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公开(公告)号：CN1241264C
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN03159897.8
申请日：2003-09-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L27/04 , H01L21/822 , H01G4/33
CPC classification number: H01L23/5223 , H01L21/76807 , H01L21/76838 , H01L28/40 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及半导体装置及其制造方法，在具有MIM电容的半导体装置中形成高容量高可靠性的MIM电容。本发明的半导体装置备有设置在半导体基片(101)上的层间绝缘膜(204)和埋入上述层间绝缘膜(204)，与上述半导体基片(101)导通的配线(208a)、(208c)，MIM电容(201)具有由金属构成的第1和第2电极(208b)、(214b)和由电介质构成的电容绝缘膜(210)，上述第1电极(208b)埋入上述层间绝缘膜(204)中，上述电容绝缘膜(210)设置在上述第1电极(208b)上，上述第2电极(214b)是通过上述电容绝缘膜(210)与上述第1电极(208b)对置设置的金属层。
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公开(公告)号：CN1595635A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410076847.4
申请日：2004-09-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/76843 , H01L21/76801 , H01L21/76816 , H01L21/76832 , H01L21/76834 , H01L21/76865 , H01L21/76877 , H01L21/76886 , H01L23/5283 , H01L23/53238 , H01L23/53295 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 提供一种半导体装置，具备设在基板(10)上的下层层间绝缘膜(11)、由沿着下层层间绝缘膜(11)的下层布线槽(13)的壁面形成的下层阻挡金属层(14)以及铜膜(15)构成的下层布线(16)、上层插头(22a)以及上层布线(22b)。上层插头(22a)贯通硅氮化膜(24)和下层布线(16)的铜膜(15)接触。下层布线(16)中设有埋入下层布线槽(13)的凹部(13a)中的多个凸部(16a)。由于在凸部(16a)中下层布线(16)中的空隙也被吸气，因此能缓和下层布线(16)与上层插头(22a)接触的部分中空隙的集中，并且抑制接触电阻的增大。这样，能够抑制在布线和其上方的插头的接触部分中因布线中的空隙被集中性吸气而导致的接触电阻增大。
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公开(公告)号：CN1577932A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410070895.2
申请日：2004-07-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01M8/00
CPC classification number: H01M8/04052 , F24D17/001 , F24D19/1051 , F24D2200/19 , F24D2220/042 , F24D2240/26 , H01M8/04029 , H01M8/04037 , H01M8/04059 , H01M8/04358 , H01M8/04373 , H01M8/04425 , H01M8/04723 , H01M8/04738 , H01M8/04955 , H01M2250/405 , Y02B90/16 , Y02P80/15
Abstract: 本发明的燃料电池发电及废热供暖系统具有：燃料电池；使内部热输送媒体循环从而使燃料电池和内部热输送媒体进行热交换的冷却系统；加热内部热输送媒体的内部热输送媒体加热器；利用者可利用地贮存外部热输送媒体的热利用部分；通过热利用部分使该外部热输送媒体循环，从而使冷却系统的内部热输送媒体与外部热输送媒体热交换的废热利用系统；检测热利用部分的残存热量的残存热量检测装置；以及控制装置。控制装置判定燃料电池起动时检测出的热利用部分的残存热量，是否超过作为使燃料电池外温至运转温度所必要的热量的燃料电池升温热量以上的某个阈值热量；根据该判定结果，决定通过热交换将热利用部分的残存热量传递给内部热输送媒体，使燃料电池升温的第一升温动作；和利用内部热输送媒体加热器，加热内部热输送媒体，使燃料电池升温的第二升温动作的分配；利用该第一升温动作或该第二升温动作，使燃料电池升温至运转温度。
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公开(公告)号：CN1447470A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03121369.3
申请日：2003-03-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01M8/04
CPC classification number: H01M8/0612 , C01B3/32 , C01B2203/0205 , C01B2203/066 , C01B2203/1614 , C01B2203/1619 , H01M8/04029
Abstract: 本发明提供了一种可降低防冻运转的相关运转成本或原始成本的燃料电池系统。它具有：用含氢的改性气体对原料进行改性的改性器(1)；将原料供给到改性器(1)的原料供给装置(2)；为实现所述改性，加热改性器(1)的加热装置(3)；使由改性器(1)供给的改性气体与氧化剂气体发生反应进行发电的燃料电池(4)；检测预定部位温度的温度检测装置(18)，作为第1防冻运转模式，当温度检测装置(18)检测出阈值以下的温度时，在改性器(1)中，使经过加热装置(3)加热的原料在改性气体的流通路径(5)，(4)，(8)，(3)中流动。
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公开(公告)号：CN1437281A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN03104309.7
申请日：2003-01-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01M8/04089 , H01M8/0606 , H01M16/003 , Y02P90/40
