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公开(公告)号：CN107533283B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN112514038A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201980051182.6
申请日：2019-08-29
Applicant: 龙云株式会社
Inventor： 五十川良则
IPC: H01L21/368 , B05C5/02 , B05C15/00 , B05D1/26 , B05D3/12 , C30B7/02 , H01L21/208
Abstract: 一种涂布装置，具备：处理室；喷嘴，在该处理室内沿涂布对象面相对移动并向该涂布对象面涂布结晶材料的溶液；内压调整部，调整处理室的内压；及控制部。并且，控制部在通过喷嘴进行溶液的涂布的情况下，利用内压调整部调整处理室的内压，从而使涂布于涂布对象面的溶液依次干燥而使结晶材料结晶生长。
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公开(公告)号：CN107533283A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023233.0
申请日：2016-04-11
CPC classification number: G03F1/24 , C09J7/38 , G03F1/54 , G03F1/60 , G03F1/62 , G03F1/64 , G03F1/76 , G03F1/80 , G03F1/82
Abstract: 本发明的课题是抑制在裁剪时产生的异物粒子附着于防护膜组件。本发明涉及的防护膜组件的制造方法是制造包含防护膜和支撑该防护膜周围的防护膜组件框的防护膜组件的方法，所述方法包含如下操作：在基板上形成防护膜(101)，将具有伸缩性且在受到来自外部的刺激时粘着力会降低的粘着片(106，107)粘贴于基板的两面侧，在粘贴有粘着片的部分的基板的内部形成切口，维持粘贴有粘着片的状态，将基板的形成了上述切口的部分的外侧的基板外周部(111)分离从而形成防护膜组件框，对粘着片给予刺激而剥离粘着片。
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公开(公告)号：CN103620220B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201280026662.5
申请日：2012-05-25
Applicant: 龙云株式会社
Inventor： 五十川良则
CPC classification number: F04B49/02 , B05C5/02 , B05C11/1002 , B05D1/26 , B05D1/40 , F04B49/106
Abstract: 本发明提供一种由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵（10）的流量控制方法，在泵（10）的动作初期，使流量保持在微小的第一流量（R1）后，使流量增加至稳定的第二流量（R）。根据该方法，在泵（10）的工作初期，预先建立泵（10）稳定在微小的第一流量的状态，以免发生粘滑现象，从该状态起增加泵流量，因此不发生静摩擦至动摩擦的转移，由电动机（12）的粘滑现象引起的泵流量的紊乱受到抑制。由此，能够稳定地控制泵（10）的工作初期的流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102687240B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201080059809.1
申请日：2010-06-03
Applicant: 龙云株式会社
IPC: H01L21/027 , B05C5/02 , B05C13/00 , B05D3/00
CPC classification number: B05C13/02 , B05C5/0208 , B05C5/0216 , B05C5/0254 , B05C5/0283 , H01L21/6715 , H01L21/6776
Abstract: 基板用涂布装置(10)具有：精密载物台(7)、喷嘴(8)、传送带(3~6、21)。精密载物台(7)水平设置有放置基板W的放置面，沿着传送方向在上游端和下游端之间自由往返移动。传送带(3~6、21)以基板W的表面位于水平面内的方式沿着规定的传送方向经由精密载物台(7)的放置面传送基板W。中间传送带(21)在传送面与载物台的放置面一致的传送位置、和传送面比载物台的放置面靠下方的非传送位置之间自由升降。
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公开(公告)号：CN103493193A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280018577.4
申请日：2012-04-05
Applicant: 龙云株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/06 , B25J15/08
CPC classification number: H01L21/6838 , B25J9/042 , B25J11/0095 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67781
Abstract: 提供一种紧凑且访问性优异的晶圆更换装置。本发明的晶圆更换装置具备第一柄（10）及第二柄（20）、第一升降单元（30）、壳体（40）、水平移动单元（50）、以及第二升降单元（60）。第一柄（10）及第二柄（20）以左右分割形状形成为大致线对称，并对晶圆（100）进行支承。第一升降单元（30）使第二柄（20）升降。壳体（40）内置有第一升降单元（30），并且将第一柄（10）支承为高度位置不变且将第二柄（20）支承为能够升降。水平移动单元（50）使壳体（40）水平移动。第二升降单元（60）使壳体（40）升降。
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公开(公告)号：CN102460643A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026613.2
申请日：2010-04-19
Applicant: 龙云株式会社
IPC: H01L21/027 , B05C5/02 , B05C11/10 , B05C13/02
CPC classification number: B05C5/0262 , B05C5/0258 , B05C11/1013 , B05C11/1015 , B05C11/1023
Abstract: 提供一种在狭缝喷嘴涂布机的涂布中，可降低在涂布开始部及涂布结束部产生的膜厚不均区域的基板用涂布装置。基板用涂布装置(10)至少具有：滑块驱动用电机(4)、泵(8)、排出状态量测量部(82)及控制部(5)。滑块驱动用电机(4)使狭缝喷嘴(1)相对基板(100)以设定的速度相对扫描。泵(8)控制对狭缝喷嘴(1)的涂布液的供给量。排出状态量测量部(82)构成为，测量表示涂布液从狭缝喷嘴(1)的前端的排出状态的状态量。控制部(5)根据差分信息校正提供到滑块驱动用电机(4)的控制信息，以消除差分，上述差分信息表示提供到泵(8)的控制信息与从排出状态量测量部(82)提供的测量信息的差分。
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公开(公告)号：CN100553797C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200510097673.4
申请日：2005-08-31
Applicant: 东京応化工业株式会社 , 龙云株式会社
Abstract: 提供一种基板载置台，能够不夹有气体地水平固定玻璃基板等，并且容易剥离。基板载置台(1)分成多个俯视时成同心状的区域(1a、1b、1c、1d、1e)，形成在最中心部区域(1a)上的吸引兼喷射孔(2)的密度比外侧区域(1b～1e)的密度要高，吸引兼喷射用喷嘴(4)插入上述各孔(2)中，该喷嘴(4)在基板载置台(1)的背面一侧与配管相连接。各配管经由未图示的切换阀有选择地连接在真空泵或气体管线上。本发明中按照各区域配置配管，能够按照各区域控制吸引或者喷射。
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公开(公告)号：CN101145536A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710146097.7
申请日：2007-09-10
Applicant: 东京应化工业株式会社 , 龙云株式会社
IPC: H01L21/673 , B23Q3/08 , B25B11/00
Abstract: 本发明提供一种可以可靠且短时间地检测出基板是否被真空吸附的真空吸附装置。一旦有一部分没有被真空吸附的位置，则在该处，基板W会从基板载置台5的上表面多少有些浮起。而且基板W一旦浮起，则通过该处或者其附近各处呈开口的真空检测孔(8)而检测出的压力也就会因为从外部进入了空气而变高。因此，在所设置的多个压力传感器11全部都感知到真空时，就可以判断为基板W被可靠地吸附在基板载置台5的上表面上。
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