公开(公告)号：CN100415518C

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200510107140.X

申请日：2005-09-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新馆刚 ,  樱田和昭 ,  上原升

IPC: B41J2/015 ,  H05K3/14

Abstract: 本发明提供使导通柱形成为相当高度的同时可实现多层化和微细化的配线图案的形成方法。该形成方法是由导通柱(34)使层叠配置的多个电配线(32、36)互相导通连接的配线图案的形成方法，其特征在于，具有喷出含有电配线(32)的形成材料的第1液滴、形成电配线(32)的工序；和喷出含有导通柱(34)的形成材料的第2液滴、形成导通柱(34)的工序；第2液滴的体积比上述第1液滴的体积大。

公开(公告)号：CN101184380A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200710188704.6

申请日：2007-11-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新馆刚

IPC: H05K3/46

CPC classification number: H05K1/185 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/19 ,  H01L24/76 ,  H01L24/82 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/76155 ,  H01L2224/82102 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19041 ,  H05K3/125 ,  H05K3/4664 ,  H05K2201/10674 ,  H05K2203/013 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49158 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种电子基板的制造方法，包括：把具有导电部(71)的电子部件(70)，使该导电部(71)向上方，配置在第一绝缘层(50)上，并且在所述导电部(71)上设置具有导电性的突起(72)的工序；使用液滴喷出法避开所述突起(72)，涂敷绝缘材料，在所述电子部件(70)的上面(70a)以所述突起(72)突出的高度设置第二绝缘层(60B)的工序；在所述第二绝缘层(60B)上设置与所述突起(72)连接的导电布线(15)的工序；在所述电子部件(70)的周围，使用所述液滴喷出法涂敷所述绝缘材料，以与所述第二绝缘层(60B)大致相同的高度设置第三绝缘层(60A)的步骤。从而，使用液滴喷出法在电子部件的周围形成绝缘膜时，在布线和所述电子部件之间取得良好的导通。

公开(公告)号：CN1770957A

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：CN200510106828.6

申请日：2005-09-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 上原升 ,  新馆刚 ,  樱田和昭

IPC: H05K3/10 ,  H05K3/46 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/288 ,  C23C26/00 ,  G02F1/13452 ,  H01L21/4867 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76825 ,  H01L21/76879 ,  H01L27/3297 ,  H05K3/125 ,  H05K3/1258 ,  H05K3/4664 ,  H05K2201/09909 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/0568

Abstract: 本发明提供一种配线图案的形成方法，其是通过在被隔壁划分的区域上配置含有导电性材料的液体材料而形成配线图案的方法，其中包括：在所述配线图案的形成区域周围配置树脂材料的工序；通过对由所述树脂材料划分的划分区域实施亲液化处理，使所述树脂材料在该划分区域侧流动，从而使该划分区域窄化的工序；和将所述树脂材料固化，以形成所述隔壁的工序。

公开(公告)号：CN1886032B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200610093205.4

申请日：2006-06-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 和田健嗣 ,  新馆刚

IPC: H05K3/12 ,  H01L21/288 ,  H01L21/48 ,  H01L21/768 ,  H05K3/38

CPC classification number: H05K3/4664 ,  B41M3/006 ,  B41M3/008 ,  H05K3/125 ,  H05K3/4647 ,  H05K2201/09781 ,  H05K2201/09881 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/1476

Abstract: 通过喷墨加工形成难以剥离的多层结构。多层结构形成方法包括：将虚设接线柱设置于第一绝缘图案上的第一喷墨工序；将第二绝缘图案设置于所述第一绝缘图案上，得到包围所述虚设接线柱的侧面的所述第二绝缘图案的第二喷墨工序；以及将第一导电图案设置于所述第二绝缘图案上，得到连接于所述虚设接线柱的第一导电图案的第三喷墨工序。而且，所述第一喷墨工序包括向所述第一绝缘图案喷出含有相对所述第一导电图案密接性好的第一导电材料的功能液的工序。

公开(公告)号：CN100496194C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200510118732.1

申请日：2005-10-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 樱田和昭 ,  上原升 ,  新馆刚

IPC: H05K3/14 ,  G09F9/00 ,  H01L21/60

CPC classification number: H05K3/125 ,  B41J11/0085 ,  B41J11/44 ,  B41J15/005 ,  H05K1/0393 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/0165 ,  H05K2203/082 ,  H05K2203/1545

Abstract: 本发明的图案形成系统，是具备抽出已被卷取的带状基板(11)的供带盘(10)、卷取已被抽出的所述带状基板(11)的卷线筒(15)、在供带盘(10)与卷线筒(15)之间向带状基板(11)喷出液滴形成图案的液滴喷出装置(20)的图案形成系统，液滴喷出装置(20)具备吸附带状基板(11)同时可以移动的工作台(4)，在带状基板(11)的纵向上的工作台(4)的两个端部上，设有带状基板(11)的下垂机构(50)、(60)。由此，本发明提供一种可以使带状基板(11)的位置调整容易化而形成准确的图案的图案形成系统。

