含有含长链烷基的酚醛清漆的抗蚀剂下层膜形成用组合物

    公开(公告)号:CN108139674B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201680060001.2

    申请日:2016-10-14

    Abstract: 本发明的课题是提供用于通过提高聚合物的热回流性而改善烧成时对图案的填充性、从而在基板上形成平坦化性高的涂膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。作为本发明的解决问题的方法,涉及:抗蚀剂下层膜形成用组合物,包含芳香族化合物(A)与具有结合于碳原子数2~26的烷基的仲碳原子或叔碳原子的甲酰基的醛(B)反应而得的酚醛清漆树脂。酚醛清漆树脂包含下述式(1)所示的结构单元。(式(1)中,A表示由碳原子数6~40的芳香族化合物衍生的二价基团,b1表示碳原子数1~16的烷基,b2表示氢原子或碳原子数1~9的烷基)。A是由包含氨基、羟基、或这两者的芳香族化合物衍生的二价基团。用于半导体的制造的抗蚀剂图案的形成方法,包含将抗蚀剂下层膜形成用组合物涂布在半导体基板上然后烧成从而形成下层膜的工序。

    包含具有长链烷基的环氧基加成体的抗蚀剂下层膜形成用组合物

    公开(公告)号:CN107735729B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201680034828.6

    申请日:2016-06-20

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种用于在基板上形成平坦化性高的涂膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。解决手段为一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含环氧基加成体(C),所述环氧基加成体(C)是通过含环氧基的化合物(A)与环氧基加成体形成性化合物(B)反应而得到的,在所述化合物(A)和所述化合物(B)中的一者或双者中包含可具有支链的碳原子数为3以上的烷基,环氧基加成体形成性化合物(B)为选自羧酸(B1)、羧酸酐(B2)、酚化合物(B3)、含羟基的化合物(B4)、硫醇化合物(B5)、氨基化合物(B6)及酰亚胺化合物(B7)中的至少1种化合物。可具有支链的碳原子数为3以上的烷基包含在环氧基加成体形成性化合物(B)中。可具有支链的碳原子数为3以上的烷基为碳原子数为3~19的烷基。

Patent Agency Ranking