公开(公告)号：CN105448371A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201510804022.8

申请日：2015-11-20

Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所

Inventor： 袁卫华 ,  彭立波 ,  孙雪平 ,  易文杰

IPC: G21F3/00 ,  G21F7/00 ,  H01J37/16 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: G21F3/00 ,  G21F7/00 ,  H01J37/165 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171

Abstract: 本发明公开了一种静电场加速的高能离子注入机的高压防护及射线屏蔽系统，包括含铅的屏蔽机房，所述屏蔽机房包括依次布置的束流加速预备区、束流静电加速区和束流调整区，所述束流加速预备区内依次设有离子束流、束流离子分析器和束流漂移管道，所述束流静电加速区内设有高压的束流静电加速器，所述束流静电加速器与束流漂移管道连通，所述束流静电加速区、束流加速预备区和束流调整区外周铅板厚度依次减小，而非布置成等厚的结构，在达到射线屏蔽条件下，减轻屏蔽机房的重量，节省成本，当屏蔽机房的高度达到4米或更高时，降低安装风险；本发明的连锁门与为束流静电加速器的高压电源供电的前级供电系统联动，满足可靠的高压安全防护。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN104616951B

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201410604346.2

申请日：2014-10-30

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 阿武秀郎 ,  金神政次

IPC: H01J35/02 ,  H01J35/16

CPC classification number: H01J35/105 ,  A61B6/107 ,  A61B6/4488 ,  H01J7/26 ,  H01J19/36 ,  H01J19/54 ,  H01J19/74 ,  H01J35/16 ,  H01J35/26 ,  H01J37/165 ,  H01J2229/0061 ,  H01J2229/863 ,  H01J2229/8638 ,  H01J2235/12 ,  H01J2235/1216 ,  H01J2235/166 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/16 ,  H05G1/025 ,  H05G1/04

Abstract: 一种旋转阳极型X射线管组件包括：旋转阳极型的X射线管(30)、壳体(20)、冷却液(7)、第一罩壳、X射线屏蔽体(6b)、第二罩壳、以及空气导入单元(150)。所述第一罩壳分别被设成与真空管壳(31)和所述壳体(20)之间存在间隙并包围所述真空管壳。所述X射线屏蔽体位于所述第一罩壳与所述壳体之间，并被设成与所述壳体间存在间隙。所述第二罩壳被设成与所述壳体间存在间隙并包围所述壳体，从而与所述壳体之间形成通气路径(AW)。所述空气导入单元使在所述通气路径中形成气流。

公开(公告)号：CN102422380A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080017873.3

申请日：2010-02-17

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： G.德波尔 ,  S.巴尔图森 ,  R.贾格 ,  J.J.M.佩耶斯特 ,  T.F.提彭 ,  J.A.H.范尼夫斯塔特 ,  W.M.维达 ,  A.H.V.范维恩

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/16

Abstract: 本发明涉及一种带电粒子微影设备(100)，其具有用于产生一个或多个带电粒子束(123)的带电粒子源(101)、用于将射束投射于晶圆上的带电粒子投射器(108、109、110)、及用于运载该晶圆(130)的可移动晶圆平台(132)。该带电粒子源、带电粒子投射器和可移动晶圆平台被布置于形成真空环境的共用真空腔室(140)中。该真空腔室另外具有用于将晶圆装载至该腔室中的开口和门。

公开(公告)号：CN108155079A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711260936.8

申请日：2017-12-04

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

Inventor： 王琦 ,  王宗伟 ,  唐兴 ,  孟婕 ,  马小军 ,  顾倩倩 ,  高党忠 ,  姜凯 ,  马文朝

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/16 ,  G01N23/2252

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/165

Abstract: 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜中的X射线靶组件，涉及扫描电子显微镜技术领域，可对SEM电子束轰击靶材后产生的二次电子进行有效屏蔽，解决二次电子及其诱发的杂散光对X射线对成像质量造成不良影响的问题。本发明采用的技术方案是：用于扫描电子显微镜中的X射线靶组件，包括靶材和屏蔽盒，靶材放置于屏蔽盒内，屏蔽盒上设置至少一个入射口和至少一个出射口，屏蔽盒内放置一个或多个靶材，每个靶材均在屏蔽盒上对应设置入射口和出射口。扫描电子显微镜电子束由入射口射入，轰击靶材后产生的X射线从出射口射出，扫描电子显微镜电子束轰击靶材产生的二次电子由屏蔽盒进行有效屏蔽，避免二次电子及其诱发的杂散光对X射线成像质量的影响。

