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公开(公告)号：CN102543250B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201110408371.X
申请日：2007-03-12
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/00 , C04B35/453 , C04B35/457 , C23C14/34 , C23C14/32
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
Abstract: 本发明涉及一种氧化物烧结体、靶电极、氧化物透明电极的制造方法以及氧化物透明导电膜，提供输入高直流电功率也不会产生电弧和裂缝、作为可发生溅射的靶电极而有用的、实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，和快速形成氧化物透明导电膜的制造方法以及耐化学试剂性优良的氧化物透明导电膜。提供一种氧化物烧结体，是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23～0.50，并且，主要由氧化锌晶体相和锡酸锌化合物晶体相构成，或者由锡酸锌化合物晶体相构成，实质上不含氧化锡晶体相或固溶锌的氧化锡晶体相。
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公开(公告)号：CN101038796B
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN200710079456.1
申请日：2007-03-12
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
Abstract: 本发明提供输入高直流电功率也不会产生电弧和裂缝、作为可发生溅射的靶电极而有用的氧化物烧结体，和快速形成氧化物透明导电膜的制造方法以及耐化学试剂性优良的氧化物透明导电膜。提供一种氧化物烧结体，是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23～0.50，并且，主要由氧化锌相和锡酸锌化合物相构成；并提供一种氧化物烧结体的制造方法，向含有锡酸锌化合物粉末或者氧化锡粉末与氧化锌粉末的混合粉末的原料粉末中混入水系溶剂，将所得的浆液混合15小时以上后，进行固液分离、干燥、制粒，接着，将该制粒物加入到模板中成形，然后，将所得成形物在焙烧氛围气体中于1300～1500℃下烧结15小时以上。
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公开(公告)号：CN100572325C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200510066653.0
申请日：2005-04-26
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C04B35/01
CPC classification number: C23C14/08 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/62625 , C04B35/62655 , C04B35/64 , C04B37/026 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/408 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6584 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/12 , C04B2237/124 , C04B2237/34 , C04B2237/403 , C23C14/3414 , Y10S428/918
Abstract: 本发明在于提供比电阻小、膜内部应力的绝对值小、在可见光区域的透过率高的非晶质透明导电性薄膜，以及用于制造该透明导电性薄膜的氧化物烧结体，以及由此得到的溅射靶材。采用钨以W/In原子数比为0.004～0.023的比例，锌以Zn/In原子数比为0.004～0.100的比例，配制平均粒径为1μm以下的In2O3粉末、WO3粉末、ZnO粉末，混合10～30小时，将得到的粉末造粒成平均粒径为20～150μm，用冷间静液压压力机施加2～5ton/cm2的压力使该造粒粉成形，在以每0.1m3的炉内体积50～250升/分的比例向烧结炉内的大气导入氧气的环境下，于1200～500℃下，将所得到的成形体烧结10～40小时。
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公开(公告)号：CN107615494B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201680032568.9
申请日：2016-05-17
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: H01L31/0224
Abstract: 本发明的课题是提供一种光电转换元件，其是使用工业上有价值的在线式溅射法来使其具有的透明电极能发挥含钛的氧化铟膜具有的直至近红外区的透过率较高且导电性优良的特性。本发明的解決方法是通过在线式溅射法将由氧化铟或以氧化铟为主成分且以Sn/(In+Sn)的原子数比计含有19原子％以下比例的锡的含锡的氧化铟构成的第一氧化物透明导电膜(8)形成在光电转换层(7)侧，并在第一氧化物透明导电膜(8)上将由以氧化铟为主成分且以Ti/(In+Ti)的原子数比计含有0.5原子％～3.5原子％比例的钛的含钛的氧化铟构成的第二氧化物透明导电膜(9)形成在与光电转换层(7)不同的侧。将具有第一氧化物透明导电膜(8)和第二氧化物透明导电膜(9)的本发明的氧化物透明导电层积膜(10)作为光电转换元件的透明电极(12)发挥功能。
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公开(公告)号：CN107615494A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680032568.9
申请日：2016-05-17
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: H01L31/0224
