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公开(公告)号：CN119731367A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202380062783.3
申请日：2023-08-09
IPC: C23C14/34 , C04B35/495 , H10N30/076 , H10N30/097 , H10N30/853
Abstract: 本发明提供一种溅射靶材，其由包含钾、钠、铌以及氧的氧化物的烧结体构成，密度为4.2g/cm3以下，维氏硬度为30以上且200以下，在溅射面观察到的多个晶粒的面积平均粒径为3.0μm以上。
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公开(公告)号：CN112638791A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980056277.7
申请日：2019-09-11
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，并且能够在保持使圆筒状溅射靶横卧的状态的情况下容易地打开包装。本发明涉及下述捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN112638791B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN201980056277.7
申请日：2019-09-11
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，并且能够在保持使圆筒状溅射靶横卧的状态的情况下容易地打开包装。本发明涉及下述捆包体的制造方法，其是圆筒状溅射靶被片状缓冲材料捆包而成的捆包体的制造方法，其中，将圆筒状溅射靶的圆筒部用至少2层片状缓冲材料覆盖，在该圆筒状溅射靶的圆筒部的包含周向的截面中，使片状缓冲材料的两端部以该圆筒部的圆周的二分之一以下的长度叠合、或者使片状缓冲材料的两端部对接，由此进行捆包。
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公开(公告)号：CN105934533A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005170.1
申请日：2015-01-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L21/285
CPC classification number: H01J37/3423 , C23C14/3407 , H01J37/3414 , H01J37/3426 , H01J2237/332
Abstract: 本发明的目的在于实现溅射靶的长寿命化与在此期间形成在基板上的薄膜的膜厚均匀性的兼顾，并提供一种溅射靶，其为包含靶材的溅射靶，其特征在于，所述靶材在其溅射面具有位于中央的圆形的平坦的第一区域和在所述第一区域的外侧与所述第一区域呈同心圆状地配置的环状的第二区域，所述第一区域配置在比所述第二区域以最大计低所述第二区域的厚度的15％的位置，所述第一区域的直径为所述溅射面的外周的直径的60％～80％。
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公开(公告)号：CN105934533B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201580005170.1
申请日：2015-01-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L21/285
Abstract: 本发明的目的在于实现溅射靶的长寿命化与在此期间形成在基板上的薄膜的膜厚均匀性的兼顾，并提供一种溅射靶，其为包含靶材的溅射靶，其特征在于，所述靶材在其溅射面具有位于中央的圆形的平坦的第一区域和在所述第一区域的外侧与所述第一区域呈同心圆状地配置的环状的第二区域，所述第一区域配置在比所述第二区域以最大计低所述第二区域的厚度的15％的位置，所述第一区域的直径为所述溅射面的外周的直径的60％～80％。
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