公开(公告)号：CN104616951A

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201410604346.2

申请日：2014-10-30

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝电子管器件株式会社

Inventor： 阿武秀郎 ,  金神政次

IPC: H01J35/02 ,  H01J35/16

CPC classification number: H01J35/105 ,  A61B6/107 ,  A61B6/4488 ,  H01J7/26 ,  H01J19/36 ,  H01J19/54 ,  H01J19/74 ,  H01J35/16 ,  H01J35/26 ,  H01J37/165 ,  H01J2229/0061 ,  H01J2229/863 ,  H01J2229/8638 ,  H01J2235/12 ,  H01J2235/1216 ,  H01J2235/166 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/16 ,  H05G1/025 ,  H05G1/04

Abstract: 一种旋转阳极型X射线管组件包括：旋转阳极型的X射线管(30)、壳体(20)、冷却液(7)、第一罩壳、X射线屏蔽体(6b)、第二罩壳、以及空气导入单元(150)。所述第一罩壳分别被设成与真空管壳(31)和所述壳体(20)之间存在间隙并包围所述真空管壳。所述X射线屏蔽体位于所述第一罩壳与所述壳体之间，并被设成与所述壳体间存在间隙。所述第二罩壳被设成与所述壳体间存在间隙并包围所述壳体，从而与所述壳体之间形成通气路径(AW)。所述空气导入单元使在所述通气路径中形成气流。

公开(公告)号：EP3107586A1

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：EP15703899.3

申请日：2015-01-21

Applicant: Tetra Laval Holdings & Finance S.A.

Inventor： DICKNER, Jonas ,  MELLBIN, Håkan ,  LINDGREN, Roger ,  ÅKESSON, Mats

IPC: A61L2/08 ,  B65B55/08 ,  G21K5/00 ,  H01J37/07 ,  H01J37/24

CPC classification number: A61L2/087 ,  A61L2202/23 ,  B65B3/00 ,  B65B55/08 ,  G21K5/02 ,  H01J37/07 ,  H01J37/165 ,  H01J37/242

Abstract: Sterilization apparatus for sterilizing packaging containers, the sterilization apparatus comprising a first carousel for supporting a plurality of sterilization devices, the sterilization devices being adapted to sterilize an interior of the packaging containers by electron beam irradiation, and a transport system for transporting the packaging containers, the transport system comprising a second carousel coaxial with the first carousel, wherein the first carousel comprises a first rotatable shaft and the second carousel comprises a separate second rotatable shaft coaxial with the first rotatable shaft.

Abstract translation: 杀菌装置，包括用于支撑多个灭菌装置的第一转盘，所述杀菌装置适于通过电子束照射对所述包装容器的内部进行消毒;以及运送所述包装容器的运送系统， 所述运输系统包括与所述第一转盘同轴的第二转盘，其中所述第一转盘包括第一可旋转轴，所述第二转盘包括与所述第一可旋转轴同轴的单独的第二可旋转轴。

公开(公告)号：EP2399270A1

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：EP10704819.1

申请日：2010-02-17

Applicant: Mapper Lithography IP B.V.

Inventor： DE BOER, Guido ,  BALTUSSEN, Sander ,  JAGER, Remco ,  PEIJSTER, Jerry, Johannes, Martinus ,  TEEPEN, Tijs, Frans ,  VAN NIEUWSTADT, Joris, Anne, Henri ,  WEEDA, Willem, Maurits ,  VAN VEEN, Alexander, Hendrik, Vincent

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/16 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/16

Abstract: The invention relates to a charged particle lithography apparatus (100) with a charged particle source (101) for creating one or more charged particle beams (123), a charged particle projector (108, 109, 110) for projecting the beams onto a wafer; and a moveable wafer stage (132) for carrying the wafer (130). The charged particle source, charged particle projector, and moveable wafer stage are disposed in a common vacuum chamber (140) forming a vacuum environment. The vacuum chamber further has an opening for loading wafers into the chamber and a door.

