 of storage media such that all of the image data or the selected portion of the image data generated by the detector 10 during the scanning of the wafer 12 is stored in the arrays 22 of the storage media.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供用于为晶片创建持久数据并使用持久数据进行检查相关功能的各种系统和方法。解决方案：一个系统包括耦合到检查系统的检测器10的一组处理器节点20。 每个处理器节点20被配置为在晶片12的扫描期间接收由检测器10生成的图像数据的一部分。该系统还包括分别耦合到每个处理器节点20的存储介质的阵列22.处理器节点 20被配置为将由处理器节点20接收的图像数据的所有图像数据或所选部分发送到存储介质的阵列22，使得由检测器生成的图像数据或图像数据的所选部分 在晶片12的扫描期间，10被存储在存储介质的阵列22中。

    DIAGNOSTIC SYSTEMS AND METHODS FOR DEEP LEARNING MODELS CONFIGURED FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
    5.
    发明专利
    DIAGNOSTIC SYSTEMS AND METHODS FOR DEEP LEARNING MODELS CONFIGURED FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS 未知

    公开(公告)号：SG10202104271VA

    公开(公告)日：2021-06-29

    申请号：SG10202104271V

    申请日：2017-09-18

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： ZHANG JING ,  ROULO MARK ,  BHASKAR KRIS ,  DONAPATI RAVI C

    Abstract: Methods and systems for performing diagnostic functions for a deep learning model are provided. One system includes one or more components executed by one or more computer subsystems. The one or more components include a deep learning model configured for determining information from an image generated for a specimen by an imaging tool. The one or more components also include a diagnostic component configured for determining one or more causal portions of the image that resulted in the information being determined and for performing one or more functions based on the determined one or more causal portions of the image.

    SINGLE IMAGE DETECTION
    6.
    发明专利
    SINGLE IMAGE DETECTION 未知

    公开(公告)号：SG11201803666WA

    公开(公告)日：2018-06-28

    申请号：SG11201803666W

    申请日：2016-11-17

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： BHASKAR KRIS ,  JORDAN III JOHN R ,  KARSENTI LAURENT ,  VENKATARAMAN SANKAR ,  CARMON YAIR

    IPC: G01N21/88

    Abstract: Methods and systems for detecting defects on a specimen are provided. One system includes a generative model. The generative model includes a non-linear network configured for mapping blocks of pixels of an input feature map volume into labels. The labels are indicative of one or more defect-related characteristics of the blocks. The system inputs a single test image into the generative model, which determines features of blocks of pixels in the single test image and determines labels for the blocks based on the mapping. The system detects defects on the specimen based on the determined labels.

    VIRTUAL INSPECTION SYSTEMS FOR PROCESS WINDOW CHARACTERIZATION
    7.
    发明专利
    VIRTUAL INSPECTION SYSTEMS FOR PROCESS WINDOW CHARACTERIZATION 未知

    公开(公告)号：SG11201703581XA

    公开(公告)日：2017-06-29

    申请号：SG11201703581X

    申请日：2015-11-23

    Applicant: KLA TENCOR CORP

    Inventor： KARSENTI LAURENT ,  BHASKAR KRIS ,  WAGNER MARK ,  DUFFY BRIAN ,  RAMACHANDRAN VIJAYAKUMAR

    IPC: G01R31/26 ,  G01R31/01 ,  G01R31/28

    Abstract: The invention discloses a method and system for displaying electronic information for an Online Dating Service. Information is received through a variety of means including electronic analysis of photographs and communications as well as direct questions posed to an individual. Once the information is received a profile describing the interest, personality traits and what traits the individual looks for in a companion is created. To prevent priming based on physical appearance the word cloud is displayed to other individuals prior to a photograph. The photograph can be revealed to the other individuals if they take affirmative action to view the photograph or after an arbitrary period of time such that the other individuals can be primed based on the information in the word cloud without losing the emotional investment in finding a companion.

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