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公开(公告)号:CN108699667A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201780011768.0
申请日:2017-02-14
CPC classification number: C25D17/10 , C22C29/08 , C23C4/06 , C23C4/067 , C23C4/073 , C23C4/10 , C23C4/123 , C23C4/129 , C23C4/134 , C25D5/04 , C25D7/06 , Y10T428/12014 , Y10T428/12028 , Y10T428/12146
Abstract: 本发明提供一种能够制作兼具高耐磨损性和对pH小于1的强酸的高耐腐蚀性的金属陶瓷被膜的金属陶瓷粉末。本发明的金属陶瓷粉末的特征在于含有40质量%以上的碳化钨粒子、10~40质量%的碳化钼粒子和作为基质金属的Ni或Ni合金,进一步含有8质量%以上的铬作为碳化物或所述基质金属中所含的金属或合金元素。
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公开(公告)号:CN107849677A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680042893.3
申请日:2016-06-27
Applicant: 东华隆株式会社
IPC: C23C4/18 , C23C4/12 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供一种表面改性部件的制造方法,该制造方法包括:在基材上形成喷涂覆膜的工序;对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序;以及对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。
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公开(公告)号:CN104080940A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201380007657.4
申请日:2013-01-16
Applicant: 东华隆株式会社
CPC classification number: C23C14/48 , C23C4/04 , C23C4/18 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的目的是得到一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件,其耐卤素腐蚀性、耐等离子侵蚀性等优异,其上还显示有文字、数字、图形、图案、或是公司名称、制造编号等的识别记号等。在本发明中,通过向基材表面所形成的白色氟化物喷涂覆膜中注入从含F气体、氧气及不活泼气体中选出的任意一种以上注入气体的离子,从而使该白色氟化物喷涂覆膜表面的至少一部分变成黑色,形成黑色的离子注入层。
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公开(公告)号:CN103959447A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280059884.7
申请日:2012-12-04
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 东华隆株式会社
IPC: H01L21/3065 , C23C4/04 , H05H1/46
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32477 , H01J37/32495
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置(10),其特征在于,包括:能够减压的处理容器(12);兼作在处理容器内载置晶片(W)的载置台(20)的下部电极;以与下部电极相对的方式配置的上部电极或天线电极;向处理容器内导入包含含卤气体和氧气的气体的气体供给源(32);对上部电极、天线电极和下部电极中的至少任一个电极施加等离子体生成用的高频电力的高频电力源(18);和利用等离子体生成用的高频电力使上述气体等离子体化,利用等离子体的作用对载置台上的晶片进行等离子体处理的单元,处理容器内的暴露于等离子体的面中,至少位于比晶片的载置位置更靠上部电极侧、天线电极侧或下部电极侧的高度的面的一部分或全部由氟化化合物覆盖。
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公开(公告)号:CN101878316A
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200880118211.8
申请日:2008-11-28
CPC classification number: C23C4/06 , C21D9/563 , C22C19/05 , C22C19/07 , C22C29/02 , C23C4/18 , F27B9/2407 , F27B9/2469