公开(公告)号：WO2013068321A1

公开(公告)日：2013-05-16

申请号：PCT/EP2012/071870

申请日：2012-11-06

Applicant: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES

Inventor： LEORIER, Caroline ,  CARON, Serge ,  COURROYE, Daniel ,  BRENNEIS, Christophe ,  WIDEHEM, Michel ,  PLATON, Raphaël ,  RIGOTARD-BARBADORO, Jean-Paul ,  DUBUC, Fabrice ,  CHALAL, Smail

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/185 ,  H01J37/16 ,  H01J37/165

Abstract: Un microscope à balayage électronique (16) pour des échantillons dangereux, par exemple irradiés, n'est pas plongé dans une enceinte en dépression, mais accouplé à elle (6) au moyen d'une jonction à soufflet qui a l'avantage de procurer un découplage à l'égard des vibrations produites par l'entretien de la dépression : ces vibrations, n'étant pas transmises au microscope (16), ne nuisent pas aux mesures et notamment à la qualité de l'image. L'électronique du microscope n'est pas soumise à une atmosphère polluée. L'enceinte et le dispositif lui-même sont de plus petit volume. Le montage peut être amélioré en plaçant le microscope (16) et l'enceinte (6) sur des supports séparés. Une porte divisible en deux portions associées respectivement au microscope et à l'enceinte peut être placée à la jonction et ainsi permettre la séparation du microscope de l'enceinte de façon à faciliter sa maintenance.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于危险的电子扫描显微镜（16）。 照射的样品，该显微镜不是设置在负压外壳中，而是使用波纹管接头连接到同一个（6），其具有提供关于在保持负压时产生的振动的断开的优点，由此振动 不传输到显微镜（16），并且不改变测量值和图像质量。 显微镜电子学没有受到污染的气氛。 外壳和设备依次具有较小的体积。 可以通过将显微镜（16）和壳体（6）放置在单独的轴承上来改进组件。 分开与显微镜相关联的两个部分的门和壳体可以放置在接合处，并且使得可以将显微镜与壳体分开以便于维护。

公开(公告)号：WO2011032802A1

公开(公告)日：2011-03-24

申请号：PCT/EP2010/062169

申请日：2010-08-20

Applicant: CARL ZEISS AG ,  EDELMANN, Martin ,  THOMAS, Christian

Inventor： EDELMANN, Martin ,  THOMAS, Christian

IPC: G02B21/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: G02B21/367 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/165 ,  H01J37/228

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf ein Beobachtungs- und Analysegerät, das ausgestattet ist mit Mitteln zur vergrößerten Darstellung einer Probe (1) und mit Mitteln zu deren Auswertung und Analyse. Erfindungsgemäß umfaßt ein solches Beobachtungs- und Analysegerät - eine lichtmikroskopische Einrichtung, ausgebildet zur vergrößerten Darstellung und optischen Auswertung einer Probe (1), - Mittel zur Analyse ausgewählter Bereiche der Probe (1), ausgestattet mit - einer Elektronenquelle (3), von der ein Elektronenstrahl (4) auf einen mittels der lichtmikroskopischen Einrichtung ausgewählten Bereich der Probe (1) richtbar ist, und mit - einem Röntgendetektor (6), ausgebildet zur Detektion der durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls (4) mit dem Probenmaterial entstehenden Röntgenstrahlung (5), - eine Ansteuer- und Auswerteeinheit (8), welche Stellbefehle für die lichtmikroskopische Einrichtung und die Elektronenquelle (3) generiert und die Röntgenstrahlung (5) spektral analysiert.

Abstract translation: 本发明涉及一种配备有用于将样品（1）的放大图，并用装置，用于评估和分析的监测和分析单元。 根据本发明，这样的观察和分析设备包括： - 适于放大显示和样品的光学分析的光学显微装置（1）， - 装置，用于将样品（1）的选定区域，包括分析 - 的电子源（3），从该一 电子束（4）（1）可被引导到样品的光显微装置区域的选择的装置，以及包括： - 一个X射线检测器（6），被设计由电子束（4）与所得的X射线的样品材料的相互作用来检测（5）， - 控制和评估单元（8），其控制用于光学显微镜装置和电子源（3）的命令，并产生X射线（5）光谱分析。