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公开(公告)号：CN110144547A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN106350768A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610561108.7
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/24
Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。
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公开(公告)号：CN109440060B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201811311762.8
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110144547B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀领域中使用的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN111032902B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201880050088.4
申请日：2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 包括：在铁‑镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层，经由树脂层将金属板接合于玻璃基板的工序；从金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序；将掩模部中的与树脂层相接的面的相反侧的面接合于的掩模框架的工序，该的掩模框架与掩模部相比具有更高的刚性，且形成为将掩模部所包含的多个掩模孔包围的框状；以及从掩模部剥离树脂层及玻璃基板的工序。
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公开(公告)号：CN111032902A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880050088.4
申请日：2018-09-13
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 包括：在铁-镍系合金制的金属板与玻璃基板之间夹持树脂层，经由树脂层将金属板接合于玻璃基板的工序；从金属板形成包含多个掩模孔的掩模部的工序；将掩模部中的与树脂层相接的面的相反侧的面接合于的掩模框架的工序，该的掩模框架与掩模部相比具有更高的刚性，且形成为将掩模部所包含的多个掩模孔包围的框状；以及从掩模部剥离树脂层及玻璃基板的工序。
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公开(公告)号：CN109440062A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811389315.4
申请日：2016-03-22
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。
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公开(公告)号：CN107406963B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201680012997.X
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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