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公开(公告)号：CN115144122B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202211062963.5
申请日：2022-08-31
Applicant: 南京元感微电子有限公司
Abstract: 本发明涉及压力传感器技术领域，公开一种多层结构的耐高温压力传感器及其加工方法。其中加工方法包括：在SOI衬底的第一表面上形成接触的压力敏感电阻和电连接层；在第一表面、压力敏感电阻及电连接层上形成绝缘层；在绝缘层上形成硅键合层；在SOI衬底的第二表面上形成压力腔，正对压力腔的区域形成感压膜片；在第二表面上阳极键合第一玻璃层，第一玻璃层上设有压力孔；在硅键合层上阳极键合第二玻璃层，第二玻璃层与硅键合层及绝缘层形成真空腔；在第二玻璃层上形成导电组件。本发明提供的多层结构的耐高温压力传感器的加工方法工艺简单，加工而成的体积较小的压力传感器适用于恶劣环境，增加了压力传感器的适用范围。
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公开(公告)号：CN115207207A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202211113640.4
申请日：2022-09-14
Applicant: 深圳市柯雷科技开发有限公司 , 大连理工大学
IPC: H01L41/47 , H01L41/20 , H01L29/20 , H01L29/205 , H01L27/20 , G01L9/16 , G01L9/04 , G01L9/00 , G01L1/22 , G01L1/12
Abstract: 氮化物和磁致伸缩材料复合结构压力传感器制作方法，属于半导体传感器领域。技术方案：S1、衬底准备；S2、外延生长；S3、台面隔离；S4、栅极刻蚀；S5、源、漏极欧姆接触制作；S6、介质层沉积；S7、制备栅电极；S8、钝化层沉积与开启电极窗口。有益效果：本发明所述的基于复合氮化物和磁致伸缩材料结构的高灵敏度压力传感器制作方法能制作出压力灵敏度高，体积小、集成度高、量程大、响应速度快的高灵敏度压力传感器，继而还可以制作传感器阵列，实现二维或者三维压力传感，未来有望应用于医疗血压、石化、工业电子称重、江河水位监测等领域。
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公开(公告)号：CN115144122A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202211062963.5
申请日：2022-08-31
Applicant: 南京元感微电子有限公司
Abstract: 本发明涉及压力传感器技术领域，公开一种多层结构的耐高温压力传感器及其加工方法。其中加工方法包括：在SOI衬底的第一表面上形成接触的压力敏感电阻和电连接层；在第一表面、压力敏感电阻及电连接层上形成绝缘层；在绝缘层上形成硅键合层；在SOI衬底的第二表面上形成压力腔，正对压力腔的区域形成感压膜片；在第二表面上阳极键合第一玻璃层，第一玻璃层上设有压力孔；在硅键合层上阳极键合第二玻璃层，第二玻璃层与硅键合层及绝缘层形成真空腔；在第二玻璃层上形成导电组件。本发明提供的多层结构的耐高温压力传感器的加工方法工艺简单，加工而成的体积较小的压力传感器适用于恶劣环境，增加了压力传感器的适用范围。
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公开(公告)号：CN113514431B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202110368297.7
申请日：2021-04-06
Applicant: 中国农业大学
Abstract: 本发明提供一种溶解氧测量方法及装置，包括：测量模块，用于测量待测水体中的溶解氧浓度电压信号；信号调理模块，用于对溶解氧浓度电压信号进行放大处理；数据处理模块，用于根据接收到信号调理模块发送的放大后的溶解氧浓度电压信号并确定待测水体中的溶解氧浓度；其中，溶解氧浓度电压信号包括铂电压信号和钌电压信号。本发明利用测量模块获得待测水体的溶解氧浓度电压信号，并对得到的溶解氧浓度电压信号进行放大处理后发送给数据处理模块，使得数据处理模块对放大后的溶解氧浓度电压信号进行周期性分组以及最佳比例计算以确定所述待测水体中的溶解氧浓度，从而实现对待测水体溶解氧浓度的快速测量。
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公开(公告)号：CN111855029B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202010723154.9
申请日：2020-07-24
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
Inventor： 梁魁
