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公开(公告)号：CN102650037A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201210141224.5
申请日：2012-05-09
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: C23C14/08 , C23C14/34 , C04B35/36 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种Mn-Co-Ni-O薄膜材料磁控溅射靶材制作方法，主要包括以下步骤：(1)称量锰、钴、镍的醋酸盐粉末。(2)使用醋酸的水溶液将粉体溶解，制备出前驱体溶液。(3)对前驱体溶液进行负压抽滤，滤除其中的少量杂质沉淀。将溶液使装入蒸发皿中，烘干，获得干燥的醋酸盐凝块。(4)将醋酸盐凝块捣碎，使用高温烘箱进行烘烧-研磨-烘烧-球磨过程，得到粒径较小、没有残余有机物的锰氧化物粉末。(5)取适量锰氧化物粉末。加入聚乙烯醇溶液，造粒。放入模具中，压制素胚。(6)分段脱胶，除去素胚中的聚乙烯醇。(7)高温烧结。切割，打磨，抛光，得到所需溅射靶材。
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公开(公告)号：CN100443631C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200610030144.7
申请日：2006-08-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种湿化学法制备锰钴镍(MnCoNi)薄膜材料的新型方法，完全改变了传统的制备工艺。此方法可以在较低温度下制备出大面积均匀、稳定的MnCoNi薄膜热敏材料，并可以与硅工艺兼容，突破传统陶瓷器件的局限性，以满足当代航空航天技术对该类器件的要求。
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公开(公告)号：CN1274080A
公开(公告)日：2000-11-22
申请号：CN99113698.5
申请日：1999-05-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/447
Abstract: 一种单色仪分光红外椭圆偏振光谱仪,包括沿着光源发射的测量光束c前进方向上,依次置有聚光镜,调制盘,作为分光元件的红外单色仪,光束准直元件,由固定和旋转两起偏器构成相对待测样品为入射光臂的起偏器。待测样品被吸附在垂直于水平方向装在置于转台上的调节样品架上的样品吸附板上。检偏器与探测器构成相对于待测样品的带步进马达的出射光臂。探测器的输出通过前置和锁向两放大器与计算机相联。红外椭偏光谱测量准确到10－3量级。
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公开(公告)号：CN1232962A
公开(公告)日：1999-10-27
申请号：CN99113591.1
申请日：1999-03-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/20
Abstract: 一种低温背景限红外探测器,包含由外壳体和内胆构成中间夹有真空夹层的杜瓦瓶。内胆的内腔里装有液氮。内胆的下部置有热沉,热沉在真空夹层内的一端上置有光敏元,与光敏元对着的外壳体上的窗口与光敏元之间置有冷屏、光阑和带有微型电机的调制盘。本发明的调制系统和冷屏、光阑与光敏元三位一体均置于真空夹层内处于液氮低温下,增强了屏蔽,降低了周围背景辐射,即降低了噪声,提高了信号输出,提高了探测器的性能。
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公开(公告)号：CN117490852A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210874513.X
申请日：2022-07-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种宽波段红外探测器及其制备方法。本发明在硅衬底上依次构筑介质微桥，镍酸镧导电氧化物底电极，锰钴镍氧金字塔结构表面探测元，锰钴镍氧补偿元，NiCr顶电极和补偿元顶电极，实现了宽波段红外探测。本发明器件设计大大减少了敏感元与空气界面的红外反射损失；结合镍铬吸收层顶电极与镍酸镧吸收层底电极，实现了器件光敏元对0.3‑30μm的宽波段的近完美吸收(90％以上)。本发明有效提高了锰钴镍氧器件宽波段光吸收效率，并可应用于阵列探测器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110617882B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201910850391.9
申请日：2019-09-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于相变材料的感温型太赫兹探测器及制备方法，所述探测器由氧化铝衬底，锑化铟敏感元，二氧化钒光栅结构层，半波天线和器件管座组成。本发明制备的感温型太赫兹探测器，在传统的金属‑半导体‑金属结构基础上，通过引入二氧化钒光栅结构层，利用二氧化钒在环境温度为68℃的相变转换特性，引起光栅结构层的电导率剧烈的变化，进而使整个器件的局域等离子体激元引起的场增强效应不同，达到一种太赫兹波探测的调制目的；在实现了0.01‑3THz的宽波段快速、高灵敏响应的同时，增加了对环境温度感知的新功能。这对于优化器件结构设计和完善器件功能都有着十分重要的意义，在科学和技术等领域将会发挥着重要作用。
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公开(公告)号：CN106374323B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201611055844.1
申请日：2016-11-25
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明公开一种激光上转化太赫兹差频源探测系统，该系统基于非线性光学激光上转化的原理，在非线性晶体中对目前已有的太赫兹脉冲差频信号进行上转化探测，依据高灵敏度近红外探测器以及窄带滤光片技术，实现太赫兹的近红外光探测，最终实现太赫兹波的室温高速实时探测。该系统，解决目前太赫兹差频源低温探测局限，具有测量速度快，室温探测，体积小，结构紧凑，信噪比高等优点，便于进行实时脉冲信号探测。
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公开(公告)号：CN114039201A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111324626.4
申请日：2021-11-10
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种分形蝶形太赫兹天线。所述的天线通过类似鱼骨结构一样的天线臂对所捕获的电磁波进行有效的辐射，已达到更好的耦合光波能量。在天线的尖端部位，采用了锥形汇聚沟道，使天线的反射能量得到二次耦合的机会。本发明结构中，采用了引流‑分流‑再汇聚的结构特点。当电磁波初步到达天线表面的时候，第一次通过梯形的天线尾引如第一波能量；当电磁能量进入天线内部的时候，在通过两侧的鱼骨通道分流，增加电流的流通路径；最终通过尖端汇聚到敏感源上。这一发明对于提升太赫兹探测器的探测率和目标识别准确率上有着重要意义，可以提升探测器在太赫兹领域的更高工作频段。
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公开(公告)号：CN112834053A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110100806.8
申请日：2021-01-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种柔性宽波段非制冷红外探测器及其制备方法。器件先采用硅片作为衬底，在其上生长水溶性牺牲层，最后通过在水中溶解牺牲层的剥离工艺去除硬质硅片衬底，剥离后的硅片可重复使用，制备成本低。器件本身是一种自支撑结构，热容量小，有利于提高器件响应速度。器件选用具有宽波段响应特性的锰钴镍氧热敏电阻薄膜作为红外吸收层，不含传统的微桥制备工艺，不会形成响应波段较窄的谐振腔结构，工艺简单易操作，可实现宽波段探测。器件柔韧性好，质量轻，防震性能高，易于转移到柔性读出电路上，应用于柔性可穿戴感知等智能化电子系统中。本发明器件及其制备方法工艺成熟，与标准硅集成电路工艺兼容，适用于单元、线列及面阵红外探测器。
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公开(公告)号：CN110672211A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910856628.4
申请日：2019-09-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种纳米金修饰的非制冷红外探测器及制作方法。通过在氮化硅微桥衬底上依次制备镍铬薄膜底电极，纳米金修饰的锰钴镍氧薄膜，单层石墨烯薄膜顶电极，实现多波段响应的非制冷红外探测。该红外探测器响应波段为0.3-2μm，3-5μm和8-14μm。其中0.3-2μm响应来自锰钴镍材料的吸收，3-5μm的响应来自于3-5μm减反谐振腔及纳米金颗粒吸收，而8-14μm波段吸收来自NiCr下电极。顶底电极结构可使锰钴镍氧探测器相比传统器件电阻减小3个数量级，器件噪声比较传统平面型器件降低1-2个数量级，易于集成。
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