公开(公告)号：CN1784124A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510118732.1

申请日：2005-10-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 樱田和昭 ,  上原升 ,  新馆刚

IPC: H05K3/14 ,  G09F9/00 ,  H01L21/60

CPC classification number: H05K3/125 ,  B41J11/0085 ,  B41J11/44 ,  B41J15/005 ,  H05K1/0393 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/0165 ,  H05K2203/082 ,  H05K2203/1545

Abstract: 本发明的图案形成系统，是具备抽出已被卷取的带状基板(11)的供带盘(10)、卷取已被抽出的所述带状基板(11)的卷线筒(15)、在供带盘(10)与卷线筒(15)之间向带状基板(11)喷出液滴形成图案的液滴喷出装置(20)的图案形成系统，液滴喷出装置(20)具备吸附带状基板(11)同时可以移动的工作台(4)，在带状基板(11)的纵向上的工作台(4)的两个端部上，设有带状基板(11)的下垂机构(50)、(60)。由此，本发明提供一种可以使带状基板(11)的位置调整容易化而形成准确的图案的图案形成系统。

公开(公告)号：CN1674767A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510056389.2

申请日：2005-03-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 樱田和昭 ,  新馆刚 ,  木下丰太郎

IPC: H05K3/14 ,  B05D1/26

CPC classification number: H05K3/125 ,  H05K2201/09063 ,  H05K2201/09909 ,  H05K2203/013

Abstract: 本发明提供一种图案形成方法，在图案形成区域和其他区域的边界的至少一部分上，通过使用液滴喷吐方式涂敷液滴来设置隔壁。

公开(公告)号：CN1753600B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200510099521.8

申请日：2005-09-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新馆刚 ,  桜田和昭 ,  山田纯

IPC: H05K3/12 ,  H05K3/38 ,  H05K1/03 ,  B41J2/01 ,  B05D5/12 ,  H01L21/288 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

CPC classification number: H05K3/125 ,  H01L51/0022 ,  H01L2924/0002 ,  H05K3/1208 ,  H05K3/386 ,  H05K3/4664 ,  H05K2203/013 ,  H05K2203/1173 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明是用喷墨法形成稳定的多层结构的发明。该多层结构形成方法包括：由第1喷嘴向物体表面喷出含有第1感光性树脂的第1绝缘材料的液滴，形成覆盖上述物体表面的第1绝缘材料层的步骤(A)；使上述第1绝缘材料层固化而得到第1绝缘层的步骤(B)；由第2喷嘴向上述第1绝缘层喷出导电性材料的液滴，在上述第1绝缘层上形成导电性材料层的图案的步骤(C)；和使上述导电性材料层的图案活性化而在上述第1绝缘层上形成配线图案的步骤(D)。

公开(公告)号：CN100461335C

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200610126156.X

申请日：2006-08-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新馆刚 ,  水垣浩一 ,  樱田和昭 ,  和田健嗣

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/288 ,  H01L21/768 ,  H01L21/48 ,  H05K3/12

Abstract: 层形成方法，包含：第1工序，该工序在基底表面的2个部位的每一个上，配置第1液滴，以便在所述基底表面上形成互相孤立的2个圆点状图案；第2工序，该工序使所述2个圆点状图案固定在所述基底表面上；第3工序，该工序至少使所述2个圆点状图案之间的所述基底表面对第2液滴而言亲液化；第4工序，该工序在所述第3工序之后，在所述2个圆点状图案之间的所述基底表面，配置连接所述2个圆点状的图案的所述第2液滴。在这里，所述第3工序，也可以包含在固定的所述2个圆点状图案的每一个上分别配置第3液滴的工序。提供将液滴配置在基底表面后设置良好的浓密状图案的方法。

公开(公告)号：CN1931591A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200610129151.2

申请日：2006-09-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 新馆刚 ,  水垣浩一 ,  山田纯

IPC: B41J3/407 ,  B41J2/01 ,  B41J2/04 ,  B41J29/38

CPC classification number: B41J2/14233

Abstract: 本发明提供一种使用液滴喷出装置形成良好的全面状图案的层形成方法。在使用对具备多个喷嘴的喷头，使表面在第1方向上相对移动的同时从上述多个喷嘴中喷出液滴的液滴喷出装置的情况下，层形成方法包括：第1工序，将第1液滴分别配置到上述表面上的2个基准区域的每一个内、设置与上述2个基准区域相对应而独立的2个图案；第2工序，固定上述2个图案；第3工序，在上述第2工序后对上述表面进行亲液化；和第4工序，在上述第3工序后将第2液滴配置在上述2个基准区域之间而将上述2个图案相连。