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公开(公告)号：CN1991585B
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN200610172455.7
申请日：2006-12-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/18 , G03F7/0397 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN101236357A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810008504.2
申请日：2008-01-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：树脂和至少两种盐，该树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元和由式(I)表示的结构单元，式(I)中R1表示氢原子或甲基，环X表示C3－C30环烃基，其中一个－CH2－被－COO－取代，并且C3－C30环烃基中的至少一个氢原子可以被取代，且p表示1至4的整数，并且该树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；该至少两种盐选自由式(II)表示的盐和由式(III)表示的盐，在式(II)中，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或者C1－C6全氟烷基，A+表示有机抗衡离子且R21表示可以被取代的C1－C30烃基，且该C1－C30烃基中的至少一个－CH2－可以被－CO－或－O－取代，式(III)中，R23表示C1－C8直链或支链全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN101086620A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710108240.3
申请日：2007-06-04
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示n－价连接基团，Y1和Y2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，n表示2或3，并且A+表示有机抗衡离子。本发明进一步提供一种含有上述式(I)表示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1991585A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200610172455.7
申请日：2006-12-25
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/18 , G03F7/0397 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中X表示亚烷基或取代的亚烷基；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示0或1。本发明还提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含所述式(I)的盐和树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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公开(公告)号：CN1800977A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510048390.0
申请日：2005-12-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C67/11 , C07C67/14 , C07C69/75 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D493/04 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的组分的酯衍生物以及生产该酯衍生物的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102890414A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251271.5
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和具有酸不稳定基团的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102890411A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251267.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和由式(II)表示的化合物，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23和环W21如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN1971421B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200610149463.X
申请日：2006-11-17
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101967116A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN201010239691.2
申请日：2010-07-27
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D333/46 , G03F7/039
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D307/77 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供分辨率和光罩错误增强因子优异的化学增幅型抗蚀剂组合物。当在抗蚀剂组合物中使用式(A1)所示盐作为酸产生剂时，可以达成上述目的。[式(A1)中，Z+表示有机阳离子；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或全氟烷基；Ra1表示2价的环式脂肪族烃基等；Ra2为式(II-1)或式(II-2)所示的离去基团；式(II-1)和式(II-2)中，Ra3和Ra4表示氢原子或脂肪族烃基；Ra5表示脂肪族烃基；Ra6表示2价的脂肪族烃基；Ra7表示脂肪族烃基。]
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公开(公告)号：CN101928369A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010217436.8
申请日：2010-06-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C08F222/14 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/24 , C08F220/38 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C08F224/00 , C08F220/10 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/14 , C08F226/06 , C08F228/06 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种树脂和抗蚀剂组合物。所述树脂包含衍生自由式(aa)表示的化合物的结构单元，其中T表示C4至C36脂环族烃基，所述脂环族烃基中所含的氢原子可以被卤素原子，羟基，任选被卤素原子或羟基取代的C1至C12烷基，C1至C12烷氧基，C6至C12芳基，C7至C12芳烷基，缩水甘油基氧基，C2至C4酰基，烷氧羰基，烷酰氧基烷基或氰基代替，并且所述脂环族烃基中所含的-CH2-被至少一个-SO2-代替并且还可以被-CO-，-O-，-S-，-SO2-或-N(Rc)-代替；Rc表示氢原子或C1至C6烷基；R1表示氢原子，卤素原子，或表示可以任选具有卤素原子的C1至C6烷基；并且Z1表示任选取代的C1至C17饱和烃基，并且所述饱和烃基中所含的-CH2-可以被-CO-，-O-，-S-或-N(Rc)-代替。
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