石墨烯薄膜电子源及其制作方法、真空电子器件

    公开(公告)号:CN105448621A

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201510836321.X

    申请日:2015-11-26

    CPC classification number: H01J1/3044 H01J9/025 H01J2201/30461

    Abstract: 本发明提供了一种石墨烯薄膜电子源及其制作方法、真空电子器件。石墨烯薄膜电子源包括:依次形成于基板上的第一电极、绝缘层及第二电极;其中,所述第二电极为石墨烯薄膜制成的电极。真空电子器件包括上述石墨烯薄膜电子源。该制作方法包括:采用溅射法在基板上形成第一电极;在所述第一电极上形成绝缘层;在所述绝缘层上形成第二电极;其中,所述第二电极为石墨烯薄膜制成的电极。本发明利用石墨烯薄膜导电性好、厚度薄、机械强度高等特点,采用石墨烯作为电子源的顶层电极材料,能够有效地提高电子源的发射效率、电子透过率及导电性。

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