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公开(公告)号:CN102157523A
公开(公告)日:2011-08-17
申请号:CN201110075444.8
申请日:2008-04-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L23/528
CPC classification number: H01L27/11807 , H01L27/0207
Abstract: 本发明提供一种标准单元和具有该标准单元的半导体装置。在标准单元中,信号布线(11)沿第一方向延伸。信号布线(12、13)沿实质上与第一方向垂直的第二方向延伸,且隔着信号布线(11)而对置。并且,信号布线(12、13)的布线宽度比信号布线(11)的布线宽度大。由此,对被布线端夹持的信号布线,防止由细部引起的断线,实现器件的制造成品率的提高。
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公开(公告)号:CN1667505A
公开(公告)日:2005-09-14
申请号:CN200510054376.1
申请日:2005-03-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G03F1/08 , H01L21/027 , H01L21/82
Abstract: 一种检出方法,从掩模图案抽出制造上成问题的缺陷。掩模图案是使在光刻蚀工序中使用的光掩膜的掩模图案变形,以便得到近似于所需的设计图案的复制图象。该检出方法包括:决定光刻蚀工序中的曝光量的工序;根据曝光量,使用计算机,进行光刻蚀工序的模拟的工序;确认是否能够获得所需要的设计图案的工序;特定故障部位后输出的工序。
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公开(公告)号:CN101281906A
公开(公告)日:2008-10-08
申请号:CN200810091823.4
申请日:2008-04-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L23/528
CPC classification number: H01L27/11807 , H01L27/0207
Abstract: 本发明提供一种标准单元,其中,信号布线(11)沿第一方向延伸。信号布线(12、13)沿实质上与第一方向垂直的第二方向延伸,且隔着信号布线(11)而对置。并且,信号布线(12、13)的布线宽度比信号布线(11)的布线宽度大。由此,对被布线端夹持的信号布线,防止由细部引起的断线,实现器件的制造成品率的提高。
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公开(公告)号:CN102157523B
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201110075444.8
申请日:2008-04-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L23/528
CPC classification number: H01L27/11807 , H01L27/0207
Abstract: 本发明提供一种标准单元和具有该标准单元的半导体装置。在标准单元中,信号布线(11)沿第一方向延伸。信号布线(12、13)沿实质上与第一方向垂直的第二方向延伸,且隔着信号布线(11)而对置。并且,信号布线(12、13)的布线宽度比信号布线(11)的布线宽度大。由此,对被布线端夹持的信号布线,防止由细部引起的断线,实现器件的制造成品率的提高。
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公开(公告)号:CN101281906B
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN200810091823.4
申请日:2008-04-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/02 , H01L23/528
CPC classification number: H01L27/11807 , H01L27/0207
Abstract: 本发明提供一种标准单元,其中,信号布线(11)沿第一方向延伸。信号布线(12、13)沿实质上与第一方向垂直的第二方向延伸,且隔着信号布线(11)而对置。并且,信号布线(12、13)的布线宽度比信号布线(11)的布线宽度大。由此,对被布线端夹持的信号布线,防止由细部引起的断线,实现器件的制造成品率的提高。
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