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公开(公告)号:CN101138063A
公开(公告)日:2008-03-05
申请号:CN200680007629.2
申请日:2006-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种PDP(21),其具备形成多个显示电极(4),且以第一电介质层(6)及保护膜(7)覆盖显示电极(4)的前面板(22),和具有沿与显示电极(4)正交的方向形成、并以第二电介质层(基底电介质层(9))覆盖的多个地址电极(10)的背面板(23),其中,保护膜(7)形成为具有粒状的结晶集合而成的结构,结晶的粒径大,且邻接的结晶间的空隙小。
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公开(公告)号:CN100561637C
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200680001400.8
申请日:2006-11-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/20 , C23C14/0021 , C23C14/081 , C23C14/568 , H01J11/10 , H01J11/40
Abstract: 一种等离子显示面板的制造方法。其中的成膜装置具有:在形成有显示电极和电介质层的前面基板(3)的形成有电介质层的面上形成保护膜的蒸镀室(21);在蒸镀室(21)内搬送前面基板(3)的传送部(25);向蒸镀室(21)内导入含H2O的气体的气体导入部(29a、29b);测量比蒸镀室(21)的成膜空间的中央更向所述前面基板(3)的传送方向的下游侧的蒸镀室(21)内的规定的气体的分压的分压检测部(29c);以控制在分压检测部(29c)的气体的分压的方式从气体导入部(29a、29b)导入含H2O的气体。
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公开(公告)号:CN101080797A
公开(公告)日:2007-11-28
申请号:CN200680001400.8
申请日:2006-11-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J9/20 , C23C14/0021 , C23C14/081 , C23C14/568 , H01J11/10 , H01J11/40
Abstract: 一种等离子显示面板的制造方法。其中的成膜装置具有:在形成有显示电极和电介质层的前面基板(3)的形成有电介质层的面上形成保护膜的蒸镀室(21);在蒸镀室(21)内搬送前面基板(3)的传送部(25);向蒸镀室(21)内导入含H2O的气体的气体导入部(29a、29b);测量比蒸镀室(21)的成膜空间的中央更向所述前面基板(3)的传送方向的下游侧的蒸镀室(21)内的规定的气体的分压的分压检测部(29c);以控制在分压检测部(29c)的气体的分压的方式从气体导入部(29a、29b)导入含H2O的气体。
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公开(公告)号:CN102473640A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201180003079.8
申请日:2011-03-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3205 , H01L23/52
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L23/481 , H01L23/525 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L2224/02372 , H01L2224/02375 , H01L2224/02381 , H01L2224/0347 , H01L2224/0401 , H01L2224/05008 , H01L2224/05548 , H01L2224/13021 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01019 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/014
Abstract: 在具有贯通电极(19)的半导体装置及其制造方法中,具有以包围半导体基板(5)的背面的包括贯通电极(19)在内的再配线层(18)周围的方式将配线彼此绝缘的绝缘部形成用的虚设槽孔部(7b),由此,为了将配线间绝缘,仅将存在于绝缘部形成用的虚设槽孔部(7b)的底部的金属层除去即可,能够实现处理时间的缩减。
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公开(公告)号:CN101138063B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200680007629.2
申请日:2006-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明提供一种PDP(21),其具备形成多个显示电极(4),且以第一电介质层(6)及保护膜(7)覆盖显示电极(4)的前面板(22);和具有沿与显示电极(4)正交的方向形成、并以第二电介质层(基底电介质层(9))覆盖的多个地址电极(10)的背面板(23),其中,保护膜(7)形成为具有粒状的结晶集合而成的结构,结晶的粒径大,且邻接的结晶间的空隙小。
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公开(公告)号:CN1551279A
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN200410044792.9
申请日:2004-05-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J11/10 , B05C5/02 , B05C11/10 , H01J9/02 , H01J2209/015
Abstract: 一种流体涂布装置、流体涂布方法以及等离子显示面板,通过在喷出喷嘴侧电极与配置于喷出喷嘴的下游侧的对向电极之间施加电压,并且,使用旋转运动或直线运动的机构对泵室内的流体压力进行增压或减压,而控制涂布流体的弯液面。
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