公开(公告)号：CN104641481B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201380048271.8

申请日：2013-08-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 前岛和彦 ,  仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  田中美知

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H01L41/316

CPC classification number: H01L41/04 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。

公开(公告)号：CN104810469A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201510035975.2

申请日：2015-01-23

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18

CPC classification number: H01L41/0475 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/11 ,  B41J2202/20 ,  G11B5/4873 ,  G11B21/24 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/29 ,  H01L41/316 ,  H01L41/332

Abstract: 本发明的目的在于，通过使薄膜压电元件的平面形状、层构造为一定的状态下，在构成薄膜压电元件的压电薄膜的接地面具有凹凸的形状，进一步增大移位量。薄膜压电元件具备一对电极层和由上述一对电极层夹着的压电薄膜，压电薄膜和一对电极层的至少一者的界面的表面粗糙度P-V为220nm以上500nm以下。

公开(公告)号：CN104395087A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380033316.4

申请日：2013-07-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  会田康弘 ,  佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: B41J2/14 ,  G11B5/48 ,  H01L41/053 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113

CPC classification number: H01L41/0478 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316

Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。

公开(公告)号：CN100363984C

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200510116923.4

申请日：2003-02-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 柴田诚 ,  宫崎雅弘 ,  前岛和彦

IPC: G11B5/53 ,  G11B5/60 ,  G11B21/02 ,  G11B21/21

Abstract: 本发明的旋转头(10)具备：筒状的旋转滚筒(12)；和磁头(20a)，对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带，进行信息记录或信息读取至少一方，磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。

公开(公告)号：CN1783221A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510116923.4

申请日：2003-02-28

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 柴田诚 ,  宫崎雅弘 ,  前岛和彦

IPC: G11B5/53 ,  G11B5/60 ,  G11B21/02 ,  G11B21/21

Abstract: 本发明的旋转头(10)具备：筒状的旋转滚筒(12)；和磁头(20a)，对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带，进行信息记录或信息读取至少一方，磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。

公开(公告)号：CN104576915B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201410564550.6

申请日：2014-10-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 会田康弘 ,  太田龙 ,  田中美知 ,  千原宏 ,  佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC classification number: H01L41/0805 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01L1/16 ,  G01L9/008 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。

公开(公告)号：CN104603966B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201380045724.1

申请日：2013-08-30

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  仓知克行 ,  前岛和彦

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/08 ,  H01L41/316

CPC classification number: H01L41/18 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。

公开(公告)号：CN104364924A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380029622.0

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 佐久间仁志 ,  仓知克行 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种压电器件(100A～100D)，具有第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上的压电膜(3)、以及设置在压电膜上的第二电极膜(8)。一对电极膜中的至少一者由合金构成，并且合金的主成分是选自Ti、Al、Mg和Zn中的金属。

公开(公告)号：CN104364923A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380029575.X

申请日：2013-05-14

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  佐久间仁志 ,  会田康弘 ,  前岛和彦 ,  中岛真由美

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: H01L41/0815 ,  H01L41/0477

Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。

公开(公告)号：CN104395087B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201380033316.4

申请日：2013-07-25

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 仓知克行 ,  会田康弘 ,  佐久间仁志 ,  前岛和彦

IPC: B41J2/14 ,  G11B5/48 ,  H01L41/053 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113

CPC classification number: H01L41/0478 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/313 ,  H01L41/316

Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有第一电极膜(5)、设置在第一电极膜(5)上的第一非金属导电性中间膜(4)、设置在第一非金属导电性中间膜(4)上的压电膜(3)、设置在压电膜(3)上的第二非金属导电性中间膜(2)、以及设置在第二非金属导电性中间膜(2)上的第二电极膜(1)。第一非金属导电性中间膜(4)的线性膨胀系数大于第一电极膜(5)和压电膜(3)的线性膨胀系数，并且第二非金属导电性中间膜(2)的线性膨胀系数大于第二电极膜(1)和压电膜(3)的线性膨胀系数。