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公开(公告)号：CN101566797A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910135319.4
申请日：2009-04-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , G03F7/2041 , Y10S430/108 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供了一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述组合物包含树脂(A)、树脂(B)和产酸剂，所述树脂(A)不含氟原子而含侧链中有酸不稳定性基团的结构单元(a1)，所述树脂(B)含侧链中有含氟基团的结构单元(b2)和至少一种选自有酸不稳定性基团的结构单元(b1)、有羟基的结构单元(b3)和侧链中有内酯结构的结构单元(b4)的结构单元，其中基于所述树脂(B)的所有单元，所述结构单元(b1)的含量低于10摩尔％。
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公开(公告)号：CN101546126A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910118251.9
申请日：2009-03-03
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/2041 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122
Abstract: 本发明的目的在于提供不会影响作为功能性树脂组合物的基本特性、能进一步提高析像度的化学放大型抗蚀剂组合物以及浸液曝光用化学放大型抗蚀剂组合物。该化学放大型抗蚀剂组合物含有树脂和产酸剂，所述树脂含有在侧链具有对酸不稳定的基团的结构单元、式(I)表示的结构单元、以及具有多环式内酯结构的结构单元，并且所述树脂本身为可溶于有机溶剂，不溶或难溶于碱性水溶液，但在酸的作用下变得可溶于碱性水溶液的树脂，所述产酸剂是式(II)A+E－(II)表示的产酸剂。
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公开(公告)号：CN101206405A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710197166.7
申请日：2007-12-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3－C30环烃基，其中一个－CH2－被－COO－取代，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差，但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中；以及由式(II)表示的盐，其中Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子，并且R21表示可以被取代的C1－C30烃基，并且在C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－CO－或－O－取代。
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公开(公告)号：CN101206405B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200710197166.7
申请日：2007-12-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元：其中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3-C30环烃基，其中一个-CH2-被-COO-取代，并且在所述C3-C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，并且p表示1至4的整数，并且所述树脂本身在碱水溶液中不溶解或溶解差，但是通过酸的作用变得可溶于碱水溶液中；以及由式(II)表示的盐：其中Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子，并且R21表示可以被取代的C1-C30烃基，并且在C1-C30烃基中的至少一个-CH2-可以被-CO-或-O-取代。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102089715A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200980126839.7
申请日：2009-07-07
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/40 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/38 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0035 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2022 , G03F7/38 , G03F7/40
Abstract: 本发明的目的在于提供一种抗蚀剂处理方法，其中，在双图形法等多重图形法中，极微细且精度良好地形成通过第一次抗蚀剂图形形成用的抗蚀剂组合物而得到的图形。本发明为一种抗蚀剂处理方法，其中，包括：将含有树脂(A)、光酸产生剂(B)以及交联剂(C)的第1抗蚀剂组合物涂布到基体上并进行干燥而得到第1抗蚀剂膜、对其进行预烘焙、全面曝光处理后隔着掩模进行曝光处理、曝光后烘焙、显影而得到第1抗蚀剂图形、并对其进行硬烘焙，在其上涂布第2抗蚀剂组合物并进行干燥而得到第2抗蚀剂膜、对其进行预烘焙、曝光处理、曝光后烘焙、显影而得到第2抗蚀剂图形的工序，其中，所述树脂(A)具有对酸不稳定的基团，在碱水溶液中不溶或难溶，可与酸作用后溶解。
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公开(公告)号：CN1721992B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200510082178.6
申请日：2005-07-04
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F293/005 , C08L53/00 , G03F7/0392 , C08L2666/02
Abstract: 本发明提供一种星形聚合物及制备该星形聚合物的方法，所述的星形聚合物包含中心核和三个或更多个与中心核结合的分支，和具有的重均分子量为1,000至100,000，其中至少一个分支包含至少一个选自下面的重复单元(1)、(2)、(3)、(4)和(9)中的重复单元。本发明还提供一种包含星形聚合物和酸生成剂的化学放大正型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101770173A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910261381.8
申请日：2009-12-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/2041 , G03F7/0045 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供了一种化学增幅正性抗蚀剂组合物，包含：含有在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元的树脂、以及产酸剂，其中，基于所有的结构单元，该树脂含有按摩尔计40％至90％的在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元，并且在侧链上具有酸不稳定基团的结构单元包含由式(I)表示的结构单元：其中，R1代表氢原子或甲基基团，Z代表单键或-(CH2)k-CO-O-，k代表1至4的整数，R2在各种情况下独立地是C1-C6烷基基团，以及m代表0至14的整数。
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公开(公告)号：CN101614958A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200910139499.3
申请日：2009-06-24
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0046
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含：树脂(A)，所述树脂(A)本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且所述树脂(A)包含在侧链中具有酸不稳定基团的结构单元，以及由式(I)表示的结构单元，其中R1表示氢原子或甲基，环X1表示具有－COO－的未取代或取代的C3－C30环烃基，并且k表示1至4的整数；树脂(B)，所述树脂(B)包含由式(II)表示的结构单元，其中R2表示氢原子、甲基或三氟甲基；以及酸生成剂。
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公开(公告)号：CN101125823A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710140073.0
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 一种式(I)表示的盐，其中，X表示C1－C12二价直链或支链烃基，Y表示可以被至少一个取代基取代的C1－C30烃基，并且在所述C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代，Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。本发明还提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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