Abstract: 本发明提供一种柔性压力传感器及其制备方法、电子装置。柔性压力传感器包括相对设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置第一介电层和第二介电层，且第二介电层位于第一介电层和第二电极之间，第一介电层和第二介电层弹性模量不同；第一介电层和第二介电层中至少二者之一的内部具有镂空结构。该柔性压力传感器能够兼顾高灵敏度及大量程的优点。该柔性压力传感器可以通过一模板来制备介电层中的镂空结构，制备方法简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115046725A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202210737972.3
申请日：2022-06-28
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心高速空气动力研究所
Abstract: 本发明属于风洞试验技术领域，公开了一种微小量俯仰力矩测量装置及其测量方法。该测量装置包括五分量天平和单分量Mz天平；五分量天平为杆式天平，单分量Mz天平为环式天平；五分量天平外套装有天平连接架，单分量Mz天平通过天平连接架固定；单分量Mz天平外套装有试验模型连接架，试验模型连接架固定在试验模型的底面；隔热套封闭并保护五分量天平和单分量Mz天平。该测量装置通过五分量天平测量升力Y、轴向力X、侧力Z、偏航力矩My和滚转力矩Mx。利用深沟球轴承实现试验模型在俯仰方向的微小摩擦自由状态，同时传递作用在试验模型上五分量天平测量的气动力和气动力矩；通过单分量Mz天平测量微小量俯仰力矩。该测量方法简单可靠，易于实施。
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公开(公告)号：CN114659683A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210294714.2
申请日：2022-03-24
Applicant: 安徽智敏电气技术有限公司
Abstract: 本发明涉及传感器技术领域，具体是涉及一种扭压两用传感器及其装配方法，位于第一壳体的内部沿着第一壳体的轴向设有联接轴，联接轴的外壁固定设有应变桥，负载轴的一端与联接轴嵌合连接，并通过负载轴端部的齿纹与联接轴啮合，负载轴靠近联接轴的一端套设有限位套环，负载轴远离联接轴的一侧位于负载轴的外壁套设有用于检测限位套环压力的第一压力传感组件；第一压力传感组件与第二压力传感组件便于对传感器内部多处的纵向压力进行有效的检测，应变桥通过滑环结构与外界保持电性连接，便于检测联接轴转动过程中所受到的扭力，便于传感器同时进行扭力与压力检测，提升传感器的应用场景。
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公开(公告)号：CN114659681A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210116869.7
申请日：2022-02-07
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高温力传感器，涉及传感器技术领域，包括弹性体、薄膜敏感组件和测温组件；所述弹性体中间段呈方形柱状，所述薄膜敏感组件设置有四组，分别安装于弹性体中间段的四个面上；所述壳体固定套接于弹性体上，所述薄膜敏感组件位于壳体内；所述测温组件安装于弹性体内；所述薄膜敏感组件包括由内向外的过渡层、绝缘膜、应变电阻膜和钝化保护膜。本发明还公开了高温力传感器的生产方法。本发明在高温力传感器的基础上，集成了测温功能，实现了力和温度的一体化测量；由于沉积了高温敏感层，利用了恒弹合金和钯电阻合金的高温稳定效应，因此本发明力传感器的温度灵敏度精度提高了一个数量级，相应的提高了传感器的精度。
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公开(公告)号：CN114486015A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210098817.1
申请日：2022-01-27
Applicant: 济南优咪网络科技有限公司
Abstract: 本发明属于压力传感器技术领域，公开了一种高宽容度柔性薄膜压力传感器，包括上电极，和下电极，所述下电极位于上电极的下方，且下电极与上电极之间设置有压感油墨层，所述下电极位于上电极之间靠近压感油墨层的一侧安装有弹性调节结构，还公开了一种高宽容度柔性薄膜压力传感器制作工艺，本发明可以实现在不同压强作用下电阻发生变化，通过碳黑，碳纳米管，石墨烯不同形态的碳材料构建立体到点网络，真正做到点、线、面结合优化，通过调节碳材料含量可以调节电阻值，调节树脂种类以及含量和固化剂用量可以调节压感范围，可以适用于较大的动态范围，可以检测较小的压力变化，可以适应不同应用场景。
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