Hall-Sensor und Messverfahren sowie entsprechende Vorrichtung

    公开(公告)号:DE102016109878B4

    公开(公告)日:2024-12-12

    申请号:DE102016109878

    申请日:2016-05-30

    Abstract: Hall-Sensor, aufweisend:- ein planares Hall-Messelement (10), das einem Magnetfeld (B) ausgesetzt werden kann und eine das Magnetfeld anzeigende Hall-Spannung erzeugt, wenn es von einem elektrischen Strom durchflossen wird,- ein erstes Paar von Vorspannungselektroden (B1, B2), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer ersten Richtung (D1) gegenüberliegen,- ein zweites Paar von Vorspannungselektroden (B3, B4), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer zweiten Richtung (D2) gegenüberliegen, wobei die zweite Richtung (D2) zu der ersten Richtung (D1) orthogonal ist,- ein erstes Paar von Messelektroden (S1, S3), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer dritten Richtung (D3) gegenüberliegen,- ein zweites Paar von Messelektroden (S2, S4), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer vierter Richtung (D4) gegenüberliegen, wobei die vierte Richtung (D4) zu der dritten Richtung (D3) orthogonal ist, wobei die dritte (D3) und die vierte (D4) Richtung in Bezug auf die erste (D1) und die zweite (D2) Richtung rotationsmäßig um 45° versetzt sind, so dass eine jeweilige Messeelektrode (S1, S2, S3, S4) zwischen einer Vorspannungselektrode des ersten Paares (B1, B2) und einer Vorspannungselektrode des zweiten Paares (B3, B4) angeordnet ist.

    Hall-Sensor und Messverfahren sowie entsprechende Vorrichtung

    公开(公告)号:DE102016109878A1

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:DE102016109878

    申请日:2016-05-30

    Abstract: Ein Hall-Sensor weist Folgendes auf: – ein planares Hall-Messelement (10), das einem Magnetfeld (B) ausgesetzt werden kann und eine das Magnetfeld anzeigende Hall-Spannung erzeugt, wenn es von einem elektrischen Strom durchflossen wird, – ein erstes Paar von Vorspannungselektroden (B1, B2), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer ersten Richtung (D1) gegenüberliegen, – ein zweites Paar von Vorspannungselektroden (B3, B4), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer zweiten Richtung (D2) gegenüberliegen, wobei die zweite Richtung (D2) zu der ersten Richtung (D1) orthogonal ist, – ein erstes Paar von Messelektroden (S1, S3), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer dritten Richtung (D3) gegenüberliegen, – ein zweites Paar von Messelektroden (S2, S4), die einander über das Messelement (10) hinweg in einer vierter Richtung (D4) gegenüberliegen, wobei die vierte Richtung (D4) zu der dritten Richtung (D3) orthogonal ist. Die die dritte (D3) und die vierte (D4) Richtung sind in Bezug auf die erste (D1) und die zweite (D2) Richtung rotationsmäßig um 45° versetzt, so dass eine jeweilige Messeelektrode (S1, S2, S3, S4) zwischen einer Vorspannungselektrode des ersten Paares (B1, B2) und einer Vorspannungselektrode des zweiten Paares (B3, B4) angeordnet ist.

    7.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:AT552510T

    公开(公告)日:2012-04-15

    申请号:AT09177168

    申请日:2009-11-26

    Abstract: A magnetic sensor is formed by a fluxgate sensor and by at least one Hall sensor integrated in a same integrated device, wherein the magnetic core of the fluxgate sensor is formed by a magnetic region that operates also as a concentrator for the Hall sensor. The magnetic region is manufactured in a post-machining stage on the metallization layers wherein the energizing coil and sensing coil of the fluxgate sensor are formed; the energizing and sensing coils are formed on a semiconductor substrate housing the conductive regions of the Hall sensor.

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