公开(公告)号：CN107000173B

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201580006144.0

申请日：2015-07-27

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 广田幸史 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  德重伸 ,  柏田太志

IPC: B24D13/14 ,  A46B7/08

Abstract: 一种研磨刷，该研磨刷(4)，其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成，进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔，开孔率是10～70％。另外，突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0～5.0的范围。由此，在研磨被研磨物(1)时，突起部的侧面能与被研磨物(1)压接，由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落，另外，能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。

公开(公告)号：CN105359258A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037396.5

申请日：2014-07-01

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 柏田太志 ,  小池坚一 ,  徳重伸

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/24

CPC classification number: B24B37/24 ,  B24D3/28 ,  H01L21/02013 ,  H01L21/3221

Abstract: 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫是含有在研磨布基体含浸聚氨酯树脂及碳化硅而成的含树脂研磨布的研磨垫，所述碳化硅的粒径在0.2μm至3.0μm的范围内，而且在含树脂研磨布中，相对于研磨布基体100质量份是含有60质量份至500质量份的范围内的所述碳化硅。

公开(公告)号：CN107000173A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580006144.0

申请日：2015-07-27

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 广田幸史 ,  小池坚一 ,  栗原浩 ,  德重伸 ,  柏田太志

IPC: B24D13/14 ,  A46B7/08

CPC classification number: A46B7/08 ,  B24D13/14

Abstract: 一种研磨刷，该研磨刷(4)，其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成，进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔，开孔率是10～70％。另外，突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0～5.0的范围。由此，在研磨被研磨物(1)时，突起部的侧面能与被研磨物(1)压接，由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落，另外，能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。

公开(公告)号：CN105102188A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

Applicant: 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D13/00 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24D11/00

Abstract: 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。

公开(公告)号：CN105359258B

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201480037396.5

申请日：2014-07-01

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 柏田太志 ,  小池坚一 ,  徳重伸

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/24

Abstract: 本发明提供一种研磨垫及其制造方法，所述研磨垫是含有在研磨布基体含浸聚氨酯树脂及碳化硅而成的含树脂研磨布的研磨垫，所述碳化硅的粒径在0.2μm至3.0μm的范围内，而且在含树脂研磨布中，相对于研磨布基体100质量份是含有60质量份至500质量份的范围内的所述碳化硅。根据本发明可提供可研磨硅晶片内面与形成吸杂层的研磨垫。

公开(公告)号：CN108349062A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680063033.8

申请日：2016-10-25

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  栗原浩 ,  柏田太志 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨材料，其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物中的树脂。

公开(公告)号：CN108349062B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201680063033.8

申请日：2016-10-25

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  栗原浩 ,  柏田太志 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨材料，其具有以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物中的树脂。

公开(公告)号：CN109195745B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201780033152.3

申请日：2017-05-29

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 德重伸 ,  中濑惠介 ,  柏田太志 ,  山田龙也 ,  楢田洋祐 ,  小池坚一

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 研磨垫，其包含以经编或纬编构成的针织物、和含浸于该针织物的树脂，具有沿所述针织物的面方向切剖而形成的剖面作为研磨面。

公开(公告)号：CN105102188B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201480013724.8

申请日：2014-02-27

Applicant: 国立大学法人九州大学 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 土肥俊郎 ,  濑下清 ,  高木正孝 ,  柏田太志

IPC: B24B37/24 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种研磨垫，所述研磨垫具有研磨构件，所述研磨构件具有研磨面，所述研磨构件含有具有膨胀特性的材料。

公开(公告)号：CN108068009B

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN201710667432.1

申请日：2017-08-07

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 小池坚一 ,  德重伸 ,  山田龙也 ,  柏田太志

IPC: B24B37/24 ,  B24D11/00

Abstract: 本发明涉及研磨垫及其制造方法、以及研磨物的制造方法。本发明的目的在于提供研磨垫及其制造方法、以及使用了研磨垫的研磨物的制造方法，所述研磨垫能够确保对具有曲面的被研磨物进行研磨时的研磨面品质。本发明的课题是一种研磨垫，所述研磨垫具有基材和含浸于该基材中的树脂，所述基材具有配置有绒头的研磨面和连接所述绒头的一端的连接部，所述研磨垫至少满足下述条件：所述绒头来自于具有形成表面背面的表面背面纤维和连接所述表面背面的中间纤维的针织物中的所述中间纤维，所述针织物是以经编或纬编构成的针织物；所述连接部来自于所述表面背面纤维中的任一方。