图案转印方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102736407B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201210038562.6

    申请日:2012-02-17

    CPC classification number: G03F7/0002 B29C37/0067 B29C59/04 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明提供可以使在被转印材料上转印图案得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。本发明的图案转印装置(1A)的特征在于具备:在进行微小凹凸图案的图案转印之前对模(2)或者被转印材料(3)实施规定表面处理的前处理机构(脱模剂供给机构(7));把与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息记录到与所述被转印材料(3)的进行了图案转印的区域有关联的位置上的信息记录机构(12);读取所记录的所述信息的识读机构(13);根据由所述识读机构(13)识读出的所述信息对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料(3)实施规定后处理的后处理机构(14)。

    图案转印装置以及图案转印方法

    公开(公告)号:CN102736407A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210038562.6

    申请日:2012-02-17

    CPC classification number: G03F7/0002 B29C37/0067 B29C59/04 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明提供可以使在被转印材料上转印图案得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。本发明的图案转印装置(1A)的特征在于具备:在进行微小凹凸图案的图案转印之前对模(2)或者被转印材料(3)实施规定表面处理的前处理机构(脱模剂供给机构(7));把与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息记录到与所述被转印材料(3)的进行了图案转印的区域有关联的位置上的信息记录机构(12);读取所记录的所述信息的识读机构(13);根据由所述识读机构(13)识读出的所述信息对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料(3)实施规定后处理的后处理机构(14)。

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