公开(公告)号：CN113498441B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202080017784.2

申请日：2020-04-23

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 山田清治 ,  柴田泰充 ,  藤户大生

IPC: C23C14/04 ,  G01N21/956

Abstract: 一种蒸镀掩模缺陷原因确定系统，对具有形成有多个孔的基材的蒸镀掩模的缺陷原因进行确定，具备：图像取得部，取得上述蒸镀掩模的摄像图像，该摄像图像包括对包含正常孔部分和不良孔部分的上述多个孔进行摄像而得的多个孔部分以及对多个孔周围的上述基材进行摄像而得的基材部分；第1面积计算部，计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的正常孔部分的面积；第2面积计算部，计算由图像取得部取得的摄像图像中包含的不良孔部分的面积；面积比率计算部，计算不良孔部分的面积相对于正常孔部分的面积的比例即面积比率；及缺陷原因确定部，确定不良孔部分的原因，缺陷原因确定部在面积比率为1以上的情况下确定不良孔部分的原因为第1原因或第2原因，在面积比率低于1的情况下确定不良孔部分的原因为并非第1原因及第2原因中的任一方的原因。

公开(公告)号：CN113403574A

公开(公告)日：2021-09-17

申请号：CN202110664955.7

申请日：2016-06-29

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 三上菜穗子 ,  田村纯香 ,  寺田玲尔 ,  仓田真嗣 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23F1/16 ,  C23F1/02 ,  C23F1/28 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。

公开(公告)号：CN109440062B

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN201811389315.4

申请日：2016-03-22

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  三上菜穗子 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23F1/02 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  G01N21/55

Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。

公开(公告)号：CN107406964B

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201680013004.0

申请日：2016-03-22

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  三上菜穗子 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。

公开(公告)号：CN107849681A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680041439.6

申请日：2016-03-22

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广

IPC: C23C14/04 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0011 ,  B05C21/005 ,  C23C14/04 ,  C23F1/02 ,  C23F1/16 ,  H01L51/56 ,  H05B33/10

Abstract: 金属掩模基材具备以配置抗蚀剂的方式构成的金属制的表面，表面的三维表面粗糙度Sa为0.11μm以下，表面的三维表面粗糙度Sz为3.17μm以下。

公开(公告)号：CN106350768A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201610561108.7

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子 ,  仓田真嗣 ,  武田宪太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模以及蒸镀用金属掩模的制造方法。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。

公开(公告)号：CN205974646U

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201620749297.6

申请日：2016-07-15

Applicant: 凸版印刷株式会社

Inventor： 田村纯香 ,  新纳干大 ,  藤户大生 ,  西辻清明 ,  西刚广 ,  三上菜穗子 ,  仓田真嗣 ,  武田宪太

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本实用新型提供能够将通过蒸镀形成的图案的构造上的精度的提高以及蒸镀用金属掩模的操作性的提高这两者兼顾的蒸镀用金属掩模。具备：掩模部(32)，具备用于与蒸镀对象接触的接触面以及与上述接触面相反侧的非接触面，形成为片形状，而且，该掩模部具有分别从位于上述接触面的第一开口贯通到位于上述非接触面的第二开口的多个掩模孔，上述第一开口的大小小于上述第二开口的大小；以及掩模框架(31)，具有比上述掩模部高的刚性，并且形成为将上述多个掩模孔包围的框状。上述掩模部(32)在上述非接触面中具有将上述多个掩模孔包围的部分，在该部分通过接合部与掩模框架接合。