Abstract: 本发明提供可抑制向炉底辊表面的积瘤的发生、并可在连续退火炉内的高温环境下长时间稳定地使用的连续退火炉用炉底辊及其制造方法。该连续退火炉用炉底辊在表面具有含有50~90体积%的陶瓷和其余量的耐热合金的金属陶瓷皮膜,上述陶瓷含有多于50体积%且在90体积%以下的Cr3C2、1~40体积%的Al2O3、0~3体积%的Y2O3和0~40体积%的ZrB2,剩余部分由不可避免的杂质和气孔构成;上述耐热合金含有5~20质量%的Cr、5~20质量%的Al和0.1~6质量%的Y和Si中的任1种或2种,剩余部分由Co和Ni中的任1种或2种、以及不可避免的杂质构成。
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公开(公告)号:CN118974320A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202380030703.6
申请日:2023-03-31
Applicant: 东华隆株式会社
Abstract: [课题]更容易防止异物在钢板的输送用辊表面上的附着。[解决方案]本发明的钢板的输送用辊具有位于输送用辊基材的表面的喷镀覆膜和位于喷镀覆膜的表面的可磨耗覆膜,可磨耗覆膜含有聚硅氧烷以及分散于该聚硅氧烷中的氧化锆颗粒、氮化硼颗粒和胶体颗粒。
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公开(公告)号:CN118043492A
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN202280066605.3
申请日:2022-12-08
Applicant: 东华隆株式会社
IPC: C23C4/11 , C04B35/505 , C23C14/08 , H01L21/3065 , H01L21/31
Abstract: 提供作为等离子体蚀刻装置用构件合适的、耐等离子体性高的含Y2O3的成膜材料及其制造方法。一种成膜材料,其特征在于,其为含有固溶体的成膜材料,所述固溶体包含Y2O3、和仅含有ZrO2、HfO2或Nb2O5的金属氧化物,在前述金属氧化物为ZrO2的情况下,ZrO2的含量为2~12摩尔%,前述金属氧化物为HfO2的情况下,HfO2的含量为4~24摩尔%,在前述金属氧化物为Nb2O5的情况下,Nb2O5的含量为1~8摩尔%,并且,该固溶体的晶体结构具有Y2O3的正六面体晶体结构。
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公开(公告)号:CN110857460A
公开(公告)日:2020-03-03
申请号:CN201910618656.2
申请日:2019-07-10
Applicant: 丰田自动车东日本株式会社 , 丰田自动车株式会社 , 东华隆株式会社
Abstract: 提供一种在包含Mo的润滑油环境下能够提高摩擦特性的滑动构件及其制造方法。滑动构件(10)中,滑动部(11)由金属材料构成,在滑动部(11)的表层部具有包含Ti的喷镀膜(12),该喷镀膜(12)通过将在组成上包含Ti的金属材料作为喷镀材料进行喷镀而形成。滑动构件(10)是在包含Mo作为添加剂的润滑油环境下进行滑动的构件,因滑动而在表面露出的活性的Ti促进润滑油中包含的添加剂的分解反应,在滑动部(11)的表面形成低摩擦的包含二硫化钼的低摩擦覆膜。
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公开(公告)号:CN110062815A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201780069554.9
申请日:2017-10-27
Applicant: 荏原环境工程株式会社 , 东华隆株式会社
Abstract: 本发明涉及一般废弃物焚烧炉锅炉等的锅炉水管(传热管)的长寿命化。废弃物焚烧炉的锅炉水管的基材表面利用喷镀覆膜进行了被覆。喷镀覆膜由扁平状的金属粒子堆叠而构成,且具有Ni(镍)以填充该金属粒子的空隙的方式浓缩而成的组织。
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公开(公告)号:CN105324341B
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:CN201480034557.5
申请日:2014-06-13
CPC classification number: C23C4/10 , C03B35/181 , C23C4/18
Abstract: 在金属制的辊母材表面由陶瓷热喷涂膜覆盖的、经常在高温下使用的玻璃运送用辊中,进一步抑制从该陶瓷热喷涂膜的粒子脱落及该陶瓷热喷涂膜自身的剥离。一种玻璃运送用辊,其为金属制的辊母材表面由陶瓷热喷涂膜覆盖的玻璃运送用辊,其特征在于,将500~750℃的温度范围内的所述辊母材的线性热膨胀系数设为αs、将500~750℃的温度范围内的所述陶瓷热喷涂膜的线性热膨胀系数设为αc时,αs‑αc≤2×10‑6/℃,且8×10‑6/℃≤αc≤14×10‑6/℃;所述陶瓷热喷涂膜的从常温至750℃的由热膨胀引起的伸长率为0.6%~1.05%;所述陶瓷热喷涂膜的厚度为100μm~500μm;所述陶瓷热喷涂膜的利用截面图像分析法得到的孔隙率为2%以下。
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