中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

238 records (took 0.018 seconds)

    ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА
    8.
    发明申请
    ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА 审中-公开
    气体放电电子枪

    公开(公告)号：WO2014193207A1

    公开(公告)日：2014-12-04

    申请号：PCT/LV2013/000013

    申请日：2013-11-27

    Applicant: КРАВЦОВ, Анатолий ,  ТУГАЙ, Боpис ,  МЕЛЬНИК, Виталий

    Inventor： КРАВЦОВ, Анатолий ,  ТУГАЙ, Боpис ,  МЕЛЬНИК, Виталий

    IPC: H01J37/301

    CPC classification number: H01J37/301 ,  C22B9/228 ,  H01J37/077 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/06366

    Abstract: Предлагаемое изобретение относится к электронной технике, а более конкретно к газорозрядным электронным пушкам технологического назначения и может быть применено для электронно-лучевой плавки, испарения и других термических процессов, проводимых в вакууме с использованием мощных электронных пучков. Целью предлагаемого изобретения является расширение диапазона рабочих давлений при использовании для термических процессов газоразрядных электронных пушек и повышение стабильности их работы. Указанная цель достигается тем, что в газоразрядной электронной пушке, содержащей расположенные в герметичном корпусе на высоковольтном изоляторе холодный вогнутый катод, соосный ему анод с отверстием для вывода электронного пучка, присоединенный к аноду лучепровод с закрепленным на нем двумя фокусирующими линзами и катушками отклонения пучка, между фокусирующей линзой и катушками отклонения расположена охватывающая лучепровод газобалластная камера, оснащенная патрубком для откачки соединенная с лучепроводом отверстиями, поперечный размер которых не превышает 5 - 6 мм, а их суммарная проводимость для газа газобалластной камерой и его срезом.

    Abstract translation: 本发明涉及电子技术，更具体地涉及用于加工应用的气体放电电子枪，并且可用于使用高功率电子束在真空中进行的电子束熔化，蒸发和其它热处理。 提出的发明的目标是在使用气体放电电子束枪进行热处理时扩大工作压力的范围，并增加其工作的一致性。 规定的目标如下：包含（在高压绝缘体（2）上的密封箱（1））中的冷阴极（3），同轴阳极（4）和气体放电电子枪 用于电子束通道的开口，具有固定在其上的两个聚焦透镜（6,7）和光束偏转线圈（8）附接到阳极的光束引导件（5）在聚焦透镜 和偏转线圈，其覆盖光束引导件并且配备有用于脱气的连接分支并且通过开口（10）与横梁导向件相连，该横向尺寸不超过5-6mm，并且它们的总气体导电率超过导光板导电率 在气体镇流器室和其部分之间。

    ELECTRON BEAM SYSTEM USING MULTIPLE ELECTRON BEAMS
    9.
    发明申请
    ELECTRON BEAM SYSTEM USING MULTIPLE ELECTRON BEAMS 审中-公开
    使用多个电子束的电子束系统

    公开(公告)号：WO2002068053A1

    公开(公告)日：2002-09-06

    申请号：PCT/US2002/005556

    申请日：2002-02-23

    Applicant: FEI COMPANY ,  GERLACH, Robert, L. ,  TESCH, PAUL, P. ,  SKOCZYLAS, Walter

    Inventor： GERLACH, Robert, L. ,  TESCH, PAUL, P. ,  SKOCZYLAS, Walter

    IPC: A61N5/00

    CPC classification number: H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/301 ,  H01J37/3177

    Abstract: A chemical particle beam system uses multiple electron columns (102) to increase throughput. One or more multiple electron emitters (410) are in one or more vacuum sealable gun chambers (302) to allow the gun chamber (302) to be replaced with electrons guns (304) having emitters (410) that have been previously conditioned so that the system does not need to be out of service to condition the newly installed emitters.

    Abstract translation: 化学粒子束系统使用多个电子柱（102）来增加产量。 一个或多个多个电子发射器（410）在一个或多个可真空密封的枪室（302）中，以允许枪室（302）被具有先前调节的发射器（410）的电子枪（304）代替，使得 系统不需要停止服务来调节新安装的发射器。

    DIFFERENTIAL PUMPING VIA CORE OF ANNULAR SUPERSONIC JET
    10.
    发明申请
    DIFFERENTIAL PUMPING VIA CORE OF ANNULAR SUPERSONIC JET 审中-公开
    通过静脉超声波喷射的核心进行差分泵浦

    公开(公告)号：WO99027259A1

    公开(公告)日：1999-06-03

    申请号：PCT/AU1998/000953

    申请日：1998-11-18

    IPC: F04F5/20 ,  F04F5/46 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/08 ,  H01J37/18 ,  H01J37/301

    CPC classification number: H01J37/18 ,  F04F5/20 ,  F04F5/465 ,  H01J37/301 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2605

    Abstract: An aperture (5) connects a first chamber (1) with a second chamber (2), and is surrounded by an annular nozzle (7) formed by inner and outer walls (6, 8), which connects the first chamber (1) with a third chamber (3). A supersonic annular gas jet (9) is ejected by the annular nozzle (7) into the first chamber (1), creating a Venturi pumping action at the core of the jet in the vicinity of the aperture (5). The second chamber (2) may thus be maintained at a substantially lower pressure than the first chamber (1). Inner wall (6) and outer wall (8) may be relatively movable for varying gas flow, and the first chamber (1) may include baffles or skimmers to modify gas flow, e.g., to create a high density molecular beam. An electron or ion beam (4) may be transferred from the second chamber (2) to the first chamber (1), e.g., as part of an environmental scanning electron microscope.

    Abstract translation: 孔（5）将第一室（1）与第二室（2）连接，并被由内壁和外壁（6,8）形成的环形喷嘴（7）包围，所述环形喷嘴将第一室（1） 与第三室（3）。 超音速环形气体喷射（9）被环形喷嘴（7）喷射到第一腔室（1）中，在孔口（5）附近的射流核心产生文丘里泵送作用。 因此，第二室（2）可以保持在比第一室（1）基本上更低的压力。 内壁（6）和外壁（8）可以相对移动以改变气体流动，并且第一室（1）可以包括挡板或撇渣器以改变气流，例如产生高密度分子束。 电子或离子束（4）可以从第二室（2）转移到第一室（1），例如作为环境扫描电子显微镜的一部分。

Patent Agency Ranking