公开(公告)号：CN1457502A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。

公开(公告)号：CN101122606B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200710127435.2

申请日：2007-07-05

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  井田彻 ,  大塚刚树

IPC: G01N35/00 ,  A62D3/34 ,  A62D3/38 ,  A62D101/02

Abstract: 本发明提供一种监测方法和反应控制方法，其用于对作为化学武器用药剂的芥子气、刘易士毒气、氯乙酰苯等进行分解而无害化时，能够以高效率的分解、无害化处理的方式迅速地检测分解生成物并把握分解反应的进行程度。在由碱性水溶液分解上述的有机氯化物，或者在碱性水溶液中混合氧化剂而将其分解的分解拔应的过程中通过离子电极法和荧光X射线法等分析手段，对分解反应溶液中的氯离子浓度和氯总浓度进行分析，通过评价由(氯离子浓度/氯总浓度)×100％所表示的分解率S(％)，从而实时地监测并把握分解反应的进行状况，使分解反应受到控制。据此，能够准确地进行分解反应时间和分解反应温度等的反应条件的设定。

公开(公告)号：CN100499018C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN03137815.3

申请日：2003-05-21

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  吉川哲也 ,  D·W·彼得斯

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D7/50 ,  G03F7/42

CPC classification number: C11D7/3209 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/32 ,  C11D7/5022 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425

Abstract: 本发明提供一种从物体的微结构中清除残余物的方法，其包括下述步骤：制备包括二氧化碳、用于清除残余物的添加剂、在加压流体条件下将添加剂溶解在所说的二氧化碳中的共溶剂的清除剂，使物体和所说的清除剂接触以清除物体中残余物。本发明还提供一种用于从物体的微结构中清除残余物的组合物。

公开(公告)号：CN100477074C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200310102886.2

申请日：2003-10-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  大日本屏影象制造株式会社

Inventor： 吉川哲也 ,  井上阳一 ,  渡边克充 ,  增田薰 ,  饭岛胜之 ,  岩田智巳 ,  村冈祐介 ,  齐藤公 ,  沟端一国雄

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  G03F7/00

CPC classification number: H01L21/67017 ,  B08B7/0021

Abstract: 本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置，使用高压流体而对被处理体施予高压处理，其中，将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后，沿其表面流到该被处理体外边。

公开(公告)号：CN1711628A

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN200380102846.6

申请日：2003-11-04

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之

IPC: H01L21/304 ,  B08B7/00

CPC classification number: H01L21/0206 ,  H01L21/02101

Abstract: 本发明提供一种用于清洗微结构的方法，它能够有效除去污染物如抗蚀剂残余而不损害半导体晶片所需要的物质如低－k膜。该清洗方法包括流化主要包括高压下的二氧化碳和清洗组分的清洗剂组合物以及使清洗剂组合物与微结构接触以除去粘附在微结构中的物质，其中氟化氢用作清洗组分。

公开(公告)号：CN1204603C

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN02118458.5

申请日：2002-04-24

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 川上信之 ,  铃木康平 ,  饭岛胜之 ,  田中丈晴 ,  长濑佳之 ,  增田薰

IPC: H01L21/304 ,  F26B5/06 ,  G03F7/40

CPC classification number: G03F7/32 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下，使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法，在用液态/超临界二氧化碳处理前，在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触，从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外，包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下，由于其构成为用排水液置换水，再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液，因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序，也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。

公开(公告)号：CN1178762C

公开(公告)日：2004-12-08

申请号：CN98122470.9

申请日：1998-11-11

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 清水弘之 ,  西田美佳 ,  增田薰 ,  伊藤和彦 ,  宫崎邦彰 ,  政家规生

IPC: B23K35/365

CPC classification number: B23K35/0261 ,  B23K35/40 ,  Y10T428/12556 ,  Y10T428/254 ,  Y10T428/256 ,  Y10T428/27 ,  Y10T428/2933 ,  Y10T428/2951 ,  Y10T428/30

Abstract: 用于碳钢或不锈钢的由涂镀的或无覆盖层的固体焊丝和焊剂芯焊丝组成的该类焊丝，其中一种或多种从由具有5至12个碳原子及线性或支化结构的饱和或不饱和烃化合物和具有环形结构的烃化合物组成的组中选取的烃化合物沉积于焊丝表面。润滑油和/或润滑颗粒通过一种或多种烃化合物与焊丝表面产生化学结合。沉积于焊丝表面的烃化合物、润滑油和/或润滑颗粒的总量是在每10千克焊丝为0.1至5克范围内。

公开(公告)号：CN1217249A

公开(公告)日：1999-05-26

申请号：CN98122470.9

申请日：1998-11-11

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 清水弘之 ,  西田美佳 ,  增田薰 ,  伊藤和彦 ,  宫崎邦彰 ,  政家规生

IPC: B23K35/365 ,  B23K35/30

CPC classification number: B23K35/0261 ,  B23K35/40 ,  Y10T428/12556 ,  Y10T428/254 ,  Y10T428/256 ,  Y10T428/27 ,  Y10T428/2933 ,  Y10T428/2951 ,  Y10T428/30

Abstract: 用于碳钢或不锈钢的由涂镀的或无覆盖层的固体焊丝和焊剂芯焊丝组成的该类焊丝,其中一种或多种从由具有5至12个碳原子及线性或支型结构的饱和或不饱和烃化合物和具有环形结构的烃化合物组成的组中选取的烃化合物沉积于焊丝表面。润滑油和/或润滑颗粒通过一种或多种烃化合物与焊丝表面产生化学结合。沉积于焊丝表面的烃化合物、润滑油和/或润滑颗粒的总量是在每10千克焊丝为0.1至5克范围内。