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公开(公告)号：CN107406963A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680012997.X
申请日：2016-07-15
Applicant: 凸版印刷株式会社
CPC classification number: C25B11/041 , C23C14/042 , C25C1/08 , C25C7/08 , C25D1/10 , C25D5/16 , C25D11/34 , H01L51/0011
Abstract: 蒸镀用金属掩模基材(10)包括具备表面以及与上述表面相反侧的面即背面的含镍金属片(11)，上述表面以及上述背面的至少一方为抗蚀剂层所位于的对象面，上述对象面的表面粗糙度Sa为0.019μm以下，并且，上述对象面的表面粗糙度Sz为0.308μm以下。
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公开(公告)号：CN118011710A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410335320.6
申请日：2020-07-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口与第1孔部分连接。第1孔部分从背面的背面开口延伸至中央开口，具有从背面朝向表面而前端缩细的形状。第2孔部分从表面的表面开口延伸至中央开口，具有从表面朝向背面而前端缩细的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。在遮光板的厚度方向上，表面与中央开口的边缘之间的距离相对于背面与中央开口的边缘之间的距离的比大于或等于2.5。
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公开(公告)号：CN114127629B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202080050707.7
申请日：2020-07-17
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口与第1孔部分连接，第1孔部分从背面的背面开口延伸至中央开口，具有从背面朝向表面而前端缩细的形状。第2孔部分从表面的表面开口延伸至中央开口，具有从表面朝向背面而前端缩细的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。在被拍摄区域深度为0.4μm的拍摄条件下，在使得焦点对准中央开口的边缘的状态下沿所述中央开口的径向对中央开口的边缘进行拍摄时，焦点对准的遮光板的厚度方向上的遮光板
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公开(公告)号：CN113403574A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110664955.7
申请日：2016-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属掩模用基材的制造方法、蒸镀用金属掩模的制造方法、金属掩模用基材及蒸镀用金属掩模。在具备表面以及与表面相反侧的面即背面的金属轧制片中，表面及背面的至少一方为处理对象。金属掩模用基材的制造方法为，通过用酸性蚀刻液将处理对象蚀刻3μm以上来使金属轧制片所具有的厚度变薄到10μm以下，并且，将处理对象粗糙化为具有0.2μm以上的表面粗糙度Rz的抗蚀剂用处理面，得到金属制的金属掩模用片。
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公开(公告)号：CN109440062B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201811389315.4
申请日：2016-03-22
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面，入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2％以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111286694A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010114853.3
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN109468583B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201810694337.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明提供能够提高通过蒸镀所形成的图案的精度的蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。用于形成蒸镀掩模的金属板的宽度方向的各位置上的沿着金属板的长度方向的形状具有在金属板的长度方向上反复的波浪，连接波浪中的一个谷至另一个谷的直线的长度为波浪的长度，所述波浪高度相对于波浪长度的百分率为单位陡峭度，长度方向上包含的全部波浪的单位陡峭度的平均值为陡峭度，金属板的宽度方向上的中央部RC的陡峭度的最大值为0.3％以下，金属板的宽度方向上的各端部RE的陡峭度的最大值为0.6％以下，金属板的宽度方向上的两端部RE中的至少一个端部的陡峭度的最大值比金属板的宽度方向的中央部RC的陡峭度的最大值小。
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公开(公告)号：CN110144547A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910237719.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法。金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10-5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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公开(公告)号：CN107849682B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201780002450.6
申请日：2017-04-14
Applicant: 凸版印刷株式会社
Abstract: 金属板的表面上的长边方向的长度为表面距离(L)，金属板的宽度方向(DW)的各位置处的表面距离(L)中的最小值为最小表面距离(Lm)，金属板的宽度方向的各位置处的表面距离(L)与最小表面距离(Lm)之间的差分相对于最小表面距离(Lm)的比率为伸长差率，金属板的宽度方向(DW)的中央部的伸长差率为3×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部的伸长差率为15×10‑5以下，金属板的宽度方向(DW)的两个端部中的至少一方的伸长差率小于金属板的宽度方向的中央部的伸长差率。
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