Abstract: 本发明的目的是提高将燃料电池和蓄电池构成的发电系统的经济效率、响应性和耐用性。该燃料电池系统包括燃料电池100、至少包含水作为电解液的蓄电池200、储存产生自蓄电池的氢气的氢气箱215和把氢气箱215中的氢气输送到燃料电池100中的氢气管220，在所述燃料电池100中是向正电极供应含氧的氮化剂气体，向负电极供应含氢气的燃料气来进行发电的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1428843A
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN02156991.6
申请日：2002-12-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L21/3205
CPC classification number: H01L21/76832 , H01L21/02074 , H01L21/31053 , H01L21/3212 , H01L21/76801 , H01L21/76807 , H01L21/7684 , Y10S438/906
Abstract: 本发明为一种布线结构的形成方法，在形成在基板(100)上的FSG膜(109)及ARL膜(110)上形成多个布线用沟槽(111)，然后，在ARL膜(110)上依次堆积能够将各布线用沟槽(111)完全掩埋的屏障金属膜(氮化钽膜(112))与布线用导电膜(铜膜(113)及(114))。其后，在通过研磨除去了各布线用沟槽(111)外侧的铜膜(113)及(114)之后，再通过研磨，除去各布线用沟槽(111)外侧的氮化钽膜(112)。之后，在除去了在研磨时基板(100)上粘附的异物之后，使用与在铜膜(113)及(114)的研磨工序中所使用的相同种类的研磨剂对ARL膜(110)的表面进行研磨。从而可防止在绝缘膜以及绝缘膜上的ARL膜中埋入的布线之间的短路。
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公开(公告)号：CN1428842A
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN02156990.8
申请日：2002-12-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L21/3205
CPC classification number: H01L21/76832 , H01L21/02074 , H01L21/31053 , H01L21/31144 , H01L21/3212 , H01L21/76807 , H01L21/7684 , Y10S438/906 , Y10S438/952 , Y10S438/959
Abstract: 本发明为一种布线结构的形成方法，在形成在基板(100)上的FSG膜(109)及ARL膜(110)上形成多个布线用沟槽(111)，然后，在ARL膜(110)上依次堆积能够将各布线用沟槽(111)完全掩埋的屏障金属膜(氮化钽膜(112))与布线用导电膜(铜膜(113)及(114))。其后，在通过研磨除去了各布线用沟槽(111)外侧的铜膜(113)及(114)之后，再通过研磨，除去各布线用沟槽(111)外侧的氮化钽膜(112)。之后，在除去了在研磨时基板(100)上粘附的异物之后，对ARL膜(110)的表面进行研磨。从而可防止在绝缘膜以及绝缘膜上的ARL膜中埋入的布线之间的短路。
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公开(公告)号：CN1428841A
公开(公告)日：2003-07-09
申请号：CN02156986.X
申请日：2002-12-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L21/3205
CPC classification number: H01L23/53238 , H01L21/02074 , H01L21/31053 , H01L21/3212 , H01L21/7684 , H01L23/5226 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明为一种布线结构的形成方法，在形成在基板(100)上的FSG膜(109)上形成多个布线用沟槽(110)，然后在FSG膜(109)上依次堆积能够将各布线用沟槽110完全掩埋的屏障金属膜(氮化钽膜(111))及布线用导电膜(铜膜(112)及(113))。其后，在通过研磨去除了各布线用沟槽(110)外侧的铜膜(112、113)之后，再研磨去除各布线用沟槽(110)外侧的氮化钽膜(111)。然后，在去除了研磨时基板(100)上粘附的异物之后，对FSG膜(109)的表面进行研磨。通过本发明的布线结构形成方法可防止在绝缘膜上埋入的相邻布线之间的短路。
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公开(公告)号：CN1409428A
公开(公告)日：2003-04-09
申请号：CN02143214.7
申请日：2002-09-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01M8/04
CPC classification number: B60L11/1898 , B60L11/1885 , B60L11/1894 , B60L2240/36 , H01M8/04022 , H01M8/04223 , H01M8/0612 , Y02T90/34
Abstract: 一种燃料电池发电系统，包括：重整炉，通过从原料气体供应装置所提供的原料气体中产生富氢气体；燃料电池，在其中引起在所述重整炉中产生的富氢气体和氧化剂气体彼此反应以产生电功率；惰性气体供应装置，将特定惰性气体至少供应给所述重整炉；以及替代气体供应装置，将除所述特定惰性气体外的替代气体至少提供给所述重整炉，其中当所述燃料电池操作停止时，如果所述燃料电池操作停止是普通的停止，就使用所述替代气体供应装置来排放至少留在所述重整炉中的富氢气体，并且如果所述燃料电池操作停止是紧急停止，就使用所述惰性气体供应装置执行所述排放。
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公开(公告)号：CN1404636A
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN01805303.3
申请日：2001-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01M8/04164 , H01M8/04029 , H01M8/04044 , H01M8/04052 , H01M8/0606 , H01M2250/405 , Y02B90/16
Abstract: 本发明揭示一种燃料电池系统及其运转方法，包括固体高分子型燃料电池11，冷却水罐12，冷却水路径13，冷却水泵14，热交换器15，将燃料电池11排出的排放燃料气体和排放氧化剂气体冷却并使所含的水蒸汽冷凝的燃料侧冷凝器16和空气侧冷凝器17，贮存用燃料侧冷凝器16和空气侧冷凝器17冷凝的水的冷凝水罐18，设置将冷凝水送往冷却水罐12的供水泵19的供水路径20，以及从冷却水罐12排水的排水路径21。能避免冷却水路径的压力变动，延长用于维持冷却水水质的离子交换树膜的寿命，以低成本降低辅机消耗功率。
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