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公开(公告)号：CN1841200A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610077419.2
申请日：2006-03-28
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表－CO－基团或－C(OH)－基团；环X代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是－C(OH)－基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是－CO－基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1－6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN1955845B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200610142439.3
申请日：2006-10-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C07C309/12 , C07C2603/74 , C07D333/46
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A+表示选自由下列式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子。本发明还提供一种包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101329511B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200810128868.4
申请日：2008-06-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , C07C69/00 , C07C2603/24 , C08F212/14 , C08F212/34 , C08F220/18 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/106
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂，所述的(A)树脂包含：(i)由式(I)表示的聚合单元，其中R7表示氢原子等，R8表示C1-C4烷基，p表示1至3的整数，q表示0至2的整数；(ii)选自由式(II)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元，在式(II)中，R1表示氢原子等，R2表示C1-C8烷基，并且环X表示脂环烃基，在式(IV)中，R3表示氢原子等，R4和R5独立地表示氢原子等，R10表示C1-C6烷基等；以及(iii)由式(III)表示的聚合单元，其中R3、R4和R5与上述定义相同，E表示二价烃基，G表示单键等，Z表示羰基等，并且L表示蒽基等。
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公开(公告)号：CN1991585B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200610172455.7
申请日：2006-12-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/18 , G03F7/0397 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN101898988A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010189458.8
申请日：2010-05-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: G03F7/039 , C07C303/32 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 一种以式(a)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等，X1表示单键等，X2表示单键等，Y1表示C3-C36脂环族烃基等，条件是-X2-Y1基团具有一个或多个氟原子，并且Z+表示有机抗衡阳离子，以及一种光致抗蚀剂组合物，其含有以式(a)表示的盐和树脂，所述树脂包含具有酸不稳定基团的结构单元，并且不溶或难溶于碱水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱水溶液。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1690851B
公开(公告)日：2010-04-28
申请号：CN200510066667.2
申请日：2005-04-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: C08F220/18 , C07C69/73 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D307/33 , C08F220/28 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/115 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含(A)树脂和(B)酸生成剂，所述的树脂包含(i)一种式(I)的结构单元和(ii)选自式(II)、(III)、(IV)和(V)的结构单元中的至少一种结构单元。本发明还提供一种用于光刻胶组合物的新单体，以及制备这些单体和组合物的方法。
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公开(公告)号：CN101334588A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810128882.4
申请日：2008-06-24
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)由式(I)表示的盐：A+－O3S－R (I)，其中R表示9，10－蒽醌基，所述9，10－蒽醌基可以被选自下列基团中的至少一个基团取代：C1－C4烷基，C1－C4烷氧基和羟基，并且所述的C1－C4烷基和所述的C1－C4烷氧基可以是取代的，并且A+表示有机抗衡阳离子，和(B)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN101086620A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710108240.3
申请日：2007-06-04
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n－价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1991585A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610172455.7
申请日：2006-12-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/18 , G03F7/0397 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN102731346A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210103577.6
申请日：2012-04-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07C25/02 , C07C17/00 , C07D333/46 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C309/17 , C07C25/18 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/07 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种盐、光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C17二价饱和烃基，L2和L3各自表示单键或其中的亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C6二价饱和烷基，环W1和环W2各自表示C3-C36烃环，R1和R2各自表示氢原子或C1-C6烷基，R3表示C1-C6烷基，t表示0至2的整数，并且Z+表示有机抗衡离子。
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