公开(公告)号：CN104253024B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201410063061.2

申请日：2014-02-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  宋炫知 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  洪承希

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  C08G61/02

CPC classification number: G03F7/094 ,  G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置，其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合，以及溶剂。在以下化学式1至3中，A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]

公开(公告)号：CN104253024A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410063061.2

申请日：2014-02-24

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 崔有廷 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  宋炫知 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  洪承希

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  C08G61/02

CPC classification number: G03F7/094 ,  G03F7/09 ,  G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/162 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36 ,  G03F7/40 ,  G03F7/092 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/314 ,  G03F7/00 ,  H01L21/0271

Abstract: 本发明公开了硬掩模组合物、使用其形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路装置，其中该硬掩模组合物包括由以下化学式1表示的单体、包含由以下化学式2表示的部分的聚合物、包含由以下化学式3表示的部分的聚合物、或者它们的组合，以及溶剂。在以下化学式1至3中，A、A′、A″、L、L′、X、X′、m、n、Ar、B、Xa以及Xb与具体实施方式中限定的相同。[化学式1][化学式2][化学式3]

公开(公告)号：CN104823106A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201380059123.6

申请日：2013-10-02

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 辛乘旭 ,  金润俊 ,  金惠廷 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: G03F1/00 ,  C07C63/15 ,  G03F7/26 ,  C07C15/40

Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中，A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。

公开(公告)号：CN104812729A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201380059507.8

申请日：2013-06-04

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金润俊 ,  权孝英 ,  金惠廷 ,  李忠宪 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: C07C39/12 ,  C07C39/04 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C39/14 ,  C07C33/26 ,  C07C39/12 ,  C07C43/23 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C09D173/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明涉及硬屏蔽组成物用的以化学式1表示的单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。

公开(公告)号：CN104250228B

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201410163675.8

申请日：2014-04-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 宋炫知 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  崔有廷 ,  洪承希

IPC: C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D409/14 ,  C07D405/10 ,  C07D333/16 ,  C07C37/00 ,  C07C39/17 ,  C07C39/225 ,  C07C29/143 ,  C07C35/21 ,  C07C213/02 ,  C07C217/58 ,  C07C253/30 ,  C07C255/53 ,  C07C17/16 ,  C07C22/04 ,  C07C319/12 ,  C07C323/19 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN104768912B

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201380056460.X

申请日：2013-03-19

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 朴惟廷 ,  金惠廷 ,  朴曜徹 ,  尹龙云 ,  李圣宰 ,  李哲虎 ,  赵娟振

IPC: C07C49/792 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/027 ,  C07C49/788 ,  C07C49/792 ,  C07C49/796 ,  C07C49/798 ,  C07C49/83 ,  C07C49/835 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36

Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的硬掩膜组成物用单体、一种含括所述单体的硬掩膜组成物，及一种使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法。由所述硬掩膜组成物形成的薄层具有对抗蚀刻气体的充分的耐蚀刻性且因而具有更低的蚀刻速率。

公开(公告)号：CN104812729B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201380059507.8

申请日：2013-06-04

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 金润俊 ,  权孝英 ,  金惠廷 ,  李忠宪 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: C07C39/12 ,  C07C39/04 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07C39/14 ,  C07C33/26 ,  C07C39/12 ,  C07C43/23 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C09D173/00 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明涉及硬屏蔽组成物用单体、包含此单体的硬屏蔽组成物及使用此硬屏蔽组成物形成图案的方法。该硬屏蔽组成物用单体以下列化学式1表示，其耐热性及耐蚀刻性与对溶剂的可溶性、间隙填充特征及平坦化特征可被确保。[化学式1]于化学式1，A1至A3、X1至X3、L1、L2、n及m是与说明书中所述的相同。

公开(公告)号：CN104823106B

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN201380059123.6

申请日：2013-10-02

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 辛乘旭 ,  金润俊 ,  金惠廷 ,  赵娟振 ,  崔有廷

IPC: C07C65/40 ,  G03F7/16 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40 ,  G03F7/004 ,  C07C63/26 ,  G03F7/075 ,  G03F7/09 ,  C07C65/32 ,  G03F7/26 ,  C07C63/15 ,  C07C65/34 ,  G03F1/00 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36

Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中，A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。所述用于硬掩膜组合物的单体具有优良的抗化学性以及抗蚀刻性，不会产生逸出气体。

公开(公告)号：CN104768912A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201380056460.X

申请日：2013-03-19

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 朴惟廷 ,  金惠廷 ,  朴曜徹 ,  尹龙云 ,  李圣宰 ,  李哲虎 ,  赵娟振

IPC: C07C49/792 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/027 ,  C07C49/788 ,  C07C49/792 ,  C07C49/796 ,  C07C49/798 ,  C07C49/83 ,  C07C49/835 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  G03F7/36

Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的硬掩膜组成物用单体、一种含括所述单体的硬掩膜组成物，及一种使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法。

公开(公告)号：CN104250228A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410163675.8

申请日：2014-04-22

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 宋炫知 ,  金润俊 ,  金古恩 ,  金永珉 ,  金惠廷 ,  文俊怜 ,  朴曜徹 ,  朴裕信 ,  朴惟廷 ,  辛乘旭 ,  尹龙云 ,  李忠宪 ,  崔有廷 ,  洪承希

IPC: C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D409/14 ,  C07D405/10 ,  C07D333/16 ,  C07C37/00 ,  C07C39/17 ,  C07C39/225 ,  C07C29/143 ,  C07C35/21 ,  C07C213/02 ,  C07C217/58 ,  C07C253/30 ,  C07C255/53 ,  C07C17/16 ,  C07C22/04 ,  C07C319/12 ,  C07C323/19 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/40 ,  C07C22/04 ,  C07C39/12 ,  C07C39/225 ,  C07C217/58 ,  C07C255/53 ,  C07C323/19 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/50 ,  C07C2603/52 ,  C07C2603/54 ,  C07D215/14 ,  C07D311/58 ,  C07D333/16 ,  C07D333/50 ,  G03F7/09 ,  G03F7/094 ,  C07C35/21 ,  C07C39/17 ,  C07D405/10 ,  C07D409/14 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]