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公开(公告)号：CN104603966A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380045724.1
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/08 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/18 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种薄膜压电元件(100)，其包括一对电极层(12，5)和夹在该对电极层之间的压电薄膜(3)，其中该压电薄膜包含稀有气体元素并且在压电薄膜的厚度方向上具有稀有气体元素的含量的梯度。
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公开(公告)号：CN104396039A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380033604.X
申请日：2013-07-25
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/053 , H01L41/09 , B41J2/14 , G11B5/48 , H01L41/113
CPC classification number: H03H9/02133 , G01C19/5783 , G01P15/00 , H01L41/0536 , H01L41/0805 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H04R17/02
Abstract: 根据本发明的压电器件(100)设置有一对电极膜(8，12)、夹在这对电极膜(8，12)之间的压电膜(10)、以及应力控制膜(14)，应力控制膜(14)在电极膜(12)不与压电膜(10)接触的侧上与这对电极膜(12)中的至少一个直接接触，并且具有比相关的电极膜(12)和压电膜(10)的线性膨胀系数更大的线性膨胀系数。
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公开(公告)号：CN102024460A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010293115.6
申请日：2010-09-20
Abstract: 本发明涉及薄膜元件及其制造方法、使用其的磁头悬架组件、硬盘驱动器。薄膜元件的制造方法具备以下工序：将包含电极膜的层叠体形成于基板上的工序；将层叠体加工成规定的形状并将薄膜元件部形成于基板上的工序；以支撑基板经由薄膜元件部与基板相对的方式用粘结膜将支撑基板贴合于基板的工序；在贴合工序之后，除去基板的工序；在基板的除去工序之后，将低刚性膜形成于除去了基板的一侧的薄膜元件部上的工序；以及在低刚性膜的形成工序之后，除去支撑基板以及粘结膜的工序，在低刚性膜的形成工序与支撑基板以及粘结膜的除去工序之间不将基板设置于低刚性膜上。
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公开(公告)号：CN1235193C
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN03104972.9
申请日：2003-02-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , G11B5/52 , G11B5/53
Abstract: 本发明的旋转头(10)具备：筒状的旋转滚筒(12)；和磁头(20a)，对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带，进行信息记录或信息读取至少一方，磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。
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公开(公告)号：CN1441405A
公开(公告)日：2003-09-10
申请号：CN03104972.9
申请日：2003-02-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , G11B5/52 , G11B5/53
Abstract: 本发明的旋转头(10)具备：筒状的旋转滚筒(12)；和磁头(20a)，对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带，进行信息记录或信息读取至少一方，磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。
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公开(公告)号：CN104810469B
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201510035975.2
申请日：2015-01-23
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , B41J2/14201 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , B41J2202/20 , G11B5/4873 , G11B21/24 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/29 , H01L41/316 , H01L41/332
Abstract: 本发明的目的在于，通过使薄膜压电元件的平面形状、层构造为一定的状态下，在构成薄膜压电元件的压电薄膜的接地面具有凹凸的形状，进一步增大移位量。薄膜压电元件具备一对电极层和由上述一对电极层夹着的压电薄膜，压电薄膜和一对电极层的至少一者的界面的表面粗糙度P‑V为220nm以上500nm以下。
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公开(公告)号：CN104364923B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201380029575.X
申请日：2013-05-14
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: H01L41/0815 , H01L41/0477
Abstract: 一种电介质器件(100A～100D)，具有非取向或非晶结构的第一电极膜(4)、设置在第一电极膜上并具有择优取向结构的电介质膜(3)、以及设置在电介质膜上并具有非取向或非晶结构第二电极膜(8)。
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公开(公告)号：CN104641481A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048271.8
申请日：2013-08-30
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/316
CPC classification number: H01L41/04 , H01L41/0805 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明所涉及的薄膜压电元件包括具有60nm以上且90nm以下的平均晶粒直径的铌酸钾钠基压电薄膜、以及配置成将该压电薄膜保持于其间的一对电极膜。
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公开(公告)号：CN104576915A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410564550.6
申请日：2014-10-21
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01L1/16 , G01L9/008 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供了一种压电元件，其通过具备由通式ABO3表示的钙钛矿型化合物即铌酸钾钠的结晶组织的结晶取向是以其厚度方向为第1旋转对称轴而作为压电体层整体为面内四重对称的铌酸钾钠薄膜作为压电体层，从而增大压电元件的致动器的位移量或者作为传感器的灵敏度，并且能够降低耗电。
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