Abstract: 本发明的课题是提供一种光电转换元件，其是使用工业上有价值的在线式溅射法来使其具有的透明电极能发挥含钛的氧化铟膜具有的直至近红外区的透过率较高且导电性优良的特性。本发明的解決方法是通过在线式溅射法将由氧化铟或以氧化铟为主成分且以Sn/(In+Sn)的原子数比计含有19原子％以下比例的锡的含锡的氧化铟构成的第一氧化物透明导电膜(8)形成在光电转换层(7)侧，并在第一氧化物透明导电膜(8)上将由以氧化铟为主成分且以Ti/(In+Ti)的原子数比计含有0.5原子％～3.5原子％比例的钛的含钛的氧化铟构成的第二氧化物透明导电膜(9)形成在与光电转换层(7)不同的侧。将具有第一氧化物透明导电膜(8)和第二氧化物透明导电膜(9)的本发明的氧化物透明导电层积膜(10)作为光电转换元件的透明电极(12)发挥功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102812150A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180014684.5
申请日：2011-02-21
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: C23C14/30 , C01G19/00 , C01P2004/61 , C01P2006/62 , C04B35/01 , C04B35/62625 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/604 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/32
Abstract: 本发明的氧化物蒸镀材料，其特征在于，由以氧化铟为主要成分且以Sn/In原子数比计含有0.001～0.614的锡的氧化物烧结体构成，且CIE1976色度系统中的L*值为54～75。L*值为54～75的上述氧化物蒸镀材料具有最佳氧量，因此，即使向成膜真空槽导入的氧气量少，也可以通过真空蒸镀法制造出低电阻且在可见区具有高透过性的透明导电膜，并且由于氧气的导入量少，可以缩小膜与蒸镀材料之间的组成差，也可减少批量生产时膜组成的变动和特性的变动。
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公开(公告)号：CN102712995A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180007032.9
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
Abstract: 本发明的目的是提供一种蒸镀用氧化物片（氧化物蒸镀材料）、使用该蒸镀用氧化物片制造的蒸镀薄膜以及太阳能电池。上述片由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比（CompS）、烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比（CompA）时，CompS/CompA=0.9～1.1。
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公开(公告)号：CN102712995B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201180007032.9
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: C23C14/08 , C23C14/24 , C04B35/01 , C04B35/64 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749
CPC classification number: H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
Abstract: 本发明的目的是提供一种蒸镀用氧化物片（氧化物蒸镀材料）、使用该蒸镀用氧化物片制造的蒸镀薄膜以及太阳能电池。上述片由烧结体构成，所述烧结体以氧化铟为主要成分且含铈，并且没有进行烧结后的表面研磨加工，其特征在于，在将从烧结体表面到5μm的深度为止的表面层中的铈含量设为Ce/In原子数比（CompS）、烧结体整体中的铈含量的平均值设为Ce/In原子数比（CompA）时，CompS/CompA=0.9～1.1。
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公开(公告)号：CN102543250A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110408371.X
申请日：2007-03-12
Applicant: 住友金属矿山株式会社
IPC: H01B1/08 , H01B5/14 , H01B13/00 , C04B35/453 , C04B35/457 , C23C14/34 , C23C14/32
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
Abstract: 本发明涉及一种氧化物烧结体、靶电极、氧化物透明电极的制造方法以及氧化物透明导电膜，提供输入高直流电功率也不会产生电弧和裂缝、作为可发生溅射的靶电极而有用的、实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，和快速形成氧化物透明导电膜的制造方法以及耐化学试剂性优良的氧化物透明导电膜。提供一种氧化物烧结体，是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23～0.50，并且，主要由氧化锌晶体相和锡酸锌化合物晶体相构成，或者由锡酸锌化合物晶体相构成，实质上不含氧化锡晶体相或固溶锌的氧化锡晶体相。
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公开(公告)号：CN101038796A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710079456.1
申请日：2007-03-12
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
Abstract: 本发明提供输入高直流电功率也不会产生电弧和裂缝、作为可发生溅射的靶电极而有用的氧化物烧结体，和快速形成氧化物透明导电膜的制造方法以及耐化学试剂性优良的氧化物透明导电膜。提供一种氧化物烧结体，是实质上由锌、锡和氧构成的氧化物烧结体，锡以Sn/(Zn+Sn)的原子数比计含有0.23～0.50，并且，主要由氧化锌相和锡酸锌化合物相构成；并提供一种氧化物烧结体的制造方法，向含有锡酸锌化合物粉末或者氧化锡粉末与氧化锌粉末的混合粉末的原料粉末中混入水系溶剂，将所得的浆液混合15小时以上后，进行固液分离、干燥、制粒，接着，将该制粒物加入到模板中成形，然后，将所得成形物在焙烧氛围气体中于1300～1500℃下烧结15小时以上。
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