表面改性部件的制造方法
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107849677A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680042893.3

    申请日:2016-06-27

    Abstract: 本发明提供一种表面改性部件的制造方法,该制造方法包括:在基材上形成喷涂覆膜的工序;对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分基材熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序;在最新形成的改性层上形成喷涂覆膜的工序;以及对喷涂覆膜的表面照射高能束,使厚度方向上的整个喷涂覆膜和一部分最新形成的改性层熔融、凝固,形成致密化的改性层的工序。

    适于等离子体蚀刻装置用构件等的成膜材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN118043492A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202280066605.3

    申请日:2022-12-08

    Abstract: 提供作为等离子体蚀刻装置用构件合适的、耐等离子体性高的含Y2O3的成膜材料及其制造方法。一种成膜材料,其特征在于,其为含有固溶体的成膜材料,所述固溶体包含Y2O3、和仅含有ZrO2、HfO2或Nb2O5的金属氧化物,在前述金属氧化物为ZrO2的情况下,ZrO2的含量为2~12摩尔%,前述金属氧化物为HfO2的情况下,HfO2的含量为4~24摩尔%,在前述金属氧化物为Nb2O5的情况下,Nb2O5的含量为1~8摩尔%,并且,该固溶体的晶体结构具有Y2O3的正六面体晶体结构。

    滑动构件及其制造方法
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110857460A

    公开(公告)日:2020-03-03

    申请号:CN201910618656.2

    申请日:2019-07-10

    Abstract: 提供一种在包含Mo的润滑油环境下能够提高摩擦特性的滑动构件及其制造方法。滑动构件(10)中,滑动部(11)由金属材料构成,在滑动部(11)的表层部具有包含Ti的喷镀膜(12),该喷镀膜(12)通过将在组成上包含Ti的金属材料作为喷镀材料进行喷镀而形成。滑动构件(10)是在包含Mo作为添加剂的润滑油环境下进行滑动的构件,因滑动而在表面露出的活性的Ti促进润滑油中包含的添加剂的分解反应,在滑动部(11)的表面形成低摩擦的包含二硫化钼的低摩擦覆膜。

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